1. Loại phơi sáng: loại tiếp xúc, căn chỉnh tấm, phơi sáng đơn hai mặt
2. Diện tích phơi sáng: 110X110mm;
3. Độ đồng đều phơi nhiễm: ≥ 97%;
4. Cường độ phơi sáng: có thể điều chỉnh 0-30mw/cm2;
5. Góc tia UV: 3 °
6. Bước sóng trung tâm của tia cực tím: 365nm;
7. Tuổi thọ nguồn sáng UV: ≥ 20000 giờ;;
8. Nhiệt độ bề mặt làm việc: 30oC
9. Sử dụng màn trập điện tử;
10. Độ phân giải phơi sáng: 1 μ M (độ sâu phơi sáng gấp khoảng 10 lần chiều rộng đường)
11. Chế độ phơi sáng: Phơi sáng đồng thời hai mặt
12. Phạm vi căn chỉnh: x: ± 5 mm Y: ± 5 mm
13. Độ chính xác căn chỉnh tấm: 2 μ m
14. Phạm vi xoay: Điều chỉnh xoay hướng Q ≤ ± 5 °
15. Hệ thống kính hiển vi: hệ thống CCD trường nhìn kép, thấu kính vật kính 1.6X~10X, hệ thống xử lý hình ảnh máy tính, màn hình LCD 19"; Độ phóng đại tổng cộng 91-570x
16. Kích thước khẩu trang: Có khả năng hút chân không khẩu trang vuông 5", không có yêu cầu đặc biệt về độ dày của khẩu trang (dao động từ 1 đến 3 mm).
17. Kích thước bề mặt: Thích hợp cho các bề mặt 4", với độ dày nền dao động từ 0.1 đến 2mm.
18. Khi đặt hàng, không có yêu cầu đặc biệt nào và kệ 5" X5 là tiêu chuẩn; bạn có thể tùy chỉnh các kệ dưới 5" X5: