Thiết bị công nghiệp bán dẫn MDLB-MC200 Máy làm sạch mặt nạ quang học, Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy thiết bị công nghiệp bán dẫn MDLB-MC200 Máy làm sạch mặt nạ quang học

MDLB-MC200

Máy vệ sinh Photomask

Bộ phận làm sạch:

Buồng làm sạch được xử lý bằng vật liệu chống ăn mòn, có bề mặt nhẵn và dễ vệ sinh. Có một cổng xả chất thải ở dưới cùng của khoang bên trong, sử dụng trọng lực để cho phép chất lỏng thải được xả vào đường ống xả chất thải của nhà máy. Có một cổng hút bên trong khoang, có thể kịp thời hút không khí ra khỏi khoang. Được trang bị 3 cánh tay xoay tự động, có thể đạt được chế độ vệ sinh tự động.

Bảng tham số cấu hình:

Không.	Dự án	Thông số kỹ thuật	Chi tiết
1	Tổng quan về thiết bị	Tên thiết bị: Photomask Cleaner
		Model thiết bị: MDLB-MC200
		Kích thước tổng thể (khoảng): 1300mm (Rộng) * 1000mm (Sâu) * 1950mm (Cao)
		Trọng lượng toàn bộ máy (khoảng): 300KG
		Chiều cao bàn phẫu thuật: 900 ± 50mm
		Thông số kích thước nền: phù hợp với tấm mặt nạ vuông 2/4/5/6/8 inch
		Quy trình: đặt wafer thủ công → vệ sinh (chổi, dung dịch vệ sinh → nước áp suất cao → nước megasonic → nước khử ion → sấy khí nitơ) → tháo wafer thủ công
		Loại thiết bị: bán tự động, nạp và dỡ thủ công
2	Xây dựng thiết bị	Vỏ: thép không gỉ, mịn, chống ăn mòn, dễ vệ sinh
		Buồng vệ sinh: PP, nhẵn, chống ăn mòn, dễ vệ sinh
		Đường ống: Đường ống phù hợp PU/PFA được sử dụng
		Đèn chiếu sáng làm việc: đèn chiếu sáng màu vàng chống ăn mòn
		Kiểu mở cửa: Cửa đôi có chức năng báo động mở cửa
		Màn hình cảm ứng: Màn hình cảm ứng màu 10 inch * 1
		FFU: Lớp 100
		Hỗ trợ đáy chống rò rỉ: có sẵn
3	Động cơ servo có độ chính xác cao	Số lượng: 1
		Tốc độ: -3000~3000 vòng/phút	Tải rỗng
		Gia tốc quay trục chính tối đa: 3000 vòng/phút	Tải rỗng
		Độ chính xác tốc độ: ± 1 vòng/phút (50 vòng/phút~3000 vòng/phút)
		Độ phân giải tốc độ: 1 vòng/phút
4	Cánh tay xoay tự động	Số lượng: 3
4	Cánh tay xoay tự động	Tốc độ cánh tay xoay: 1~30 °/giây
5	đơn vị làm sạch	Vệ sinh cánh tay đòn: 1 kênh nước khử ion, 1 kênh khí nitơ Cánh tay Megasonic: 1 Megasonic, 1 Nước áp suất cao Tay chổi: 1 chổi, 1 nước, 1 dung dịch vệ sinh
		Phương pháp vệ sinh: vệ sinh tự động
		Chức năng hút nước khử ion: có sẵn
		Rửa ngược (nước khử ion): 1 tuyến
		Phương pháp cung cấp: Dung dịch vệ sinh: Bơm màng Nước khử ion: được cung cấp trực tiếp từ nhà máy
		Bình chứa áp suất có chức năng phát hiện mức chất lỏng
6	Bàn chải bàn chải	Số lượng: 1 (có chức năng tự làm sạch)
		Tốc độ: lên đến 1000 vòng/phút, tốc độ có thể điều chỉnh
		Chiều cao có thể điều chỉnh bằng tay
7	Khay chứa	Số lượng: 5
		Chất liệu: PPS + thép không gỉ
		Kích thước: Phù hợp với tấm mặt nạ vuông 2/4/5/6/8 inch
		Phương pháp cố định nền: Phương pháp cố định móng vuốt
8	Hệ thống điều khiển	Hệ thống điều khiển: sử dụng điều khiển PLC
		Chương trình: 100 nhóm, mỗi nhóm gồm 100 bước, với thời gian mỗi bước tối đa là 3000.0 giây Độ phân giải: 0.1S
		Chương trình có thể được lưu, gọi, sửa đổi và xóa
		Thiết lập quyền mã hóa: cho người vận hành thiết bị, kỹ thuật viên, quản trị viên và nhà sản xuất tương ứng
		Loại tháp tín hiệu: đỏ, vàng, xanh 3 màu