Thiết bị này là một máy lithography chính xác được công ty chúng tôi phát triển đặc biệt cho đặc điểm sử dụng của các máy lithography tại các trường đại học và viện nghiên cứu. Nó chủ yếu được sử dụng để phát triển và sản xuất mạch tích hợp nhỏ và vừa, các thành phần bán dẫn, thiết bị quang điện và thiết bị sóng âm bề mặt. Trên cơ sở duy trì các chỉ tiêu kỹ thuật chính của thiết bị, chúng tôi đã tối ưu hóa một số cấu trúc và linh kiện của thiết bị, loại bỏ một số động tác cơ học không cần thiết, đảm bảo rằng các điểm hỏng của thiết bị được giảm thiểu nhiều nhất có thể, và hoạt động của thiết bị cũng rất ổn định và đáng tin cậy.
Thông số kỹ thuật
Các thông số kỹ thuật chính
1.Loại phơi sáng: một mặt. 2.Khu vực phơi sáng: 110×110mm. 3.Sự không đều của cường độ phơi sáng: ≤±3%. 4.Cường độ phơi sáng: 0-30mw/cm2 điều chỉnh được. 5.Góc tia UV: ≤3°. 6.Bước sóng trung tâm của ánh sáng tử ngoại: 365nm. 7.Thời gian sử dụng nguồn sáng UV: ≥500 giờ. 8.Sử dụng cửa trập điện tử. 9.Phân giải phơi sáng: 1 μm; 10. Phạm vi quét dưới kính hiển vi: X: ±15mm Y: ±15mm; 11. Phạm vi căn chỉnh: Điều chỉnh X,Y ±4mm; Điều chỉnh hướng Q ±3°; 12. Độ chính xác khắc: 1 μ Độ chính xác của "phiên bản" và "chip" của người dùng phải tuân thủ quy định quốc gia, và môi trường, nhiệt độ, độ ẩm, và bụi có thể được kiểm soát nghiêm ngặt. Sử dụng chất kháng photo nhập khẩu, và độ dày của chất kháng photo đồng đều có thể được kiểm soát nghiêm ngặt. Ngoài ra, các quy trình trước và sau là tiên tiến; 13. Số lượng tách: điều chỉnh được từ 0~50 μm; 14. Phương pháp phơi sáng: phơi sáng gần, có thể đạt được tiếp xúc cứng, tiếp xúc mềm, và phơi sáng tiếp xúc lực nhỏ; 15. Công thức tìm vuông: khí
Đóng gói & Giao hàng
Hồ sơ công ty
Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong việc bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp chuyên nghiệp một-stop cho dây chuyền đóng gói前端 và hậu cần của ngành bán dẫn từ Trung Quốc.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
