1.Năng lượng cần cho thiết bị: Nguồn điện chính: 220V, 50HZ, tiêu thụ điện ≤1.5KW;
2.Trang bị máy bơm chân không có nguồn điện 220V;
3.Kích thước và trọng lượng: Kích thước: 1200 (dài) × 720 (rộng) × 1500 (cao). Trọng lượng ≤170kg;
4.Đặt thân máy trên bàn làm việc chuyên dụng;
5.Loại phơi sáng: kiểu tiếp xúc, căn chỉnh tấm, phơi sáng hai mặt;
6.Khu vực phơi sáng: φ100mm;
7.Sai lệch phơi sáng: ≤±3%;
8.Cường độ phơi sáng: ≥5mw/cm2;
9. Độ phân giải phơi sáng: 2μm;
10. Chế độ phơi sáng: Phơi sáng đồng thời hai mặt;
11. Phạm vi căn chỉnh: X: ±5mm Y:±5mm;
12. Độ chính xác khắc: 2μm;
13. Phạm vi xoay: Điều chỉnh xoay hướng Q ≤±5°;
14. Hệ thống kính hiển vi: Hệ thống CCD với hai trường nhìn, thấu kính vật từ 1.6X~10X, hệ thống xử lý hình ảnh máy tính, màn hình LCD 19";
15. Kích thước mặt nạ: Có khả năng hút chân không