Thiết bị này chủ yếu được sử dụng để phát triển và sản xuất các mạch tích hợp nhỏ và vừa, linh kiện bán dẫn, và thiết bị sóng âm bề mặt. Do cơ chế làm phẳng tiên tiến và lực làm phẳng thấp, máy này không chỉ phù hợp với việc phơi sáng của nhiều loại chất nền khác nhau mà còn phù hợp với việc phơi sáng của các chất nền dễ vỡ như arsenide kali và thép phosphate, cũng như việc phơi sáng của chất nền không tròn và nhỏ.
Thông số kỹ thuật
Các thông số kỹ thuật chính
1. Loại phơi sáng: phơi sáng một mặt 2. Khu vực phơi sáng: 110X110mm; 3. Độ đồng đều khi phơi sáng: ≥ 97%; 4. Độ mạnh của ánh sáng phơi: 0-30mw/cm2 có thể điều chỉnh; 5. Góc tia UV: ≤ 3 ° 6. Chiều dài sóng trung tâm của ánh sáng tử ngoại: 365nm; 7. Tuổi thọ nguồn sáng UV: ≥ 20000 giờ; (bảo hành 2 năm) 8. Sử dụng cửa trập điện tử; 9. Độ phân giải khi phơi sáng: 1 μ M 10. Phạm vi nhìn của camera: ± 15mm Y: ± 15mm 11. Phạm vi căn chỉnh: X: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°. 12. Độ chính xác căn chỉnh: 1um (trong điều kiện môi trường tốt). 13. Phạm vi khoảng cách tách rời: 0-50um có thể điều chỉnh. 14. Phương pháp phơi sáng: phơi sáng tiếp xúc.(tiếp xúc cứng/mềm/vi chạm) 15. Phương pháp cân bằng: Phao nổi khí. 16. Hệ thống kính hiển vi: hệ thống CCD hai trường nhìn, thấu kính vật 1.6X~10X, hệ thống xử lý hình ảnh máy tính, màn hình LCD 19"; Tổng độ phóng đại 91-570x. Khoảng cách của thấu kính: 50-120mm. 17. Kích thước mặt nạ: 127*127mm;102*102mm 18. Kích thước chất nền: Φ102mm;Φ76mm 19. Độ dày chất nền: ≤1mm 20. Thời gian phơi sáng: 0-999.9 giây có thể điều chỉnh. 21.Công suất: 220V 50Hz 1.5kw. 22.nguồn khí nén? 0.4Mpa 23.Mức độ chân không: -0.07MPa~-0.09Mpa
Đóng gói & Giao hàng
Hồ sơ công ty
Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong việc bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp chuyên nghiệp một-stop cho dây chuyền đóng gói前端 và hậu cần của ngành bán dẫn từ Trung Quốc.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
