Máy in thạch bản một mặt hoàn toàn tự động MDHS-AL8 8", Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy sản xuất máy in thạch bản một mặt hoàn toàn tự động MDHS-AL8 8" của Trung Quốc

Mô tả Sản phẩm

Máy in thạch bản một mặt hoàn toàn tự động MDHS-AL8 8"

1. Chế độ làm việc: Robot tải tự động tải các tấm wafer từ hộp wafer AB (có thể tái chế) đến vị trí định vị trước

bàn làm việc, và thông qua việc điều chỉnh tấm wafer định vị camera và hệ thống xoay tự động, đã đạt được vị trí trước của tấm wafer; Sau đó, robot tải sẽ tải các tấm wafer được định vị sẵn lên bàn làm việc căn chỉnh. Thông qua nhận dạng hình ảnh máy tính và điều chỉnh hệ thống căn chỉnh tự động, có thể đạt được sự căn chỉnh tự động của đồ họa trên mặt nạ và các tấm bán dẫn. Cũng có thể hoàn thành một lần phơi sáng mà không cần căn chỉnh đồ họa. Sau khi tự động phơi sáng bằng hệ thống phơi sáng quá mức, rô-bốt dỡ hàng sẽ tự động đặt các tấm bán dẫn vào hộp bán đĩa CD (có thể tái chế).
2. Vùng phơi sáng: 160 × 160mm;
3. Độ sáng phơi sáng không đồng đều: 3%;
4. Cường độ phơi sáng: 0 ~ ≥ 40mw/cm2 có thể điều chỉnh (góc chùm 2 °);
5. Góc tia UV: 3 °;
6. Bước sóng trung tâm của tia cực tím: 365nm;
7. Tuổi thọ nguồn sáng UV: ≥ 20000 giờ;
8. Khả năng tách: 0 ~ ≥ 1000um có thể điều chỉnh;
9. Độ chính xác căn chỉnh: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Độ chính xác của phơi sáng: Phơi sáng tiếp xúc ± 1 μ m. Khoảng cách tiếp xúc gần của góc chùm 20 μ M 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Phương pháp tiếp xúc: tiếp xúc cứng, tiếp xúc mềm và tiếp xúc gần;
12. Chế độ phơi sáng: Bạn có thể chọn giữa phơi sáng một lần hoặc phơi sáng bù
13. Hệ thống nhận dạng hình ảnh định vị trước và xoay tự động (bao gồm bàn làm việc định vị trước): góc quay Q ≥ ± 180 °, độ chính xác xoay Q ≤ 0.01 °;
14. Hệ thống nhận dạng hình ảnh và căn chỉnh tự động (bao gồm bàn làm việc căn chỉnh UVW): phạm vi căn chỉnh XY ≥ ± 5 mm, góc quay Q ≥ ± 3 ° và hai thấu kính của kính hiển vi được điều khiển bởi hai bệ điện XYZ.
15. Kích thước mặt nạ: 5" × 5 "và 7" × 7 ";
16. Kích thước wafer: 4" và 6";
17. Máy trạm hộp phim trên và dưới: máy trạm kép;
18. Túi khí đệm chân
19. Cánh tay robot xếp dỡ kép: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Số lượng wafer trong hộp wafer: được xác định dựa trên số lượng wafer trong hộp wafer của khách hàng;
21. Nâng bàn định vị: Z ≥ ± 25mm;
22. Thời gian phơi sáng: có thể điều chỉnh từ 0 đến 999.9 giây;
23. Nhịp độ sản xuất:>120 chiếc mỗi giờ;
24. Nguồn điện: AC220V một pha 50Hz, công suất tiêu thụ 3KW;
25. Áp suất không khí sạch: ≥ 0.4MPa;
26. Độ chân không: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Kích thước: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Trọng lượng: Khoảng 400kg

Nhà cung cấp máy in thạch bản một mặt hoàn toàn tự động MDHS-AL8 8

Máy này bao gồm một đầu tiếp xúc với tia cực tím LED, hệ thống nhận dạng hình ảnh và xoay tự động, bàn làm việc được định vị trước và hệ thống nhận dạng hình ảnh giống như nhận dạng và căn chỉnh tự động, bàn làm việc căn chỉnh, robot tải, robot dỡ hàng, giá đỡ và điều khiển điện. Bao gồm thiết bị , phụ kiện dự phòng, v.v.

Đặc điểm kỹ thuật

1. Đầu tiếp xúc: Một đầu tiếp xúc với tia cực tím LED (365nm);
2. Bàn làm việc nhận dạng và căn chỉnh trước hình ảnh:
1) 1 camera (1.3 triệu pixel)
2) Thiết bị định vị trung tâm
3) 1 bộ bệ quay (sử dụng động cơ servo)
4) 1 bộ hệ thống định vị
3. Hệ thống nhận diện và căn chỉnh hình ảnh tự động:
1) 2 camera (tốc độ khung hình cao 5 triệu pixel)
2) 2 ống kính (ống kính độ phân giải cao 4x)
3) Một máy tính công nghiệp
4) Một bộ điều khiển (được điều khiển bởi PLC)
5) Một bộ bệ căn chỉnh (sử dụng động cơ bước 5 pha)
6) Một bộ hệ thống thể thao
7) Thiết bị tấm trên cùng sử dụng động cơ để nâng và hạ
7) Phần mềm sử dụng phiên bản mới nhất của LabVIEW Professional Edition
4. Cánh tay cơ khí bốc xếp:
1) X Y. Một bộ cơ cấu chuyển động tự động Z
2) Cánh tay robot hai cánh tay (cánh tay bốc và dỡ hàng)
5. Cơ chế cố định hộp wafer:
1) AB là vị trí cố định của hộp cấp màng
2) CD là vị trí cố định của hộp phim cắt
3) G là vị trí cố định của hộp phim vị trí NG
6. Nền tảng cố định camera:
7. Hai bộ cơ cấu điều chỉnh điện YZ (điều khiển bằng động cơ servo)
8. Bảng điều khiển giá đỡ và điện:
1) 1 máy tính công nghiệp
2) Một bộ PLC;
3) Một bộ van điện từ và hệ thống điều khiển
4) Một bộ dụng cụ khí nén kỹ thuật số
5) Một bộ bảng điều khiển
8. Phụ kiện dự phòng:
1) Khí quản: 15 mét
2) 2 van điện từ
3) Bơm chân không: 1 chiếc
9. Dữ liệu kỹ thuật:
1) Một hướng dẫn sử dụng
2) Một giấy chứng nhận hợp quy
10. Bổ sung
Phần mềm thiết bị cần được trang bị giao thức liên lạc SECS và người mua cung cấp thư viện động có chức năng kết nối với hệ thống MES của người mua, tự động ghi lại số lô sản phẩm, số công việc, trạng thái hoạt động và tải chúng lên. Đồng thời, nó có chức năng xác định mã QR tấm mặt nạ, so sánh với mã QR tấm mặt nạ của hệ thống MES và ngăn chặn việc lấy nhầm tấm mặt nạ.

Đóng gói & Giao hàng