MDHS-AL8 Máy in phun đơn mặt tự động kích thước 8" , China MDHS-AL8 Máy in phun đơn mặt tự động kích thước 8" Manufacturers, Suppliers, Factory

Mô tả Sản phẩm

MDHS-AL8 Máy in phun đơn mặt tự động kích thước 8"

1. Chế độ hoạt động: Robot tải tự động đưa các wafer từ hộp wafer A-B (có thể tái sử dụng) đến bàn định vị ban đầu

bàn làm việc, và thông qua việc điều chỉnh vị trí của wafer bằng hệ thống camera và hệ thống quay tự động, đạt được việc định vị sơ bộ của wafer; rô-bốt tải sau đó tải các wafer đã được định vị trước lên bàn căn chỉnh. Thông qua nhận dạng hình ảnh máy tính và điều chỉnh hệ thống căn chỉnh tự động, có thể đạt được việc căn chỉnh tự động của hình ảnh trên mặt nạ và các wafer. Cũng có thể hoàn thành một lần phơi sáng mà không cần căn chỉnh hình ảnh. Sau khi phơi sáng tự động bởi hệ thống phơi sáng quá mức, rô-bốt dỡ tự động đặt các wafer vào hộp wafer C-D (có thể tái sử dụng).
2. Khu vực phơi sáng: 160 × 160mm;
3. Độ không đều của cường độ chiếu sáng phơi sáng: ≤ 3%;
4. Độ mạnh phơi sáng: 0~≥ 40mw/cm2 có thể điều chỉnh (góc tia 2 °);
5. Góc tia UV: ≤ 3 °;
6. Chiều dài sóng trung tâm của ánh sáng tử ngoại: 365nm;
7. Tuổi thọ nguồn sáng UV: ≥ 20000 giờ;
8. Khả năng tách: 0~≥ 1000um có thể điều chỉnh;
9. Độ chính xác căn chỉnh: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Độ chính xác phơi sáng: Phơi sáng tiếp xúc ± 1 μ m. Phơi sáng gần với khoảng cách tách 20 μ M và góc tia 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Phương pháp phơi sáng: Tiếp xúc cứng, tiếp xúc mềm và phơi sáng gần;
12. Chế độ phơi sáng: Có thể chọn giữa phơi sáng một lần hoặc phơi sáng lệch tâm;
13. Hệ thống nhận dạng hình ảnh và xoay tự động trước khi định vị (bao gồm bàn làm việc định vị trước): Góc xoay Q ≥ ± 180 °, độ chính xác khi xoay Q ≤ 0,01 °;
14. Hệ thống nhận dạng hình ảnh và căn chỉnh tự động (bao gồm bàn làm việc căn chỉnh UVW): Phạm vi căn chỉnh X Y ≥ ± 5mm, góc xoay Q ≥ ± 3 °, và hai thấu kính của kính hiển vi được điều khiển bởi hai bệ điện XYZ.
15. Kích thước mặt nạ: 5 " × 5 "và 7" × 7 ";
16. Kích thước Wafer: 4 "và 6";
17. Bàn làm việc hộp phim trên và dưới: Hai bàn làm việc;
18. Gối hơi đệm chân
19. Tay robot hai cánh tải và dỡ: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Số lượng wafer trong hộp wafer: được xác định dựa trên số lượng wafer trong hộp wafer của khách hàng;
21. Bàn định vị nâng lên: Z ≥ ± 25mm;
22. Thời gian phơi sáng: có thể điều chỉnh từ 0 đến 999,9 giây;
23. Rhythm sản xuất:> 120 miếng mỗi giờ;
24. Nguồn điện: đơn pha AC220V 50Hz, công suất tiêu thụ ≤ 3KW;
25. Áp lực khí sạch: ≥ 0,4MPa;
26. Độ chân không: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Kích thước: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Trọng lượng: Khoảng 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Máy này bao gồm đầu phơi sáng tia cực tím LED, hệ thống nhận dạng hình ảnh và tự động xoay, bàn làm việc tiền định vị, và hệ thống nhận dạng giống như hình ảnh và tự động căn chỉnh, bàn căn chỉnh, rô-bốt nạp, rô-bốt dỡ, giá đỡ, thiết bị kiểm soát điện气 và phụ kiện dự phòng, v.v.

Thông số kỹ thuật

1. Đầu phơi sáng: Một đầu phơi sáng LED tia cực tím (365nm);
2. Bàn làm việc nhận diện hình ảnh và căn chỉnh trước:
1) 1 camera (1.3 triệu pixel)
2) Bộ phận định vị trung tâm
3) 1 bộ bàn xoay (sử dụng động cơ servo)
4) 1 bộ hệ thống định vị
3. Hệ thống nhận diện hình ảnh và căn chỉnh tự động:
1) 2 camera (5 triệu pixel tốc độ khung hình cao)
2) 2 thấu kính (thấu kính độ phân giải cao 4x)
3) Một máy tính công nghiệp
4) Một bộ điều khiển (được điều khiển bởi PLC)
5) Một bộ khung căn chỉnh (sử dụng động cơ bước 5 pha)
6) Một bộ hệ thống chuyển động
7) Thiết bị tấm trên sử dụng động cơ để nâng và hạ
7) Phần mềm sử dụng phiên bản mới nhất của LabVIEW Professional Edition
4. Tay cơ khí lắp đặt và tháo dỡ:
1) X Y. Một bộ Z tự động di chuyển cơ chế
2) Tay robot hai cánh tay (tay lắp đặt và tháo dỡ)
5. Cơ chế cố định hộp wafer:
1) AB là vị trí cố định của hộp phim cấp liệu
2) CD là vị trí cố định của hộp phim cắt
3) G là vị trí cố định của hộp phim ở vị trí NG
6. Bệ cố định máy ảnh:
7. Hai bộ cơ chế điều chỉnh điện Y.Z (được kiểm soát bởi động cơ servo)
8. Kệ và bảng điều khiển điện:
1) 1 máy tính công nghiệp
2) Một bộ PLC;
3) Một bộ van từ và hệ thống điều khiển
4) Một bộ dụng cụ khí nén số
5) Một bộ bảng điều khiển điều khiển
8. Phụ kiện dự phòng:
1) Đường ống khí quản: 15 mét
2) 2 van điện từ
3) Bơm chân không: 1 bộ
9. Dữ liệu kỹ thuật:
1) Một hướng dẫn sử dụng
2) Một chứng chỉ hợp quy
10. Thêm vào
Phần mềm thiết bị cần được trang bị giao thức truyền thông SECS, và người mua cung cấp thư viện động với chức năng kết nối với hệ thống MES của người mua, tự động ghi lại số lô sản phẩm, số công việc và trạng thái hoạt động và tải chúng lên. Đồng thời, nó có chức năng nhận diện mã QR của tấm mặt nạ, so sánh với mã QR của tấm mặt nạ trong hệ thống MES và ngăn chặn việc lấy nhầm tấm mặt nạ.

Đóng gói & Giao hàng