Đơn vị máy chủ plasma chân không(150) |
||
Kích thước thiết bị |
Dài 1100×W 940×H 1755mm |
|
trọng lượng |
600Kg |
|
Nhu cầu cung cấp điện |
AC380V, 50/60Hz, 5 line, 25A (loại mở tổng trên C) |
|
Đặc điểm kỹ thuật máy phát plasma |
||
quyền lực |
tần số vô tuyến |
tần số trung gian |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
cung cấp tần số |
13.56MHz |
40 KHz |
Hệ thống chân không |
||
bơm chân không |
Bơm nhảy đơn cực VSV 65 + Bơm rất nhiều Bowse BSJ 70 |
|
đường ống chân không |
Tất cả các dây chuyền bằng thép không gỉ, cũng như ống thổi chân không cường độ cao |
|
chất lượng vật liệu |
alufer |
|
độ dày |
25mm |
|
độ kín |
Con dấu hàn cấp quân sự |
|
Kích thước bên trong của khoang |
500*500*600mm (Rộng* cao * sâu) |
|
Kích thước tấm điện hiệu quả |
372(W) X 451(D)mm |
|
Khoảng cách không gian có sẵn |
24mm |
|
Bố trí mạ điện |
Tấm điện cực ngang |
|
Khay |
Bộ tiêu chuẩn, vật liệu tùy chọn (nhôm, lưới thép) |
|
không gian làm việc |
lớp 8 |
|
xử lý khí |
||
Phạm vi dòng chảy |
0~300SCCM |
|
Đường khí xử lý khí |
Tiêu chuẩn với hai cách, có thể được tùy chỉnh. Đường ống dẫn khí xử lý được làm bằng ferrofllon |
|
Hệ thống điều khiển |
||
SC |
kiểm soát máy tính |
|
chế độ tương tác |
Giao diện Windows |
Bản quyền © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bảo lưu mọi quyền