Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

trang chủ
Giới thiệu
MH Equipment
Giải Pháp
Người dùng nước ngoài
video
Liên hệ với chúng tôi
Trang chủ> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi
  • Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi
  • Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi
  • Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi
  • Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi
  • Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi
  • Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi
  • Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi
  • Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi
  • Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi
  • Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi
  • Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi

Hệ thống etching ion phản ứng RIE máy RIE Phân tích lỗi

Mô tả Sản phẩm
Hệ thống ăn mòn ion phản ứng
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier
Ứng dụng
Lớp passivation: SiO2, SiNx
Silicon phía sau
Lớp keo: TaN
Lỗ xuyên qua: W
Tính năng
1. Ăn mòn lớp passivation có hoặc không có lỗ;
2. Tạo rãnh lớp keo dán;
3. Tạo rãnh silicon phía sau
Thông số kỹ thuật
Cấu hình dự án và sơ đồ cấu trúc máy
mục
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Kích thước sản phẩm
≤6 inch
≤8 inch
≤8 inch


Nguồn điện RF
0-300W/500W/1000W Điều chỉnh được, tự động khớp


Bơm phân tử
-620(L/s)/1300(L/s)/Tùy chỉnh

Kháng khuẩn620(L/s)/1300(L/s)/Tùy chỉnh

Bơm tiền xử lý
Bơm cơ học/bơm khô

Bơm khô

Áp suất quá trình
Áp suất không kiểm soát/0-1Torr áp suất kiểm soát


Loại khí
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Tùy chỉnh
(Lên đến 9 kênh, không khí ăn mòn & độc hại)

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Lên đến 9 kênh)

Dải khí gas
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/tùy chỉnh


Hệ thống LoadLock
Có\/Không


Kiểm soát nhiệt độ mẫu
10°C~Nhiệt độ phòng/-30°C~100°C/Tùy chỉnh

-30°C~100°C/Tùy chỉnh

Làm mát helium phía sau
Có\/Không


Lining khoang xử lý
Có\/Không


Kiểm soát nhiệt độ tường khoang
Không/Nhiệt độ phòng~60/120°C

Nhiệt độ phòng-60/120°C

Hệ thống điều khiển
Tự động/tùy chỉnh


Vật liệu ăn mòn
Dựa trên silic: Si/SiO2/SiNx.
IV-IV: SiC
Vật liệu từ tính/hợp kim
Vật liệu kim loại: Ni/Cr/Al/Au.
Vật liệu hữu cơ: PR/PMMA/HDMS/phim hữu cơ.

Dựa trên silic: Si/SiO2/SiNx.
III-V(Chú thích 3): InP/GaAs/GaN.
IV-IV: SiC
II-VI (chú thích 3): CdTe.
Vật liệu từ tính/hợp kim
Vật liệu kim loại: Ni/Cr/A1/Au.
Vật liệu hữu cơ: PR/PMMA/HDMS/phim hữu cơ.

1. Ngăn ngừa mảnh vỡ bay ra
2. Nút nhỏ nhất có thể xử lý: 14nm:
3. Tốc độ etching SiO2/SiNx: 50~150 nm/phút;
4. Độ nhám bề mặt sau khi etching: 5. Hỗ trợ lớp bị động hóa, lớp bám dính và etching silicon phía sau;
6. Tỷ lệ chọn lọc của Cu/Al: >50
7. Kích thước máy toàn năng DxRxC: 1300mmX750mmX950mm
8. Hỗ trợ thực thi bằng một cú nhấp chuột
Kết quả xử lý

Gia công chất liệu dựa trên silic

Chất liệu dựa trên silic, mẫu in nano, mảng
mẫu và gia công mẫu thấu kính
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory

Gia công nhiệt độ thường của InP

Gia công mẫu của thiết bị dựa trên InP được sử dụng trong truyền thông quang học, bao gồm cấu trúc waveguide, cấu trúc khoang cộng hưởng.
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier

Gia công chất liệu SiC

Phù hợp cho thiết bị vi sóng, thiết bị điện lực, v.v.


Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details

Phun vật lý, gia công chất liệu hữu cơ

Được áp dụng để gia công các chất liệu khó gia công như một số kim loại (chẳng hạn Ni/Cr) và gốm sứ
họa tiết tching.
Nó được sử dụng để khắc và loại bỏ các hợp chất hữu cơ như photoresist (PR) / PMMA / HDMS / polymer
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Hiển thị kết quả phân tích lỗi
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
Chi tiết sản phẩm
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Đóng gói & Giao hàng
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details
máy hàn
Hồ sơ công ty

Máy Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) là một công nghệ tiên tiến có khả năng khắc và phân tích nhiều loại vật liệu khác nhau với độ chính xác tuyệt vời. Máy này được thiết kế để sử dụng trong các ngành công nghiệp cần chế tạo vi cấu trúc hoặc khắc thường xuyên. Nó được làm từ các vật liệu chất lượng cao, giúp máy bền bỉ, đáng tin cậy và có thể cho ra kết quả xuất sắc.

 

Được trang bị máy phát plasma RF có hiệu quả. Hệ thống RIE sử dụng sự ghép nối cảm ứng để tạo ra plasma từ nhiên liệu đầu vào. Kỹ thuật này tạo ra một plasma có mật độ cao, tăng tốc độ ăn mòn liên quan đến sản phẩm. Quá trình ăn mòn của máy RIE hiệu quả, chính xác và dễ kiểm soát, cho phép đạt được độ sâu cụ thể. Đặc điểm này làm cho nó trở thành lựa chọn tuyệt vời cho nghiên cứu hoặc công việc ngành công nghiệp.

 

Máy có phạm vi ứng dụng rộng rãi, bao gồm vi điện tử, sản xuất MEMS và sản xuất bán dẫn. Máy này đóng vai trò quan trọng trong việc khắc蚀 và gia công vi mô của các vật liệu bán dẫn như silic, arsen gallium và germanium trong ngành công nghiệp bán dẫn. Thiết bị RIE Minder-High-tech cũng đã được áp dụng trong ngành công nghiệp MEMS để sản xuất các vật liệu mềm và cứng như polyimide, oxit silic và nitride silic. Ngoài ra, nó còn được sử dụng cho phân tích lỗi trong các ngành liên quan đến dịch vụ và sản phẩm điện tử.

 

Bao gồm các tính năng đa dạng giúp việc sử dụng trở nên dễ dàng. Phần mềm thân thiện với người dùng, cung cấp cho người vận hành toàn bộ quyền kiểm soát các thông số khắc được sử dụng trong thiết bị. Cài đặt của máy được lưu vào bộ nhớ nội bộ và có thể lưu hơn 100 bộ cài đặt. Nó có màn hình cảm ứng cho phép người vận hành điều chỉnh các thông số như lưu lượng khí, mật độ công suất và áp suất. Máy khắc RIE Minder-High-tech cũng có tính năng kiểm soát nhiệt độ đảm bảo rằng vật liệu được khắc ở nhiệt độ phù hợp và ngăn ngừa hư hại.

 

Thích hợp cho các công ty cần một máy móc đáng tin cậy và hiệu quả có thể cung cấp kết quả chính xác. Thiết bị này đã được thiết kế với công nghệ hàng đầu và đạt đến một mức độ rất cao. Sự linh hoạt và các tính năng thân thiện với người dùng khiến nó trở thành lựa chọn tuyệt vời cho các ứng dụng nghiên cứu và ngành công nghiệp trong nhiều lĩnh vực khác nhau.

 

Ngoài ra, hệ thống phân tích sự cố hiệu quả cho phép máy phát hiện và sửa chữa các vấn đề cơ khí càng sớm càng tốt. Hệ thống này đảm bảo rằng máy RIE duy trì chất lượng cao và độ tin cậy trong suốt vòng đời của nó. Đối với bất kỳ ngành công nghiệp nào yêu cầu việc ăn mòn hoặc vi chế tạo chính xác và hiệu quả, máy RIE Minder-High-tech là giải pháp hoàn hảo.


Truy vấn

Truy vấn Email whatsapp WeChat
Top
×

Liên hệ