Cung cấp thiết bị RTP đáng tin cậy cho bán dẫn hợp chất、SlC、LED và MEMS
Tính năng
* Sưởi ấm bằng bóng đèn halogen hồng ngoại, làm mát sử dụng làm mát bằng không khí; * Kiểm soát nhiệt độ PlD cho công suất đèn, có thể kiểm soát chính xác sự tăng nhiệt, đảm bảo khả năng tái tạo tốt và sự đồng đều về nhiệt độ; * Cổng vào vật liệu được đặt trên bề mặt WAFER để tránh việc tạo ra điểm lạnh trong quá trình tinh luyện và đảm bảo sự đồng đều về nhiệt độ của sản phẩm; * Có thể chọn cả phương pháp xử lý khí quyển và chân không, với việc xử lý tiền kỳ và làm sạch thân thiết bị; * Hai bộ khí quy trình là tiêu chuẩn và có thể mở rộng lên đến 6 bộ khí quy trình; * Kích thước tối đa của mẫu tinh thể đơn silicon có thể đo là 12 inch (300x300MM); * Ba biện pháp an toàn về bảo vệ mở nhiệt độ an toàn, cho phép mở bộ điều khiển nhiệt độ và bảo vệ dừng khẩn cấp thiết bị được thực hiện đầy đủ để đảm bảo an toàn cho máy móc;
Báo cáo thử nghiệm
Trùng khớp các đường cong ở mức 20 độ
20 đường cong kiểm soát nhiệt độ ở 850 ℃
Trùng khớp 20 đường cong nhiệt độ trung bình
Kiểm soát nhiệt độ ở 1250 ℃
Quy trình kiểm soát nhiệt độ RTP ở 1000 ℃
Quy trình ở 960 ℃, được kiểm soát bởi pyromete hồng ngoại
Dữ liệu quy trình LED
RTD Wafer là một cảm biến nhiệt sử dụng các kỹ thuật xử lý đặc biệt để nhúng các cảm biến nhiệt (RTDs) tại các vị trí cụ thể trên bề mặt của wafer, cho phép đo nhiệt độ bề mặt wafer theo thời gian thực.
Các phép đo nhiệt độ thực tế tại các vị trí cụ thể trên wafer và phân bố nhiệt độ tổng thể của wafer có thể được thu thập thông qua RTD Wafer; Nó cũng có thể được sử dụng để giám sát liên tục sự thay đổi nhiệt độ tức thời trên wafer trong quá trình xử lý nhiệt.
Thông số kỹ thuật
Đóng gói & Giao hàng
Hồ sơ công ty
Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong lĩnh vực bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp trọn gói thiết bị dây chuyền đóng gói前端 và后端 Semiconductor từ Trung Quốc!
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
