Máy chủ plasma chân không |
||||
Kích thước thiết bị |
1230X1800X1100mm (chiều rộng x chiều cao x độ sâu) |
|||
Trọng lượng |
450kg |
|||
Yêu cầu điện |
AC380V, 50/60Hz, 5 dây, 30A |
|||
Thông số kỹ thuật máy phát plasma |
||||
Nguồn cung cấp công suất vi sóng |
Sức mạnh |
0~1250W |
||
Tần số |
2.45GHz |
|||
Hệ thống chân không |
||||
Vật liệu |
Hợp kim nhôm (thể tích buồng thép không gỉ có thể tùy chỉnh) |
|||
Độ dày |
25mm |
|||
Kích thước bên trong của khoang |
480mmX470mmX480mm |
|||
Khu vực làm việc |
6 ngăn tạp chí |
|||
ECR |
Tạp chí có khe cung cấp hiệu ứng xử lý được tăng cường ECR |
|||
Khả năng plasma |
||||
Khả năng xử lý |
khoảng cách 35um bump 40μm kích thước Die tối đa 15X15mm |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved