Máy loại bỏ PR loại phòng thí nghiệm ICP dùng trong ngành bán dẫn, Máy loại bỏ PR loại phòng thí nghiệm ICP dùng trong ngành bán dẫn, Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy

Mô tả Sản phẩm

Loại bỏ PR loại phòng thí nghiệm ICP Chất tẩy quang máy

tro hóa
Loại bỏ polyme
MÔ TẢ
Loại bỏ khô lớp mặt nạ cứng
Loại bỏ quang trở sau khi cấy ion nữ
Loại bỏ điện trở quang giữa các phương tiện truyền thông
Loại bỏ chất cản quang trong quy trình BAW/SAW
Giặt khô lớp phim đồ họa chống phản chiếu Y
Khắc silicon oxit hoặc silicon nitride
Loại bỏ cặn bề mặt
Làm sạch bề mặt sau khi khắc
Khắc cacbua silic

Ngành công nghiệp bán dẫn Loại phòng thí nghiệm ICP Máy loại bỏ PR Nhà cung cấp loại bỏ dư lượng quang điện

Quy trình xét duyệt

Ngành công nghiệp bán dẫn Loại phòng thí nghiệm ICP Máy loại bỏ PR Nhà máy loại bỏ dư lượng quang điện

Ngành công nghiệp bán dẫn Loại phòng thí nghiệm ICP Máy loại bỏ PR Máy quang điện Chi tiết loại bỏ cặn

Lợi thế:

Lợi thế cốt lõi

Tốc độ khử keo cao: Plasma mật độ cao, tốc độ khử keo nhanh
Tính ổn định: Sau khi xử lý bằng plasma, độ tái lập cao
Plasma từ xa: Plasma từ xa, ion thấp gây hư hại cho wafer
Phần mềm nổi bật: nghiên cứu và phát triển phần mềm độc lập, hoạt hình quy trình trực quan, dữ liệu và hồ sơ chi tiết
Tính đồng nhất: Plasma có thể kiểm soát áp suất và nhiệt độ thông qua van bướm
Hệ số an toàn: Huyết tương thấp làm giảm thiệt hại khi xả sản phẩm.
Dịch vụ sau bán hàng: Phản hồi nhanh và đủ hàng tồn kho
Kiểm soát bụi: Đáp ứng yêu cầu của khách hàng.
Công nghệ cốt lõi: Với gần 40% thành viên nhóm R&D

Nền tảng băng cassette (MD-ST 6100/620)

1. 4 người vận chuyển wafer
2. Khả năng tương thích cao: tính linh hoạt trong việc lựa chọn kích thước wafer mang lại hiệu quả giải pháp và chi phí cao
3. Buồng truyền chân không có độ ổn định cao:
Thiết kế truyền chân không hoàn thiện và ổn định đã được áp dụng hoàn thiện trên thị trường trong nhiều năm và được khách hàng công nhận.
Thiết kế bàn xoay, không gian nhỏ gọn, giảm đáng kể nguy cơ PARTICAL
4. Giao diện vận hành phần mềm nhân bản:
Giao diện vận hành phần mềm nhân bản trực quan, giám sát trạng thái hoạt động của máy theo thời gian thực;
Chức năng cảnh báo toàn diện và chống lừa đảo để tránh hoạt động sai.
Chức năng xuất dữ liệu mạnh mẽ, ghi lại các thông số quy trình khác nhau và xuất hồ sơ sản xuất sản phẩm.

Người Máy

1. Thiết kế chọn và đặt wafer kép một lần mang lại năng suất cao
2. Cải thiện hiệu quả không gian.

Tấm sưởi

1. Tấm wafer kiểm soát nhiệt độ có độ chính xác cao
Tấm gia nhiệt wafer từ nhiệt độ phòng đến 250°C, độ chính xác kiểm soát nhiệt độ ±1°C
Tấm gia nhiệt wafer đã được hiệu chuẩn bằng dụng cụ chuyên nghiệp và có tính đồng nhất. Trong phạm vi ±3°C, đảm bảo tính đồng nhất của việc loại bỏ keo
2. Xử lý wafer kép một buồng
Thiết kế wafer kép buồng đơn;
Thiết kế phóng điện độc lập cho từng wafer, đảm bảo rằng mỗi wafer. Hiệu ứng loại bỏ PR tròn;
Với tiền đề đảm bảo hiệu quả UPH, giảm giá thành sản phẩm. Khả năng tương thích mạnh mẽ
3. Năng lực sản xuất: buồng phản ứng thiết kế hai mảnh, hiệu quả sản xuất cao.

Ngành công nghiệp bán dẫn Loại phòng thí nghiệm ICP Máy loại bỏ PR Sản xuất loại bỏ dư lượng chất cản quang

Đặc điểm kỹ thuật

Nguồn PLASMA			RF+BIAS
Power	1000W	1000W
Power		600W	600W
Phạm vi áp dụng			4-8 inch
Số lát xử lý đơn			một
Kích thước ngoại hình			1140mm x 1050mm x 1620mm
Điều khiển hệ thống			Hệ thống điều khiển công nghiệp
Mức độ tự động hóa			Hướng dẫn sử dụng

Khả năng phần cứng
Thời gian hoạt động/Thời gian khả dụng	≧ 95%
Thời gian dọn dẹp trung bình (MTTC)	≦6 giờ
Thời gian trung bình để sửa chữa (MTTR)	≦4 giờ
Thời gian trung bình giữa các lần thất bại（MTBF）	≧350 giờ
Thời gian trung bình giữa trợ lý（MTBA）	≧24 giờ
Tấm wafer trung bình bị hỏng（MWBB）	≦ 1 trong 10,000 tấm wafer
Kiểm soát tấm sưởi	50-250 °

Báo cáo thử nghiệm

Nhà máy Xem

Đóng gói & Giao hàng

Hồ sơ công ty

Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong việc bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp Thiết bị dây chuyền đóng gói toàn diện từ Trung Quốc!