Thiết bị lắng đọng hơi hóa học tăng cường Plasma PECVD / Quy trình PECVD nhiệt độ cao, Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy Thiết bị lắng đọng hơi hóa học tăng cường Plasma PECVD của Trung Quốc / Quy trình PECVD nhiệt độ cao

Mô tả Sản phẩm

Thiết bị lắng đọng hơi hóa học tăng cường PECVD Plasma

◆ Kiểm soát hoàn toàn tự động thời gian xử lý, nhiệt độ, lưu lượng khí, hoạt động của van và áp suất buồng phản ứng được thực hiện bằng cách
máy tính công nghiệp.
◆ Hệ thống kiểm soát áp suất nhập khẩu và hệ thống vòng kín được áp dụng, có độ ổn định cao.
◆ Các phụ kiện và van ống thép không gỉ chống ăn mòn nhập khẩu được sử dụng để đảm bảo độ kín khí của mạch khí.
◆ Nó có chức năng báo động hoàn hảo và thiết bị khóa liên động an toàn.
◆ Nó có cảnh báo nhiệt độ cực cao và cảnh báo dưới nhiệt độ, cảnh báo MFC, cảnh báo áp suất buồng phản ứng, cảnh báo RF, cảnh báo áp suất khí nén thấp, cảnh báo áp suất N2 thấp và cảnh báo lưu lượng nước làm mát thấp.
◆ PECVD hiện tại có chức năng phát triển màng SiO2 sau khi nâng cấp, giúp giải quyết vấn đề PID của mô-đun pin. Màng SiNxOy có thể được phát triển (quá trình thụ động ngược), điều này có thể cải thiện đáng kể hiệu suất chuyển đổi của pin.

Thiết bị lắng đọng hơi hóa chất tăng cường PECVD Plasma / Nhà cung cấp quy trình PECVD ở nhiệt độ cao

PECVD Thiết bị lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma / Chi tiết quy trình PECVD ở nhiệt độ cao

Thiết bị lắng đọng hơi hóa chất tăng cường PECVD Plasma / Nhà máy xử lý PECVD nhiệt độ cao

Kiểu

◆ Số lượng xếp hàng: 384 chiếc/thuyền (125 * 125); 336 chiếc/thuyền (156 * 156)
◆ Độ sạch của bàn thanh lọc: Cấp 100 (Nhà máy cấp 10000)
◆ Mức độ tự động hóa: tự động điều khiển nhiệt độ và quy trình.
◆ Chế độ gửi và lấy chip: loại hạ cánh mềm, có đặc tính ổn định và đáng tin cậy, không bị leo, định vị chính xác, khả năng chịu lực lớn và tuổi thọ dài.

Đặc điểm kỹ thuật

Tải tối đa trên mỗi ống	384 chiếc/thuyền（125125） 336 chiếc/thuyền（156156）
Chỉ số quy trình	± 3% trong viên, ± 3% giữa các viên, ± 3% giữa các lô
nhiệt độ làm việc	200 ~ 500 ℃
Độ chính xác và chiều dài vùng nhiệt độ (thử nghiệm ống kín tĩnh)	1200mm±1oC
Độ chính xác của dòng khí	± 1% FS
Độ kín khí của hệ thống mạch khí	1×10-7Pa.m³/S
điều khiển	Hệ thống điều chỉnh vòng kín áp suất tự động được nhập khẩu hoàn toàn, điều khiển chính xác chân không phản ứng; Công suất tần số cao 40KHz cung cấp; Thuyền thủ công cập bến mềm; Kiểm soát kỹ thuật số đầy đủ, bảo vệ kiểm soát quá trình hoàn hảo và an toàn.
1 ống, 2 ống, 3 ống và 4 ống là tùy chọn; Bộ điều khiển tải tự động là tùy chọn và hiệu suất của thiết bị và hiệu suất xử lý có thể sánh ngang với các thiết bị tương tự hàng đầu thế giới.

Đóng gói & Giao hàng

Thiết bị lắng đọng hơi hóa chất tăng cường PECVD Plasma / Sản xuất quy trình PECVD ở nhiệt độ cao

Để đảm bảo an toàn hơn cho hàng hóa của bạn, các dịch vụ đóng gói chuyên nghiệp, thân thiện với môi trường, thuận tiện và hiệu quả sẽ được cung cấp.

Hồ sơ công ty

Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong việc bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp chuyên nghiệp về thiết bị Dây chuyền đóng gói mặt trước và mặt sau bán dẫn một cửa từ Trung Quốc.