Cung cấp thiết bị RTP đáng tin cậy cho bán dẫn hợp chất、SlC、LED và MEMS
Ứng dụng trong ngành công nghiệp
* Rang hợp kim silicide * Oxit hóa hồi lưu * Quy trình arsenide gallium * Các quy trình gia nhiệt nhanh khác
Thông số kỹ thuật
Báo cáo thử nghiệm
Trùng khớp các đường cong ở mức 20 độ
20 đường cong kiểm soát nhiệt độ ở 850 ℃
Trùng khớp 20 đường cong nhiệt độ trung bình
Kiểm soát nhiệt độ ở 1250 ℃
Điều khiển nhiệt độ RTP Quy trình ở 1000 ℃
Quy trình ở 960 ℃, được kiểm soát bởi pyromete hồng ngoại
Dữ liệu quy trình LED
RTD Wafer là một cảm biến nhiệt sử dụng các kỹ thuật xử lý đặc biệt để nhúng các cảm biến nhiệt (RTDs) tại các vị trí cụ thể trên bề mặt của wafer, cho phép đo nhiệt độ bề mặt wafer theo thời gian thực.
Các phép đo nhiệt độ thực tế tại các vị trí cụ thể trên wafer và phân bố nhiệt độ tổng thể của wafer có thể được thu thập thông qua RTD Wafer; Nó cũng có thể được sử dụng để giám sát liên tục sự thay đổi nhiệt độ tức thời trên wafer trong quá trình xử lý nhiệt.
Đóng gói & Giao hàng
Hồ sơ công ty
Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong lĩnh vực bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp trọn gói thiết bị dây chuyền đóng gói前端 và后端 Semiconductor từ Trung Quốc!
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
