1. Loại phơi sáng: một mặt.
2. Diện tích phơi sáng: 110 × 110mm.
3. Chiếu sáng phơi sáng không đồng đều: ≤ ± 3%.
4. Cường độ phơi sáng: 0-30mw/cm2 có thể điều chỉnh.
5. Góc chùm tia UV: 3°.
6. Bước sóng trung tâm của tia cực tím: 365nm.
7. Tuổi thọ nguồn sáng UV: ≥500 giờ.
8. Áp dụng màn trập điện tử.
9. Độ phân giải phơi sáng: 1 μm;
10. Phạm vi quét kính hiển vi: X:±15mm Y:±15mm;
11. Phạm vi căn chỉnh: Điều chỉnh X, Y ± 4mm; Điều chỉnh hướng Q ± 3°;
12. Độ chính xác khắc: 1 μ Độ chính xác của "phiên bản" và "chip" của người dùng phải tuân thủ các quy định quốc gia,
và môi trường, nhiệt độ, độ ẩm và bụi có thể được kiểm soát chặt chẽ. Chất quang dẫn dương nhập khẩu được sử dụng và độ dày của chất quang dẫn đồng nhất có thể be được kiểm soát chặt chẽ. Ngoài ra, các quy trình trước và sau đều được nâng cao;
13. Lượng phân tách; có thể điều chỉnh 0 ~ 50 μm;
14. Phương pháp tiếp xúc: tiếp xúc gần, có thể đạt được tiếp xúc cứng, tiếp xúc mềm và tiếp xúc với lực vi mô; 15. Công thức tìm hình vuông: không khí