Máy chủ plasma chân không(200) |
||
Kích thước thiết bị |
1050×1700×1050mm (chiều rộng, chiều cao và chiều sâu) |
|
trọng lượng |
800Kg |
|
nhu cầu điện |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Thông số kỹ thuật máy phát điện plasma |
||
nguồn điện |
tần số vô tuyến |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Tần số điện |
13.56MHz |
40 KHz |
Hệ thống chân không |
||
bơm chân không |
Bơm đơn cực Feiyue VSV100 + Bơm cả hai gốc BSJ70 |
|
đường chân không |
Tất cả các ống thép không gỉ và ống thổi chân không cường độ cao |
|
vật liệu |
Hợp kim nhôm |
|
độ dày |
25mm |
|
độ kín |
Con dấu hàn cấp quân sự |
|
Kích thước bên trong khoang |
600×600×600mm(W×H×D) |
|
Kích thước hiệu quả của tấm điện cực |
472 X 451mm (Rộng×Dày) |
|
không gian có sẵn |
35mm |
|
Bố trí tấm điện cực |
Tấm điện cực ngang |
|
khay làm việc |
Một bộ là tiêu chuẩn và vật liệu là tùy chọn (nhôm, lưới thép) |
|
Không gian làm việc |
tầng 8 |
|
xử lý khí |
||
Phạm vi dòng chảy |
0~300SCCM |
|
Mạch khí xử lý |
Được trang bị khí ba chiều O2, Ar, N2 |
|
Hệ thống điều khiển |
||
kiểm soát hệ thống |
kiểm soát máy tính |
|
chế độ tương tác |
Giao diện Windows |
Bản quyền © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bảo lưu mọi quyền