MDLB-MC200 جهاز تنظيف الأقنعة الضوئية

لا.

مشروع

التفاصيل الفنية

ملاحظات

1

نظرة عامة على المعدات

اسم الجهاز: جهاز تنظيف الأقنعة الضوئية

نوع المعدات: MDLB-MC200

الأبعاد الكلية (تقريباً): 1300 مم (العرض) * 1000 مم (العمق) * 1950 مم (الارتفاع)

وزن الجهاز الكلي (تقريباً): 300 كجم

ارتفاع طاولة التشغيل: 900 ± 50 مم

مواصفات حجم الوسائط: مناسبة لأحجام الأقنعة المربعة بقياسات 2/4/5/6/8 إنش

عملية التدفق: وضع الويفر يدويًا → التنظيف (بالفرشاة، محلول تنظيف → ماء تحت ضغط عالي → ماء بالموجات فوق الصوتية → ماء خالي من الأيونات → تجفيف بالغاز النيتروجين) → إزالة الويفر يدويًا

نوع المعدات: شبه أوتوماتيكي، تحميل وتفريغ يدوي

2

بناء المعدات

الجهاز الخارجي: فولاذ مقاوم للصدأ، ناعم، مقاوم للتآكل، سهل التنظيف

غرفة التنظيف: PP، ناعمة، مقاومة للتآكل، سهلة التنظيف

الخط الأنبوبي: يتم استخدام خط أنابيب من PU/PFA

إضاءة العمل: إضاءة بلون أصفر مضاد للتآكل

نمط فتح الباب: باب مزدوج مع وظيفة تنبيه عند فتح الباب

شاشة اللمس: شاشة لمس ملونة قياس 10 بوصات * 1

FFU: درجة 100

قاعدة دعم ضد التسرب: متاحة

3

محرك سيرفو عالي الدقة

الكمية: 1

السرعة: -3000~3000 دورة في الدقيقة

حمل خالي

أقصى تسارع لدوران المغزل: 3000دورة في الثانية

حمل خالي

دقة السرعة: ± 1دورة في الدقيقة (50دورة في الدقيقة~3000دورة في الدقيقة)

دقة السرعة: 1دورة في الدقيقة

4

ذراع تذبذب تلقائي

الكمية: 3

سرعة ذراع التذبذب: 1~30 درجة/ثانية

5

وحدة التنظيف

تنظيف ذراع التذبذب: قناة واحدة من الماء غير الأيوني، قناة واحدة من غاز النيتروجين

ذراع ميجاسونيك: ميجاسونيك واحد، ماء تحت ضغط عالٍ واحد

ذراع الفرشاة: فرشاة واحدة، ماء واحد، محلول تنظيف واحد

طريقة التنظيف: التنظيف التلقائي

وظيفة شفط الماء المقطر: متاحة

الغسل العكسي (الماء المقطر): طريق واحد

طريقة التزويد: محلول التنظيف: مضخة غشاء

الماء المقطر: يتزود مباشرة من المصنع

خزان الضغط مع اكتشاف مستوى السائل

6

فرشاة الفرشاة

الكمية: 1 (مع وظيفة التنظيف الذاتي)

السرعة: حتى 1000 دورة في الدقيقة، سرعة قابلة للتعديل

الارتفاع قابل للتعديل يدويًا

7

صينية الحمل

الكمية: 5

المادة: PPS+الفولاذ المقاوم للصدأ

الحجم: مناسب لألواح الأقنعة المربعة بقياسات 2/4/5/6/8 بوصة

طريقة تثبيت المادة: طريقة التثبيت بالمخالب

8

نظام التحكم

نظام التحكم: يستخدم نظام تحكم PLC

البرنامج: 100 مجموعة، كل مجموعة تتكون من 100 خطوة، مع وقت أقصى للخطوة الواحدة هو 3000.0 ثانية

الدقة: 0.1S

يمكن حفظ البرنامج، استدعاؤه، تعديله، وحذفه

إعداد أذونات التشفير: للأطراف المشغلة للجهاز، الفنيين، المسؤولين، والصانعين على التوالي

نوع برج الإشارة: 3 ألوان (أحمر، أصفر، أخضر)