Hệ thống khắc plasma cảm ứng (ICP) Thiết bị bán dẫn, Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy thiết bị bán dẫn Hệ thống khắc plasma cảm ứng (ICP) của Trung Quốc

Mô tả Sản phẩm

Hệ thống khắc plasma ghép nối cảm ứng (icp)

Hệ thống khắc plasma khớp nối cảm ứng (ICP) Chi tiết thiết bị bán dẫn

Hệ thống khắc plasma khớp nối cảm ứng ( ICP ) Nhà cung cấp thiết bị bán dẫn

Hệ thống khắc plasma khớp nối cảm ứng ( ICP ) Nhà máy sản xuất thiết bị bán dẫn

Kết quả quá trình

Thạch anh / silicon / khắc lưới

Sử dụng mặt nạ BR để khắc vật liệu thạch anh hoặc silicon, mẫu mảng cách tử có đường mỏng nhất lên tới 300nm và độ dốc thành bên của mẫu gần > 89°, có thể áp dụng cho màn hình 3D, thiết bị quang học vi mô, truyền thông quang điện tử, vân vân

Khắc hợp chất / bán dẫn

Kiểm soát chính xác nhiệt độ bề mặt mẫu có thể kiểm soát tốt hình thái ăn mòn của vật liệu dựa trên GaN, GaAs, InP và kim loại. Nó phù hợp với các thiết bị LED xanh, tia laser, truyền thông quang học và các ứng dụng khác.

Hệ thống khắc plasma khớp nối cảm ứng (ICP) Sản xuất thiết bị bán dẫn

Khắc vật liệu dựa trên silicon

nó phù hợp để khắc các vật liệu dựa trên silicon như Si, SiO2 và SiNx. Nó có thể nhận ra quá trình khắc silicon trên 50nm và khắc lỗ sâu silicon dưới 100um

Đặc điểm kỹ thuật

Cấu hình dự án và sơ đồ cấu trúc máy

Mục	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Kích cỡ sản phẩm	6 inch	8 inch	6 inch	8 inch	Tùy chỉnh ≥12 inch
Nguồn điện SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
Nguồn điện BRF	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
Bơm phân tử	Không ăn mòn: 600 /1300 (L/s)/Custom			Chống ăn mòn:600/1300 (L./s)/Tùy chỉnh		600/1300(L/s) /Tùy chỉnh
Bơm tiền thân	Bơm cơ/bơm khô			Bơm khô chống ăn mòn		Bơm cơ/bơm khô
Bơm bơm trước	Bơm cơ/bơm khô			Bơm cơ/bơm khô
Quy trình áp lực	Áp suất không được kiểm soát/Áp suất được kiểm soát 0-0.1/1/10Torr
Loại gas	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (Tối đa 12 kênh, không có khí ăn mòn & độc hại)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Tùy chỉnh (Tối đa 12 kênh)
Ống dẫn xăng	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
Khóa tải	Có không			Có
Kiểm soát nhiệt độ mẫu	10°C~Roomtem/ -30°C~150°C /Tùy chỉnh			-30°C~200°C/Tùy chỉnh
Làm mát bằng heli phía sau	Có không			Có
Lớp lót khoang xử lý	Có không			Có
Kiểm soát nhiệt độ tường khoang	Số/Nhiệt độ phòng-60/120°C			Nhiệt độ phòng~60/120°C
Hệ thống điều khiển	Tự động/tùy chỉnh
Vật liệu khắc	Đế silicon: Si/SiO2/ SiNx/SiC..... Vật liệu hữu cơ:PR/Hữu cơ phim ảnh......			Đế silicon: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Vật liệu từ tính/vật liệu hợp kim Vật liệu kim loại: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Vật liệu hữu cơ: PR/Phim hữu cơ...... Silicon khắc sâu

Đóng gói & Giao hàng

Hồ sơ công ty

Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong việc bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp chuyên nghiệp về thiết bị Dây chuyền đóng gói mặt trước và mặt sau bán dẫn một cửa từ Trung Quốc.