Máy Etching ICP Tự Động Hoàn Toàn MDICP-5000F Thiết bị Plasma Coupling Điện Từ Liên Kết , China Máy Etching ICP Tự Động Hoàn Toàn MDICP-5000F Thiết bị Plasma Coupling Điện Từ Liên Kết Manufacturers, Suppliers, Factory

Mô tả Sản phẩm

MDICP-5000F Máy etching ICP toàn tự động

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Tóm tắt

Thiết bị là một hệ thống chân không hai buồng. Một buồng là buồng lấy mẫu tiêm và buồng kia là buồng etching. Một khóa chân không được lắp đặt giữa buồng lấy mẫu tiêm và buồng etching, và việc lấy mẫu tiêm được vận chuyển bởi thao tác viên.
Thiết bị chủ yếu bao gồm hệ thống chân không, hệ thống đường khí, hệ thống điện, hệ thống điều khiển, hệ thống làm mát, cơ chế cấp và lấy phim, hệ thống báo động, v.v.

hệ thống chân không

Hệ thống bao gồm một bơm phân tử với tốc độ bơm 600 L/s + một bơm khô chân không nhập khẩu với tốc độ bơm L/s để hút buồng xói mòn lên chân không cao. Một van điều áp động từ được lắp giữa bơm phân tử và buồng xói mòn. Bơm khô nhập khẩu là bơm tiền hút của buồng xói mòn và bơm tiền của bơm phân tử. Sử dụng thêm một bơm cơ học với tốc độ bơm L/s để hút chân không buồng mẫu. Cầu nối giữa bơm cơ học và buồng chân không, cũng như bơm phân tử, sử dụng ống co inox và có lắp van chặn khí điện từ.

Hệ thống kiểm soát áp suất hằng định

Thiết bị được trang bị hệ thống điều khiển áp suất liên tục phía sau, và một van điều chỉnh điện được lắp đặt trong đường ống hút khí. Thông qua việc đo lường bằng đồng hồ màng phim (linh kiện nhập khẩu), van điều chỉnh được kiểm soát để làm cho buồng chân không đạt được áp suất ổn định, từ đó cải thiện độ ổn định của quy trình.

Hệ thống kiểm soát áp suất hằng định

Thiết bị được trang bị hệ thống điều khiển áp suất liên tục phía sau, và một van điều chỉnh điện được lắp đặt trong đường ống hút khí. Thông qua việc đo lường bằng đồng hồ màng phim (linh kiện nhập khẩu), van điều chỉnh được kiểm soát để làm cho buồng chân không đạt được áp suất ổn định, từ đó cải thiện độ ổn định của quy trình.

Hệ thống đường ống khí

Hai bộ nguồn RF với khả năng tự động khớp.

hệ thống báo động

Yêu cầu an toàn cho thiết bị.

Thông số kỹ thuật

Tên	SPC	Thương hiệu	Số lượng/Số bộ	Ghi chú
Buồng ăn mòn, đường ống hút khí, cửa sổ quan sát, giao diện dự phòng, v.v	Tiêu chuẩn	JSWN	1	Chống ăn mòn
Khung máy, tủ điện, các gioăng kín, chi tiết tiêu chuẩn, v.v	Tiêu chuẩn	JSWN	1
Hệ thống nâng hạ nắp buồng ăn mòn	Tiêu chuẩn	JSWN	1	Chống ăn mòn
Điện cực khắc và hệ thống làm mát	Tiêu chuẩn	JSWN	1	Chống ăn mòn
Bơm phân tử (tốc độ bơm 600 L/s)	FF620/150	KYKY	1	Chống ăn mòn
Bơm khô đầu vào (tốc độ bơm 9 L/s)	XDS-35I	Edwards	1	Chống ăn mòn
Bơm cơ khí (tốc độ bơm 9 L/s)	TRP-36	BWVAC	1
Van cổng điều chỉnh điện	DCQ-150	JSWN	1	Chống ăn mòn
Van dừng bellow khí nén	KF40	JSWN	3	Chống ăn mòn
Đồng hồ phim	KF16	INFICON	1	Chống ăn mòn
Bộ điều khiển lưu lượng khối	D07	Sevenstar	4	Chống ăn mòn
van màng khí nén	1⁄4"VCR	-	4	Chống ăn mòn
Ống thép không gỉ, khớp nối ống, v.v.	1⁄4"VCR	-	4	Chống ăn mòn
Nguồn điện RF / bộ điều chỉnh tự động	-	Trung Quốc(OptionalCROWN1310)	1
Nguồn điện RF / bộ điều chỉnh tự động	-	Trung Quốc(OptionalCROWN1310)	1
Đồng hồ chân không hợp kim	ZDF	RB	1
IPC	2U	Trung Quốc	1
Màn hình cảm ứng LCD	17 inch	Trung Quốc	1
hệ thống điều khiển plc	S7-200	Siemens	1
Hệ thống điều khiển động cơ điện	Tiêu chuẩn	JSWN	1
Hệ thống phát hiện nước làm mát và đường ống	Tiêu chuẩn	JSWN	1
Phát hiện khí nén và hệ thống đường ống	Tiêu chuẩn	JSWN	1
Máy làm lạnh nước tuần hoàn	hx	Trung Quốc	1
Buồng tiêm ăn mòn	Tiêu chuẩn	JSWN	1
Khóa chân không	smc	smc	1
Hệ thống điều khiển thao tác	smc	smc	1

Thông số kỹ thuật qua thư

1. Giới hạn chân không: Buồng ăn mòn 9.0×10-5Pa (Độ ẩm trong phòng ≤55%)
Buồng lấy mẫu tiêm 6.0×10-1Pa
2. Vật liệu ăn mòn: Vật liệu nhóm Ⅲ、Ⅴ, Si、SiO2, v.v.
3. Tốc độ ăn mòn: ~ 1μ/phút
4. Độ đồng đều etching: ≤±5％(phạm vi φ125mm)
6. Kích thước điện cực: φ200mm

Đóng gói & Giao hàng

Để đảm bảo an toàn cho hàng hóa của bạn, các dịch vụ đóng gói chuyên nghiệp, thân thiện với môi trường, tiện lợi và hiệu quả sẽ được cung cấp.

Hồ sơ công ty

Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong việc bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp chuyên nghiệp một-stop cho dây chuyền đóng gói前端 và hậu cần của ngành bán dẫn từ Trung Quốc.