Mô hình |
MDAM-CMP100 |
MDAM-CMP150 |
|
Kích thước wafer |
4 inch và nhỏ hơn |
6 inch và nhỏ hơn |
|
Đường kính đĩa làm việc |
420mm |
420mm |
|
Trạm |
≤4 |
≤2 |
|
Cổng cấp liệu |
≤3 |
||
Nguồn điện |
220V、10A |
||
Hẹn giờ |
0-10h |
||
Nhiệt độ môi trường |
20℃~35℃ |
||
Tốc độ đĩa |
0-120vòng/phút |
||
Tốc độ cố định |
0-120vòng/phút |
Thành phần hệ thống cố định mẫu |
Kẹp, tay lăn |
Lắp ráp quy trình mài phẳng |
Bàn mài phẳng, khối sửa chữa bàn và xi lanh |
Lắp ráp quy trình đánh bóng |
Hệ thống cung cấp chất lỏng đánh bóng và bàn đánh bóng |
Thành phần phát hiện |
Bệ chuẩn thử nghiệm, máy kiểm tra độ phẳng, đồng hồ đo áp suất thử nghiệm |
Gói vật liệu mài và đánh bóng wafer |
Bột mài, dung dịch đánh bóng, vải đánh bóng, sáp, dung dịch tẩy sáp, tấm nền kính |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved