Máy chủ plasma chân không (200) |
||
Kích thước thiết bị |
1050×1700×1050mm (chiều rộng, chiều cao và độ sâu) |
|
Trọng lượng |
800kg |
|
công suất yêu cầu |
AC380V,50/60Hz,5dây, 30A |
|
Thông số kỹ thuật máy phát plasma |
||
công suất điện lưới |
Tần số Radio |
Nếu |
0~1000W |
0-2000W |
|
Tần số điện |
13,56MHz |
40 KHz |
hệ thống chân không |
||
Bơm chân không |
Bơm unipolar Feiyue VSV100 + Cả hai bơm Roots BSJ70 |
|
dây chuyền chân không |
Tất cả ống thép không gỉ và bellows chân không cường độ cao |
|
Vật liệu |
Hợp kim nhôm |
|
Độ dày |
25mm |
|
tính kín khít |
Chốt hàn cấp quân sự |
|
Kích thước nội bộ khoang |
600×600×600mm (R×C×S) |
|
Kích thước hiệu quả của tấm điện cực |
472 X 451mm (R×S) |
|
không gian có sẵn |
35mm |
|
Bố cục tấm điện cực |
Cực điện ngang |
|
khay làm việc |
Một bộ là tiêu chuẩn, và vật liệu có thể chọn (nhôm, lưới thép) |
|
không gian làm việc |
8 tầng |
|
Khí quy trình |
||
Phạm vi lưu lượng |
0~300SCCM |
|
Mạch khí quy trình |
Được trang bị khí ba chiều O2, Ar, N2 |
|
Hệ thống điều khiển |
||
kiểm soát hệ thống |
Kiểm soát bằng PC |
|
chế độ tương tác |
Giao diện Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved