Thiết bị này chủ yếu được sử dụng để phát triển và sản xuất các mạch tích hợp nhỏ và vừa, linh kiện bán dẫn, và thiết bị sóng âm bề mặt. Do cơ chế làm phẳng tiên tiến và lực làm phẳng thấp, máy này không chỉ phù hợp với việc phơi sáng của nhiều loại chất nền khác nhau mà còn phù hợp với việc phơi sáng của các chất nền dễ vỡ như arsenide kali và thép phosphate, cũng như việc phơi sáng của chất nền không tròn và nhỏ.
Thông số kỹ thuật
Các thông số kỹ thuật chính
1. Kiểu phơi sáng: kiểu tiếp xúc, căn chỉnh tấm, phơi sáng đơn hai mặt 2. Khu vực phơi sáng: 110X110mm; 3. Độ đồng đều khi phơi sáng: ≥ 97%; 4. Độ mạnh của ánh sáng phơi: 0-30mw/cm2 có thể điều chỉnh; 5. Góc tia UV: ≤ 3 ° 6. Chiều dài sóng trung tâm của ánh sáng tử ngoại: 365nm; 7. Tuổi thọ nguồn sáng UV: ≥ 20000 giờ; 8. Nhiệt độ bề mặt làm việc: ≤ 30 ℃ 9. Sử dụng cửa trập điện tử; 10. Độ phân giải phơi sáng: 1 μ M (chiều sâu phơi sáng khoảng 10 lần chiều rộng của đường line) 11. Chế độ phơi sáng: Phơi sáng hai mặt đồng thời 12. Phạm vi căn chỉnh: x: ± 5mm Y: ± 5mm 13. Độ chính xác căn chỉnh tấm: 2 μ m 14. Phạm vi xoay: Điều chỉnh xoay theo hướng Q ≤ ± 5 ° 15. Hệ thống kính hiển vi: Hệ thống CCD với hai trường nhìn, thấu kính mục tiêu 1.6X~10X, hệ thống xử lý hình ảnh máy tính, màn hình LCD 19 "; Tổng mức phóng đại 91-570x 16. Kích thước mặt nạ: Có khả năng hút chân không mặt nạ vuông 5", không có yêu cầu đặc biệt về độ dày của mặt nạ (từ 1 đến 3mm). 17. Kích thước vật liệu nền: Phù hợp cho vật liệu nền 4", với độ dày vật liệu nền dao động từ 0.1 đến 2mm. 18. Khi đặt hàng, không có yêu cầu đặc biệt, và kệ 5" X5 là tiêu chuẩn; bạn có thể tùy chỉnh các kệ dưới 5" X5:
Đóng gói & Giao hàng
Hồ sơ công ty
Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong việc bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp chuyên nghiệp một-stop cho dây chuyền đóng gói前端 và hậu cần của ngành bán dẫn từ Trung Quốc.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
