Hệ thống RTP xử lý nhiệt nhanh để bàn cho các loại bán dẫn hợp chất SlC LED và MEMS, Nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy sản xuất hệ thống RTP xử lý nhiệt nhanh để bàn của Trung Quốc cho các loại bán dẫn hợp chất SlC LED và MEMS

Mô tả Sản phẩm

Xử lý nhiệt nhanh

Cung cấp thiết bị RTP đáng tin cậy cho chất bán dẫn hỗn hợp、SlC、LED và MEMS

Ứng dụng công nghiệp

* Oxit, nitrit tăng trưởng
* Hợp kim nhanh tiếp xúc Ohmic
* Ủ hợp kim silicide
* Trào ngược oxy hóa
* Quá trình Gallium arsenide
* Các quy trình xử lý nhiệt nhanh khác

Hệ thống RTP để bàn xử lý nhiệt nhanh dành cho chất bán dẫn phức hợp SlC LED và MEMS chi tiết

Lợi thế sản phẩm

1. Phạm vi xử lý bao gồm 200-1250oC
2. Hệ thống quản lý trường nhiệt độ mạnh mẽ
3. Thuật toán RTP chuyên dụng
4. Công cụ hiệu chỉnh wafer TC chuyên nghiệp

Đặc tính

* Ống đèn halogen hồng ngoại sưởi ấm, làm mát bằng không khí làm mát;
* Kiểm soát nhiệt độ PlD cho nguồn đèn, có thể kiểm soát chính xác mức tăng nhiệt độ, đảm bảo khả năng tái tạo tốt và độ đồng đều nhiệt độ;
* Đầu vào của nguyên liệu được đặt trên bề mặt WAFER để tránh tạo điểm lạnh trong quá trình ủ và đảm bảo độ đồng đều nhiệt độ tốt của sản phẩm;
* Có thể lựa chọn cả hai phương pháp xử lý khí quyển và chân không, với tiền xử lý và thanh lọc cơ thể;
* Hai bộ khí xử lý là tiêu chuẩn và có thể mở rộng lên tới 6 bộ khí xử lý;
* Kích thước tối đa của mẫu silicon đơn tinh thể có thể đo được là 12 inch (300x300MM);
* Ba biện pháp an toàn là bảo vệ mở nhiệt độ an toàn, bảo vệ cho phép mở bộ điều khiển nhiệt độ và bảo vệ an toàn dừng khẩn cấp thiết bị được thực hiện đầy đủ để đảm bảo an toàn cho thiết bị;

Sự trùng hợp của đường cong bậc 20

Hệ thống RTP để bàn xử lý nhiệt nhanh dành cho chất bán dẫn hỗn hợp Sản xuất SlC LED và MEMS

20 đường cong để kiểm soát nhiệt độ ở 850oC

Hệ thống RTP để bàn xử lý nhiệt nhanh cho chất bán dẫn hỗn hợp Nhà máy SlC LED và MEMS

Sự trùng hợp của 20 đường cong nhiệt độ trung bình

Kiểm soát nhiệt độ 1250oC

Hệ thống RTP để bàn xử lý nhiệt nhanh cho chất bán dẫn hỗn hợp Nhà cung cấp SlC LED và MEMS

Quá trình kiểm soát nhiệt độ RTP 1000oC

Quá trình 960oC, được điều khiển bằng nhiệt kế hồng ngoại

Dữ liệu quá trình LED

RTD wafer là cảm biến nhiệt độ sử dụng các kỹ thuật xử lý đặc biệt để nhúng cảm biến nhiệt độ (RTD) tại các vị trí cụ thể trên bề mặt của wafer, cho phép đo nhiệt độ bề mặt trên wafer theo thời gian thực.
Có thể thu được các phép đo nhiệt độ thực tại các vị trí cụ thể trên tấm bán dẫn và sự phân bố nhiệt độ tổng thể của tấm bán dẫn thông qua Bánh bán dẫn RTD; Nó cũng có thể được sử dụng để theo dõi liên tục những thay đổi nhiệt độ nhất thời trên tấm bán dẫn trong quá trình xử lý nhiệt.