Thiết bị Ngành Công nghiệp Bán dẫn MDLB-MC200 Máy làm sạch Photomask

Không, không.

Dự án

Thông số kỹ thuật

Ghi chú

1

Tổng quan Thiết bị

Tên thiết bị: Máy làm sạch Photomask

Mã thiết bị: MDLB-MC200

Kích thước tổng thể (khoảng): 1300mm (R) * 1000mm (S) * 1950mm (C)

Trọng lượng toàn bộ máy (khoảng): 300KG

Chiều cao bàn điều khiển: 900 ± 50mm

Quy cách kích thước substrat: phù hợp với mask vuông cỡ 2/4/5/6/8 inch

Quy trình xử lý: đặt wafer bằng tay → làm sạch (chổi, dung dịch làm sạch → nước áp suất cao → nước megasonic → nước ion hóa → sấy khô bằng khí nitơ) → lấy wafer ra bằng tay

Loại thiết bị: bán tự động, nạp và dỡ hàng thủ công

2

Cấu trúc thiết bị

Vỏ: thép không gỉ, mịn, chống ăn mòn, dễ dàng vệ sinh

Buồng làm sạch: PP, mịn, chống ăn mòn, dễ dàng vệ sinh

Ống dẫn: sử dụng ống dẫn PU/PFA

Ánh sáng làm việc: đèn chiếu sáng màu vàng chống ăn mòn

Kiểu mở cửa: Cửa đôi với chức năng cảnh báo khi mở cửa

Màn hình cảm ứng: màn hình cảm ứng màu toàn phần 10 inch * 1

FFU: Cấp độ 100

Chân đỡ chống rò rỉ: có sẵn

3

Động cơ servo chính xác cao

Số lượng: 1

Tốc độ: -3000~3000 vòng/phút

Không tải

Gia tốc tối đa của trục quay: 3000 vòng/phút/giây

Không tải

Độ chính xác tốc độ: ± 1 vòng/phút (50 vòng/phút~3000 vòng/phút)

Độ phân giải tốc độ: 1 vòng/phút

4

Tay quay tự động

Số lượng: 3

Tốc độ tay quay: 1~30 °/giây

5

Đơn vị làm sạch

Tay quay làm sạch: 1 kênh nước ion hóa, 1 kênh khí ni-tơ

Tay Megasonic: 1 Megasonic, 1 nước áp lực cao

Tay chổi: 1 chổi, 1 nước, 1 dung dịch làm sạch

Phương pháp làm sạch: làm sạch tự động

Chức năng hút nước khử ion: có sẵn

Rửa ngược (nước khử ion): 1 đường

Phương pháp cung cấp: Dung dịch làm sạch: Bơm màng

Nước khử ion: được cung cấp trực tiếp bởi nhà máy

Bình áp với cảm biến mức chất lỏng

6

Chải chổi

Số lượng: 1 (có chức năng tự làm sạch)

Tốc độ: lên đến 1000v/p, có thể điều chỉnh tốc độ

Chiều cao điều chỉnh bằng tay

7

Khay tải

Số lượng: 5

Vật liệu: PPS + thép không gỉ

Kích thước: Phù hợp với mặt nạ hình vuông cỡ 2/4/5/6/8 inch

Phương pháp cố định vật liệu: Phương pháp cố định bằng càng kẹp

8

Hệ thống điều khiển

Hệ thống kiểm soát: Sử dụng điều khiển PLC

Chương trình: 100 nhóm, mỗi nhóm gồm 100 bước, với thời gian tối đa của một bước là 3000.0 giây

Độ phân giải: 0.1S

Chương trình có thể được lưu, gọi, sửa đổi và xóa

Đặt quyền mã hóa: cho người vận hành thiết bị, kỹ thuật viên, quản trị viên và nhà sản xuất tương ứng

Kiểu tháp tín hiệu: 3 màu đỏ, vàng, xanh lá