Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

الصفحة الرئيسية
معلومات عنا
MH Equipment
حلول
المستخدمون في الخارج
فيديو
اتصل بنا
الصفحة الرئيسية> جهاز طحن الوافر
  • عملية تسطيح كيميائي ميكانيكي CMP بدقة عالية
  • عملية تسطيح كيميائي ميكانيكي CMP بدقة عالية
  • عملية تسطيح كيميائي ميكانيكي CMP بدقة عالية
  • عملية تسطيح كيميائي ميكانيكي CMP بدقة عالية
  • عملية تسطيح كيميائي ميكانيكي CMP بدقة عالية
  • عملية تسطيح كيميائي ميكانيكي CMP بدقة عالية
  • عملية تسطيح كيميائي ميكانيكي CMP بدقة عالية
  • عملية تسطيح كيميائي ميكانيكي CMP بدقة عالية

عملية تسطيح كيميائي ميكانيكي CMP بدقة عالية

وصف المنتج

دقة عالية مُعدات تسوية كيميائية ميكانيكية (CMP)

تحقق معدات CMP بدقة عالية إزالة كفاءة للمواد الزائدة على أسطح الوافر وتسوية عالمية على مستوى النانومتر من خلال التأثير التآزجي للفساد الكيميائي والطحن الميكانيكي.
جهاز تلميع كيميائي متعدد الأغراض، مصمم خصيصًا لتطبيقات CMP والتلميع التليفي التي تتطلب دقة هندسية صارمة وجودة سطحية، يمكنه تحقيق مستوى Ra دون النانومتر.
يمكن لهذا الجهاز أن يقوم بعملية تلميع دقيقة على مستوى النانومتر للأجزاء الفردية، بالإضافة إلى تلميع الألواح الرقيقة بقطر يصل إلى 8 بوصات. علاوة على ذلك، يمكن استخدامه أيضًا في تطبيقات التلميع غير التقليدية مثل تلميع المواد الصلبة، إعداد سطح Epi، وتحسين إعادة تدوير الشرائح.
من أجل ملاءمة أجهزة سلسلة CDP لأنواع مختلفة من المواد والمتطلبات العملية، يقوم الفنيون بتخصيص تصميم قوالب التلميع بناءً على المتطلبات التقنية للمستخدمين لكي تلبي بدقة متطلبات عملية CMP. يظهر الصورة على اليسار نطاق شريحة واحدة قطرها 8 بوصات.
من أجل ضمان قياس دقيق وتحكم بالأشرطة أو الأجهزة الملمعة على أجهزة CDP، قمنا بتطوير نظام EPD، حيث يمكن تشغيل برنامج الرسوميات الخاص بمسح CDP المصمم حسب الطلب على أجهزة الكمبيوتر المحمولة. يراقب هذا البرنامج ويصور عملية التلميع بشكل رسومي، ويتوقف تلقائيًا بمجرد الوصول إلى النقطة النهائية.
منع التلميع المفرط. يمكن أن يخدم مسح CDP أيضًا كميزة أمان. إذا تم اكتشاف أي تغييرات في المعلمات的过程 المراقبة، سيقوم مسح CDP بإصدار تنبيه صوتي لمساعدة منع التلميع المفرط. تشمل الأمثلة في هذا الصدد تغيير سرعة الناقل عن قيمتها المحددة مسبقًا. سيلاحظ نظام EPD هذه الحالة حيث ستتغير مستويات الاحتكاك بين الوسادة والمادة المصقولة بسبب أي تغييرات في سرعة الناقل، مما قد يعرض عملية تسوية الشريحة بنجاح للخطر. في هذه المرحلة، سيقوم نظام EPD بإصدار تنبيه صوتي قبل إزالة الجهاز من سطح الوسادة، أو يمكن ضبطه على الإغلاق التلقائي.
يمكن استخدام نظام ACP بشكل أفضل في مجموعة واسعة من التطبيقات، ويظهر الرسم البياني نتائج اختبار عملية CMP لأكسيد السيليكون، والنحاس، ونيترайд السيليكون، والألومنيوم النحاسي، والسيليكون الجرمانيوم، والتنغستن.
يظهر الرسم البياني أن بعد عملية CMP، يمكن أن يصل WTWNU إلى 2.82%.
تطبيق
تسوية شريحة السيليكون
تسوية مركب II-V
تسطيح الأكسيد
تسطيح طبقة مادة تحتية للأشعة تحت الحمراء
تسطيح الطبقة الأساسية من الياقوت، ونترات الجاليوم، وكربيد السيليكون، وتسطيح الطبقة الأساسية لـ EPI
تقليل سماكة أقراص SOS وSOI إلى أقل من 20 ميكرون
تطبيقات الهندسة العكسية التراتبية أو FA
المواصفات
تزويد الطاقة
220فولت 10أمبير
حجم الوافر
4"/100مم
6"/150مم
8"/200مم
12"/300مم
قطر القرص العامل
520mm، 780mm
سرعة قرص العمل
0-120دورة في الدقيقة
سرعة الحامل
0-120دورة في الدقيقة
تردد اهتزاز الحامل
0-30spm
ضغط خلف وافر
0-150psi
الضغط عند نقطة مركز الوافر
0-50psi
الوقت المحدد
0-10 ساعة
قناة التغذية
≥2
سرعة التغذية
0-150 مل/دقيقة
التغليف والشحن
نبذة عن الشركة
ميندر-هايتكن هي ممثلة للمبيعات والخدمة في معدات صناعة أشباه الموصلات والمنتجات الإلكترونية. منذ عام 2014، تلتزم الشركة بتقديم حلول شاملة ومتفوقة وموثوقة لمعدات الآلات.
أسئلة شائعة
1. حول السعر:
جميع أسعارنا تنافسية قابلة للتفاوض. يختلف السعر بناءً على التكوين وتعقيد التخصيص الخاص بجهازك.

2. حول العينة:
يمكننا تقديم خدمات إنتاج العينات لك، لكنك قد تقدم بعض الرسوم.

3. حول الدفع:
بعد التأكد من الخطة، تحتاج إلى دفعنا مقدم أولاً، وسيبدأ المصنع في إعداد البضائع. بعد أن يكون الجهاز جاهزًا وتدفع الرصيد، سنقوم بشحنه.
المعدات جاهزة وتدفع الرصيد، سنقوم بشحنها.

4. حول التسليم:
بعد اكتمال تصنيع المعدات، سنسجل لك فيديو الفحص، ويمكنك أيضًا القدوم إلى الموقع لفحص المعدات.

5. التركيب والضبط:
بعد وصول المعدات إلى مصنعك، يمكننا إرسال المهندسين لتركيب وضبط المعدات. سنقدم لك عرض أسعار منفصل لهذه خدمة الرسوم.

6. حول الضمان:
تتمتع معداتنا بفترة ضمان تبلغ 12 شهرًا. بعد انتهاء فترة الضمان، إذا تلف أي قطعة وأحتاج إلى استبدالها، سنقوم فقط بتحصيل تكلفة القطعة.

استفسار

استفسار Email واتساب Top
×

تواصل معنا