Dự án
|
Nội dung
|
Loại sản phẩm
|
Khung wafer 6", 8", 12"
|
Kiểm tra 2D ltems
|
Vật lạ, keo thừa, hạt, vết xước, vết nứt, nhiễm bẩn, độ lệch CP, diện tích quá mức, v.v.
Độ lệch kênh cắt và mẻ |
Các hạng mục kiểm tra đường cắt
|
Khung cassette 6", 8", 12"
|
Ống kính và Độ phân giải
|
2x(2.75um)/3.5x(1.57um)/
5x(1.1um)/7.5x(0.73um)/10x(0.55um) |
Độ chính xác
|
0.55μm/điểm ảnh
|
Tùy chọn và tùy chỉnh
|
Mô-đun MỰC, mô-đun IR
|
Bản quyền © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bảo lưu mọi quyền