Nguồn plasma
|
Rf
|
||
Sức mạnh
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W(tùy chọn)
|
||
Phạm vi áp dụng
|
4~8 inch
|
||
Số lượng phiến xử lý đơn lẻ
|
1
|
||
Kích thước bên ngoài
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
Kiểm soát hệ thống
|
PLC
|
||
Mức độ tự động hóa
|
Hướng dẫn sử dụng
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved