Máy khắc ICP hoàn toàn tự động MDICP-5000F / Thiết bị bán dẫn Plasma cảm ứng, Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy Máy khắc ICP hoàn toàn tự động MDICP-5000F / Thiết bị bán dẫn Plasma cảm ứng của Trung Quốc

Mô tả Sản phẩm

MDICP-5000F Máy khắc ICP hoàn toàn tự động

Tóm tắt

Thiết bị là hệ thống chân không hai buồng. Một buồng là buồng lấy mẫu tiêm và buồng còn lại là buồng khắc. Một khóa chân không được lắp đặt giữa buồng lấy mẫu tiêm và buồng ăn mòn, và mẫu tiêm được vận chuyển bằng máy thao tác.
Thiết bị này chủ yếu bao gồm hệ thống chân không, hệ thống mạch khí, hệ thống điện, hệ thống điều khiển, hệ thống làm mát, cơ chế nạp và lấy phim, hệ thống báo động, v.v.

Hệ thống chân không

Hệ thống bao gồm một bơm phân tử có tốc độ bơm 600 L/S + một bơm khô chân không nhập khẩu có tốc độ bơm L/s để bơm buồng khắc lên chân không cao. Một van điều chỉnh áp suất động điện được lắp đặt giữa bơm phân tử và buồng ăn mòn. Máy bơm khô nhập khẩu là máy bơm trước của buồng ăn mòn và máy bơm giai đoạn trước của máy bơm phân tử. Sử dụng một máy bơm cơ khí khác có tốc độ bơm L/s để hút chân không buồng mẫu. Ống thổi bằng thép không gỉ được sử dụng để kết nối giữa bơm cơ học với buồng chân không và bơm phân tử, đồng thời lắp đặt van chặn khí nén điện từ.

Hệ thống kiểm soát áp suất không đổi

Thiết bị được trang bị hệ thống điều khiển áp suất không đổi ở hạ lưu và van điều chỉnh điện được lắp đặt trong đường ống hút khí. Thông qua việc đo thước phim (bộ phận nhập khẩu), van điều chỉnh được điều khiển để làm cho buồng chân không đạt áp suất không đổi, nhằm cải thiện độ ổn định của quá trình.

Hệ thống kiểm soát áp suất không đổi

Hệ thống mạch khí

Hai bộ nguồn RF có khả năng kết hợp tự động.

Hệ thống báo động

Yêu cầu an toàn đối với thiết bị.

Đặc điểm kỹ thuật

Họ tên	spc	Nhãn hiệu	Số/Bộ	Chú thích
Buồng khắc, đường ống hút khí, cửa sổ quan sát, giao diện dành riêng, v.v.	Tiêu chuẩn	JSWN	1	chống ăn mòn
Khung, tủ điện, gioăng, các bộ phận tiêu chuẩn, v.v.	Tiêu chuẩn	JSWN	1
Hệ thống nâng nắp buồng khắc	Tiêu chuẩn	JSWN	1	chống ăn mòn
Khắc điện cực và hệ thống làm mát	Tiêu chuẩn	JSWN	1	chống ăn mòn
Bơm phân tử (tốc độ bơm 600 L/s)	FF620/150	KYKY	1	chống ăn mòn
Bơm khô đầu vào (tốc độ bơm 9 L/s)	XDS-35I	EDWARDS	1	chống ăn mòn
Bơm cơ (tốc độ bơm 9 L/s)	TRP-36	BWVAC	1
Van cổng điều chỉnh điện	DCQ-150	JSWN	1	chống ăn mòn
Van chặn ống thổi khí nén	KF40	JSWN	3	chống ăn mòn
Máy đo màng	KF16	INFICON	1	chống ăn mòn
Bộ điều khiển lưu lượng lớn	D07	Bảy ngôi sao	4	chống ăn mòn
Van màng khí nén	1/4"VCR	-	4	chống ăn mòn
Ống thép không gỉ, khớp nối ống, vv	1/4"VCR	-	4	chống ăn mòn
Nguồn điện RF/bộ kết nối tự động	-	Trung Quốc (Tùy chọnCROWN1310)	1
Nguồn điện RF/bộ kết nối tự động	-	Trung Quốc (Tùy chọnCROWN1310)	1
Máy đo chân không tổng hợp	ZDF	RB	1
IPC	2U	Trung Quốc	1
Màn hình cảm ứng LCD	17inch	Trung Quốc	1
Hệ thống điều khiển PLC	S7-200	Siemens	1
Hệ thống điều khiển truyền động điện	Tiêu chuẩn	JSWN	1
Hệ thống đường ống và phát hiện nước làm mát	Tiêu chuẩn	JSWN	1
Hệ thống đường ống và phát hiện khí nén	Tiêu chuẩn	JSWN	1
Máy tuần hoàn nước làm mát	HX	Trung Quốc	1
Buồng tiêm khắc	Tiêu chuẩn	JSWN	1
Khóa chân không	SMC	SMC	1
Hệ thống điều khiển thao tác	SMC	SMC	1

Thông số kỹ thuật thư

1. Giới hạn chân không: Buồng khắc 9.0×10-5Pa (Độ ẩm trong nhà<55%)
Buồng lấy mẫu tiêm 6.0×10-1Pa
2. Vật liệu khắc: Ⅲ、ⅤMaterial、Si 、SiO2, v.v.
3. Tốc độ khắc: ~ 1μ/phút
4. Độ đồng đều khắc: ≤±5％(phạm vi φ125mm)
6. Kích thước điện cực: φ200mm

Đóng gói & Giao hàng

Để đảm bảo an toàn hơn cho hàng hóa của bạn, các dịch vụ đóng gói chuyên nghiệp, thân thiện với môi trường, thuận tiện và hiệu quả sẽ được cung cấp.

Hồ sơ công ty

Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong việc bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp chuyên nghiệp về thiết bị Dây chuyền đóng gói mặt trước và mặt sau bán dẫn một cửa từ Trung Quốc.