Máy làm sạch Wafer đơn tự động hoàn toàn Máy làm sạch Wafer
Tính năng máy
Một khoang, hai khoang và bốn khoang Khả năng xử lý mạnh mẽ, có thể hỗ trợ các ứng dụng như bắt đầu Wafer và làm sạch quy trình Tính nhất quán tốt của công nghệ giữa các chip thiết bị
Các lĩnh vực ứng dụng
Loại bỏ hạt trên bề mặt của wafer silicon và hợp chất nền có kích thước 4-8 inch
Thông số kỹ thuật
khoang chải 4 inch, 6 inch, 8 inch Tốc độ Spinner lên đến 4000RPM Khoang chải Dual Arm, có sẵn các phương pháp làm sạch Brush, AS, JET, Megasonics Có thể hỗ trợ chức năng làm sạch bằng chất lỏng
Đơn vị LoadPort, đơn vị nạp
LoadPort là đơn vị nạp của thiết bị này
Có khả năng thực hiện Wafer Mapping Được trang bị cảm biến phát hiện Wafer slide
Đơn vị chuyển Robot
Robot Lưỡi kép, tùy chọn với lưỡi dạng chân không hoặc khay.
Đơn vị căn chỉnh và lật
Có thể căn chỉnh và định vị các cạnh phẳng Wafer có thể được lật để làm sạch mặt sau của tinh thể
Đơn vị chải
Số lượng Tay chải * 2 Cán Wafer: Kẹp Chuck hoặc loại hút Chổi, AS, JET, chế độ làm sạch Megasonics, hỗ trợ làm sạch dược phẩm
1. Hỗ trợ đầu vào và đầu ra Wafer đồng thời, cũng như chế độ đầu vào A và đầu ra B 2. Có thể hỗ trợ chải phần trước của buồng A và phần sau của buồng B 3. Có thể hỗ trợ làm sạch song song hai buồng
Mô tả đơn vị chải
Như được hiển thị trong hình ảnh Wafer được cố định trên Spinner
Arm1&Arm2 có thể được sử dụng kết hợp với các phương pháp chải khác nhau được mô tả trước đó để làm sạch wafer.
Sau khi làm sạch, Spinner quay ở tốc độ cao để vắt và làm khô wafer
Đơn vị căn chỉnh và lật
Wafer có thể được sử dụng cho mục đích cư trú và cân bằng
Wafer có thể được lật
Kích thước thiết bị: 160x150x220 (mm) Cách tải và tháo dỡ: vào và ra cùng phía & A vào và B ra Số lượng đầu chải: 2 Chế độ chải: Chải, AS, JET, phương pháp làm sạch Megasonics, hỗ trợ làm sạch dược phẩm
Đóng gói & Giao hàng
Hồ sơ công ty
Câu hỏi thường gặp
1. Về Giá cả: Tất cả giá cả của chúng tôi đều cạnh tranh và có thể thương lượng. Giá thay đổi tùy thuộc vào cấu hình và mức độ phức tạp của việc tùy chỉnh thiết bị của bạn.
2. Về Mẫu: Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ sản xuất mẫu cho bạn, nhưng bạn có thể cần trả một số phí.
3. Về Thanh toán: Sau khi kế hoạch được xác nhận, bạn cần thanh toán khoản đặt cọc trước, và nhà máy sẽ bắt đầu chuẩn bị hàng hóa. Sau khi thiết bị sẵn sàng và bạn thanh toán số tiền còn lại, chúng tôi sẽ gửi hàng.
4. Về Giao hàng: Sau khi hoàn thành việc sản xuất thiết bị, chúng tôi sẽ gửi cho bạn video nghiệm thu, và bạn cũng có thể đến hiện trường để kiểm tra thiết bị.
5. Lắp đặt và Điều chỉnh: Sau khi thiết bị đến nhà máy của bạn, chúng tôi có thể cử kỹ sư đến để lắp đặt và điều chỉnh thiết bị. Chúng tôi sẽ cung cấp cho bạn báo giá riêng cho khoản phí dịch vụ này.
6. Về bảo hành: Thiết bị của chúng tôi có thời hạn bảo hành 12 tháng. Sau thời hạn bảo hành, nếu có bất kỳ linh kiện nào bị hư hỏng và cần thay thế, chúng tôi sẽ chỉ thu phí giá vốn.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
