1. Năng lượng cần thiết cho thiết bị: Nguồn điện máy tính lớn: 220V, 50HZ, mức tiêu thụ điện năng<1.5KW;
2. Được trang bị máy bơm chân không có nguồn điện 220V;
3.Kích thước và trọng lượng: Kích thước: 1200 (chiều dài) × 720 (chiều rộng) × 1500 (cao). Trọng lượng 170kg;
4.Đặt thân máy lên bàn làm việc chuyên dụng;
5. Loại phơi sáng: loại tiếp xúc, căn chỉnh tấm, phơi sáng hai mặt;
6. Diện tích phơi sáng: φ100mm;
7. Phơi nhiễm không đồng đều: ≤ ± 3%;
8. Cường độ phơi sáng: ≥5mw/cm2;
9. Độ phân giải phơi sáng: 2μm;
10. Chế độ phơi sáng: Phơi sáng đồng thời hai mặt;
11. Phạm vi căn chỉnh: X: ±5mm Y:±5mm;
12. Độ chính xác khắc: 2μm;
13. Phạm vi xoay: Điều chỉnh xoay theo hướng Q<±5°;
14. Hệ thống kính hiển vi: hệ thống CCD trường nhìn kép, thấu kính vật kính 1.6X ~ 10X, hệ thống xử lý hình ảnh máy tính, màn hình LCD 19";
15. Kích thước mặt nạ: Có khả năng hấp phụ chân không