Hệ thống khắc ion phản ứng (RIE) Máy công nghiệp bán dẫn, Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy Hệ thống khắc ion phản ứng (RIE) Máy công nghiệp bán dẫn của Trung Quốc

Mô tả Sản phẩm

Vật liệu áp dụng:

Lớp thụ động: SiO2, SiNx
Backsilicon
Lớp dính: TaN
Qua lỗ: W

Đặc tính:

1. Khắc lớp thụ động có hoặc không có lỗ;

2. Khắc lớp dính;

3. Khắc silicon mặt sau

Hệ thống khắc ion phản ứng (RIE) Nhà cung cấp máy công nghiệp bán dẫn

Hệ thống khắc ion phản ứng (RIE) Chi tiết máy công nghiệp bán dẫn

Hệ thống khắc ion phản ứng (RIE) Nhà máy sản xuất máy công nghiệp bán dẫn

Đặc điểm kỹ thuật

Cấu hình dự án và sơ đồ cấu trúc máy

Mục	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Kích cỡ sản phẩm	6 inch	8 inch	8 inch
Nguồn điện RF	0-300W/500W/1000W Có thể điều chỉnh, khớp tự động
Bơm phân tử	-/620(L/s)/1300(L/s)/Tùy chỉnh			Thuốc sát trùng620(L/s)/1300(L/s)/Custom
Bơm tiền thân	Bơm cơ/bơm khô			Bơm khô
Quy trình áp lực	Áp suất không được kiểm soát/Áp suất được kiểm soát 0-1Torr
Loại gas	H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Tùy chỉnh (Tối đa 9 kênh, không có khí ăn mòn & độc hại)			H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels)
Ống dẫn xăng	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom
Khóa tải	Có không			Có
Kiểm soát nhiệt độ mẫu	10°C~Nhiệt độ phòng/-30°C~100°C/Tùy chỉnh			-30°C~100°C /Tùy chỉnh
Làm mát bằng heli phía sau	Có không			Có
Lớp lót khoang xử lý	Có không			Có
Kiểm soát nhiệt độ tường khoang	Không/Roomtem~60/120°C			Nhiệt độ phòng-60/120°C
Hệ thống điều khiển	Tự động/tùy chỉnh
Vật liệu khắc	Dựa trên silicon:Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Vật liệu từ tính/vật liệu hợp kim Chất liệu kim loại: Ni/Cr/Al/Au..... Chất hữu cơ: PR/PMMA/HDMS/Hữu cơ phim ảnh......			Dựa trên silicon: Si/SiO2/SiNx...... III-V(注3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe...... Vật liệu từ tính/vật liệu hợp kim Chất liệu kim loại: Ni/Cr/A1/Au...... Chất hữu cơ: PR/PMMA/HDMS/màng hữu cơ...

Kết quả quá trình

Khắc vật liệu dựa trên silicon

Vật liệu dựa trên silicon, mẫu in nano, mảng
mô hình và khắc mô hình ống kính

Hệ thống khắc ion phản ứng (RIE) Sản xuất máy công nghiệp bán dẫn

InP khắc nhiệt độ bình thường

Khắc mẫu của các thiết bị dựa trên InP được sử dụng trong truyền thông quang học, bao gồm cấu trúc ống dẫn sóng, cấu trúc sườn cấu trúc khoang cộng hưởng, v.v.

Khắc vật liệu SiC

Thích hợp cho các thiết bị vi sóng, thiết bị điện, v.v.

phún xạ vật lý, khắc khắc vật liệu hữu cơ

Nó được áp dụng để khắc các vật liệu khó khắc như một số kim loại (như Ni / Cr) và gốm sứ, và
việc tạo khuôn mẫu của vật liệu được thực hiện bằng cách bắn phá vật lý.

Nó được sử dụng để khắc và loại bỏ các hợp chất hữu cơ như chất quang dẫn (PR)/PMMA/HDMS/polymer

Đóng gói & Giao hàng

Hồ sơ công ty

Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong việc bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp chuyên nghiệp về thiết bị Dây chuyền đóng gói mặt trước và mặt sau bán dẫn một cửa từ Trung Quốc.