MDLB-ASD2C2D Máy Phủ và Phát Triển Tự Động , China MDLB-ASD2C2D Máy Phủ và Phát Triển Tự Động Manufacturers, Suppliers, Factory

Mô tả Sản phẩm

MDLB-ASD2C2D Máy Phủ và Phát Triển Tự Động

Thiết bị sử dụng khung thép không gỉ, và các tấm kim loại trong và ngoài đều là tấm gương thép không gỉ. Đáy thiết bị được trang bị bánh xe di động và chức năng điều chỉnh ngang. Trên đỉnh có trang bị tháp tín hiệu 3 màu kèm còi báo. Phần trên của thiết bị là hệ thống điều khiển và FFU, phần giữa là đơn vị quy trình, và phần dưới là hệ thống đường ống hóa chất. Tất cả các bộ phận tiếp xúc trực tiếp với hóa chất đều được làm từ vật liệu chống ăn mòn, chẳng hạn như SUS304, PP, PTFE, v.v. Đường ống khí nén được làm từ ống PU, và đường ống hóa chất được làm từ ống PFA chống ăn mòn. Giao diện hoạt động người-máy của thiết bị là màn hình cảm ứng 17 inch, có thể thực hiện các chức năng như vận hành thiết bị, cài đặt công thức và tra cứu nhật ký. Đơn vị SPIN và các buồng quy trình khác được trang bị.
Ánh sáng vàng cho việc bảo trì thiết bị dễ dàng. Ngoại hình của thiết bị được hiển thị trong Hình 1.1.1, và bố cục thiết bị được hiển thị trong Hình 1.1.2.

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine supplier

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine details

Thông số kỹ thuật

	dự án	Thông số kỹ thuật	ghi chú
1	Tổng quan Thiết bị	Tên thiết bị: Máy phát triển keo đồng đều tự động hoàn toàn
				Mã thiết bị: MD-2C2D6
				Quy cách wafer xử lý: tương thích với wafer chuẩn 4/6-inch
				Quy trình keo đồng đều: Cắt giỏ hoa → định tâm → keo đồng đều (rót → keo đồng đều → loại bỏ viền, mặt sau rửa) → bảng nóng → bảng lạnh → đặt giỏ Quy trình phát triển: Cắt giỏ hoa → định tâm → phát triển (dung dịch phát triển → nước ion hóa, rửa mặt sau → làm khô bằng nitơ) → bảng nóng → bảng lạnh → đặt giỏ
				Kích thước tổng thể (khoảng): 2100mm (R) * 1800mm (S) * 2100mm (C)
				Kích thước tủ hóa chất (khoảng): 1700(R) * 800(S) * 1600mm (C)
				Tổng trọng lượng (khoảng): 1000kg
				Chiều cao bàn làm việc: 1020 ± 50mm
2	Đơn vị cassette	Số lượng: 2
				Kích thước tương thích: 4/6 inch
				Phát hiện cassette: cảm biến microswitch
				Phát hiện kéo ra: Có, cảm biến phản xạ
3	robot	Số lượng: 1
				Loại: Robot hút chân không hai tay
				Bậc tự do: 4 trục (R1, R2, Z, T)
				Vật liệu ngón: gốm
				Phương pháp cố định chất nền: phương pháp hấp thụ chân không
				Chức năng ánh xạ: Có
				Độ chính xác định vị: ± 0.1mm
4	Đơn vị căn chỉnh trung tâm	Số lượng: 1 bộ	Căn chỉnh quang học tùy chọn
					Phương pháp căn chỉnh: căn chỉnh cơ khí
					Độ chính xác căn chỉnh trung tâm: ± 0.2mm
5	Đơn vị bơm keo đều	Số lượng: 2 bộ (sau đây là cấu hình cho mỗi đơn vị)
				Tốc độ quay của trục chính: -5000rpm~5000rpm	bánh lăn chịu tải
				Độ chính xác quay của trục: ± 1vòng/phút (50vòng/phút~5000vòng/phút)
				Chỉnh tốc độ quay của trục tối thiểu: 1vòng/phút
				Gia tốc quay của trục tối đa: 20000vòng/phút/giây	bánh lăn chịu tải
				Tay rót: 1 bộ
				Đường dẫn ống chất chống ánh sáng: 2 đường
				Đường kính vòi phun chất chống ánh sáng: 2.5mm
				Cách điện chất chống ánh sáng: 23 ± 0.5 ℃	tùy chọn
				Vòi phun làm ẩm: Có
				RRC: Có
				Buffer: Có, 200ml
				Phương pháp thả keo: thả trung tâm và thả quét là tùy chọn
				Tay gỡ viền: 1 bộ
				Đường kính vòi gỡ viền: 0.2mm
				Giám sát dòng chất lỏng gỡ viền: đồng hồ lưu lượng nổi
				Phạm vi dòng chất lỏng gỡ viền: 5-50ml/phút
				Ống rửa ngược: 2 đường (mỗi đường 4/6 inch với 1 kênh)
				Giám sát dòng rửa ngược: đồng hồ lưu lượng nổi
				Phạm vi dòng chất lỏng rửa ngược: 20-200ml/phút
				Phương pháp cố định chip: hút chân không diện tích nhỏ Chuck
				Báo động áp suất chân không: cảm biến áp suất chân không kỹ thuật số
				Vật liệu kẹp: PPS
				Vật liệu cốc: PP
				Giám sát xả cốc: cảm biến áp suất kỹ thuật số
6	Đơn vị phát triển	Cửa trập: có
				Số lượng: 2 bộ (sau đây là cấu hình cho mỗi đơn vị)
				Tốc độ quay của trục chính: -5000rpm~5000rpm	bánh lăn chịu tải
				Độ chính xác quay của trục: ± 1vòng/phút (50vòng/phút~5000vòng/phút)
				Chỉnh tốc độ quay của trục tối thiểu: 1vòng/phút
				Gia tốc quay của trục tối đa: 20000vòng/phút/giây	bánh lăn chịu tải
				Tay phát triển: 1 bộ
				Ống dẫn phát triển: 2 chiều (vòi phun hình quạt / hình trụ)
				Lọc dung dịch phát triển: 0.2um
				Kiểm soát nhiệt độ dung dịch phát triển: 23 ± 0.5 ℃	tùy chọn
				Phạm vi lưu lượng giải pháp phát triển: 100 ~ 1000 ml/phút
				Chế độ chuyển động của cánh tay đang phát triển: điểm cố định hoặc quét
				Cánh tay hợp nhất: 1 bộ
				Đường ống dẫn nước phi ion hóa: 1 mạch
				Chuẩn bị và quy trình sử dụng
				Phạm vi lưu lượng nước phi ion hóa: 100 ~ 1000 ml/phút
				Đường ống làm khô nitơ: 1 mạch
				Chuẩn bị và quy trình sử dụng
				Phạm vi lưu lượng nitơ: 5-50L/min
				Nhà phát triển, nước phi ion hóa, giám sát dòng chảy nitơ: máy đo dòng chảy nổi
				Ống rửa ngược: 2 đường (mỗi đường 4/6 inch với 1 kênh)
				Giám sát dòng rửa ngược: đồng hồ lưu lượng nổi
				Phạm vi dòng chất lỏng rửa ngược: 20-200ml/phút
				Phương pháp cố định chip: hút chân không diện tích nhỏ Chuck
				Báo động áp suất chân không: cảm biến áp suất chân không kỹ thuật số
				Vật liệu kẹp: PPS
				Vật liệu kẹp: PPS
				Vật liệu cốc: PP
				Giám sát xả cốc: cảm biến áp suất kỹ thuật số
7	Đơn vị dính	Số lượng: 2	tùy chọn
				Dải nhiệt độ: nhiệt độ phòng~180 ℃
				Độ đồng đều nhiệt: Nhiệt độ phòng~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Loại bỏ 10mm từ mép, ngoại trừ lỗ của đầu đẩy)
				Số lượng điều chỉnh tối thiểu: 0.1 ° C
				Phương pháp kiểm soát nhiệt độ: Điều chỉnh PID
				Phạm vi chiều cao PIN: 0-20mm
				Chất liệu PIN: Thân SUS304, nắp đầu PIN PI
				Khoảng cách nướng: 0.2mm
				Báo động nhiệt độ cao: báo động chênh lệch dương và âm
				Phương pháp cung cấp: Bong bóng, 10 ± 2ml/phút
				Áp suất chân không trong buồng hoạt động: -5-20KPa
8	Đơn vị đĩa nóng	Số lượng: 10
				Dải nhiệt độ: nhiệt độ phòng~250 ℃
				Độ đồng đều nhiệt: Nhiệt độ phòng~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Loại bỏ 10mm từ mép, ngoại trừ lỗ của đầu đẩy)
				Số điều chỉnh tối thiểu: 0.1 ℃
				Phương pháp kiểm soát nhiệt độ: Điều chỉnh PID
				Phạm vi chiều cao PIN: 0-20mm
				Chất liệu PIN: Thân SUS304, nắp đầu PIN PI
				Khoảng cách nướng: 0.2mm
				Báo động nhiệt độ cao: báo động chênh lệch dương và âm
9	Đơn vị đĩa lạnh	Số lượng: 2
				Dải nhiệt độ: 15-25 ℃
				Phương pháp làm mát: bơm tuần hoàn nhiệt độ hằng định
10	Cung cấp hóa chất	Bảo quản Photoresist: bơm keo khí nén * 4 bộ (bình chứa tùy chọn hoặc bơm keo điện)
				Lượng keo phân phối: tối đa 12ml mỗi lần, độ chính xác ± 0.2ml
				Loại bỏ viền / rửa ngược / cung cấp RRC: bình áp lực 18L * 2 (tự động bổ sung)
				Giám sát mức dung dịch loại bỏ viền / rửa ngược / RRC: cảm biến quang điện
				Giám sát mức dung dịch Photoresist: cảm biến quang điện
				Xả nước thải keo đồng đều: bình chứa nước thải 10L
				Cung cấp chất phát triển: bình áp lực 18L * 4 (được lưu trữ trong tủ hóa chất ngoài máy)
				Cung cấp nước ion hóa: cung cấp trực tiếp từ nhà máy
				Phát triển giám sát mức chất lỏng: cảm biến quang điện
				Xả thải phát triển: xả thải nhà máy
				Cung cấp chất dính: bồn áp lực 10L * 1, bồn áp lực 2L * 1
				Giám sát mức chất dính: cảm biến quang điện
11	hệ thống điều khiển	Phương pháp điều khiển: PLC
				Giao diện hoạt động người-máy: màn hình cảm ứng 17 inch
				Nguồn điện không gián đoạn (UPS): Có
				Đặt quyền truy cập mã hóa cho người vận hành thiết bị, kỹ thuật viên, quản trị viên
				Kiểu tháp tín hiệu: 3 màu đỏ, vàng, xanh lá
12	Chỉ số độ tin cậy của hệ thống	Thời gian hoạt động: ≥95%
				MTBF: ≥ 500h
				MTTR: ≤ 4h
				MTBA： ≥24h
				Tỷ lệ phân mảnh: ≤ 1/10000
13	Các chức năng khác	Đèn vàng: 4 bộ (vị trí: trên đơn vị trộn keo và phát triển)
				THC: Có, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%	tùy chọn
				FFU: Cấp độ 100, 5 bộ (khu vực đơn vị quy trình và ROBOT)

Đóng gói & Giao hàng

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine manufacture

Hồ sơ công ty

Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong việc bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp chuyên nghiệp một-stop cho dây chuyền đóng gói前端 và hậu cần của ngành bán dẫn từ Trung Quốc.