لماذا من الضروري إزالة المقاومة الضوئية؟
كما هو معروف، فإن مادة المقاومة الضوئية هي المادة الأساسية المستخدمة في تصنيع رقائق أشباه الموصلات. وفي عملية تصنيع الرقائق، تشكل عملية الطباعة الضوئية حوالي 35% من إجمالي تكلفة تصنيع الرقائق وتستهلك ما بين 40% إلى 50% من عملية تصنيع الرقائق بالكامل، مما يجعلها العملية الأكثر أهمية في تصنيع أشباه الموصلات.
إن الخطوة التي لا غنى عنها في عملية الطباعة الضوئية هي إزالة المادة المقاومة للضوء من الرقاقة. بعد الانتهاء من عملية تكرار النمط ونقله، يجب إزالة المادة المقاومة للضوء المتبقية على سطح الرقاقة بالكامل.
إزالة البلازما من المقاومة الضوئية بواسطة ICP
تعتمد آلة إزالة المقاومة الضوئية البلازمية ICP على تصميم مصدر بلازما عالي الكثافة ومنخفض الضرر ومجهزة بتقنية ICP عن بعد الناضجة لتحقيق مستوى عالٍ من معدل إزالة المقاومة الضوئية وقمع الضرر ؛ اعتماد تصميم هيكل غرفة مستقلة لتحقيق توزيع موحد لحقل التدفق وتوحيد ممتاز في إزالة المقاومة الضوئية.
مزايا المنتج:
● متوافق مع رقائق دائرية رئيسية مقاس 4-8 بوصة
● يمكن معالجة اثنين من الرقائق في وقت واحد، مع الحفاظ على درجة حرارة منخفضة أثناء المعالجة
● درجة عالية من الأتمتة، وتحقيق عملية تحميل وتفريغ الرقاقة تلقائيًا بالكامل، وعملية التنظيف
● كثافة بلازما عالية، تأثير إزالة جيد للمقاومة الضوئية
شركة قوانغتشو ميندر للتكنولوجيا العالية المحدودة
جميع الحقوق محفوظة لشركة Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
لا
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
