Máy In Lithography Đơn Mặt Độ Chính Xác Cao MDXN-25X , China Máy In Lithography Đơn Mặt Độ Chính Xác Cao MDXN-25X Manufacturers, Suppliers, Factory

Mô tả Sản phẩm

Thiết bị này là một máy lithography chính xác được công ty chúng tôi phát triển đặc biệt cho các đặc điểm sử dụng của máy lithography trong các trường đại học và viện nghiên cứu. Nó chủ yếu được sử dụng để phát triển và sản xuất mạch tích hợp nhỏ và vừa, linh kiện bán dẫn, thiết bị quang điện tử, và thiết bị sóng âm bề mặt.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

Thông số kỹ thuật

Các thông số kỹ thuật chính

1. Thiết bị có thể hút chân không một mặt nạ hình vuông 5"X5", không có yêu cầu đặc biệt về độ dày của tấm (từ 1 đến 3mm).
2. Thiết bị có thể được áp dụng cho substrat tròn đường kính ф 100mm;
3. Độ dày substrat ≤ 5mm;
4. Chiếu sáng:
Nguyên liệu chiếu sáng: Sử dụng đèn huỳnh quang thủy ngân áp suất siêu cao GCQ350Z dòng trực tiếp.
Phạm vi chiếu sáng: ≤ ф 117mm Khu vực phơi sáng: ф 100mm
trong phạm vi ф 100mm, sự không đều của việc phơi sáng là ≤ ± 3%, và cường độ phơi sáng là >6mw/cm2 (chỉ số này được đo bằng nguồn ánh sáng UV I-line 365nm).
5. Thiết bị này sử dụng rơ le thời gian nhập khẩu để kiểm soát cửa chắn khí nén, đảm bảo hoạt động chính xác và đáng tin cậy.
6. Máy này là máy phơi sáng tiếp xúc có thể đạt được:
7. Phơi sáng tiếp xúc cứng: Sử dụng chân không đường ống để đạt được tiếp xúc chân không cao, chân không ≤ -0.05MPa
8. Tiếp xúc mềm: Áp suất tiếp xúc có thể nâng cao độ chân không lên giữa -0,02MPa và -0,05MPa.
9. Tiếp xúc vi mô: ít hơn so với tiếp xúc mềm, độ chân không ≥ -0,02MPa.
10. Độ phân giải phơi sáng: Độ phân giải của chế độ tiếp xúc cứng của thiết bị này có thể đạt trên 1 μm (độ chính xác của "bảng" và "chip" của người dùng phải tuân thủ quy định quốc gia, môi trường, nhiệt độ, độ ẩm và bụi có thể được kiểm soát nghiêm ngặt. Sử dụng chất kháng photo dương nhập khẩu và độ dày chất kháng photo đồng đều có thể được kiểm soát nghiêm ngặt. Ngoài ra, các quy trình trước và sau là tiên tiến).
11. Căn chỉnh: Hệ thống quan sát bao gồm hai camera CCD được gắn trên hai kính hiển vi ống đơn và kết nối với màn hình thông qua cáp video.

Đóng gói & Giao hàng

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Hồ sơ công ty

Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong việc bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp chuyên nghiệp một-stop cho dây chuyền đóng gói前端 và hậu cần của ngành bán dẫn từ Trung Quốc.