شركة قوانغتشو ميندر للتكنولوجيا العالية المحدودة

الرئيسية
من نحن
معدات ام اتش
الحلول
المستخدمين في الخارج
فيديو
اتصل بنا
الصفحة الرئيسية> قناع أليجنر
  • ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
  • ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
  • ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
  • ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
  • ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
  • ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
  • ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
  • ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
  • ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
  • ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
  • ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
  • ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية

ماكينة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية

وصف المنتجات
آلة الطباعة الحجرية للقناع
يستخدم Mask Aligner بشكل أساسي في تطوير وإنتاج الدوائر المتكاملة الصغيرة والمتوسطة الحجم ومكونات أشباه الموصلات والأجهزة الإلكترونية الضوئية وأجهزة الموجات الصوتية السطحية ودوائر الأغشية الرقيقة وأجهزة الطاقة الإلكترونية
محاذاة القناع المعروف أيضًا باسم: آلة تعريض محاذاة القناع، ونظام التعريض، ونظام الطباعة الحجرية، وما إلى ذلك، هي المعدات الأساسية لتصنيع الرقائق. إنها تستخدم تقنية مشابهة لطباعة الصور الفوتوغرافية لطباعة الأنماط الدقيقة الموجودة على القناع على رقاقة السيليكون عن طريق التعرض للضوء
تتكون بشكل أساسي من: منضدة محاذاة عالية الدقة، مجهر عمودي منفصل لمجال الرؤية، مجهر أفقي منفصل لمجال الرؤية، كاميرا رقمية، نظام ذاكرة تصوير الكمبيوتر، رأس التعرض لمصدر الضوء متعدد النقاط (عين الذبابة)، نظام التحكم PLC، نظام هوائي، نظام فراغ، مضخة فراغ متصلة مباشرة، منضدة عمل ثانوية مضادة للاهتزاز وصندوق الملحقات
تصنيع آلة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
مصنع المحاذاة / آلة المحاذاة للطباعة الحجرية الضوئية
مميز
1. رأس تعريض عالي التوحيد / آلية تسوية تعويم الهواء / تعرض موثوق لقط الفراغ. دقة عالية.
2. تحافظ طريقة المحاذاة بواسطة القناع على تغذية مستقرة وركيزة، مما يضمن اتساق جاذبية الدليل والقوة.
3. استخدام دليل مستقيم بدون فجوة، دقة عالية، سرعة عالية.
4. جميع النماذج مناسبة للعمل مع جميع مقاومات الضوء القياسية. مثل AZ، شيبلي، SU 8.
5. جميع النماذج يجب أن تكون جودة النمط التي ينقلها النظام إلى تطبيقات قناع الركيزة 5 هي نفس جودة النمط بعد تطبيق القناع الأول.
6. وقت التعرض قابل للتعديل بين ثانية واحدة وساعة واحدة. دقة المحاذاة 1 ميكرومتر
محاذاة / مورد الطباعة الحجرية الضوئية لآلة المحاذاة
تفاصيل الطباعة الحجرية الضوئية لآلة المحاذاة/المحاذاة
تفاصيل الطباعة الحجرية الضوئية لآلة المحاذاة/المحاذاة
مصنع المحاذاة / آلة المحاذاة للطباعة الحجرية الضوئية
تصنيع آلة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
تفاصيل الطباعة الحجرية الضوئية لآلة المحاذاة/المحاذاة
مصنع المحاذاة / آلة المحاذاة للطباعة الحجرية الضوئية
مصنع المحاذاة / آلة المحاذاة للطباعة الحجرية الضوئية
تصنيع آلة المحاذاة/الليثوغرافيا الضوئية
تفاصيل الطباعة الحجرية الضوئية لآلة المحاذاة/المحاذاة
المواصفات الخاصه
الموديل
مد-G25A
مد-G25D
مد-G31

مد-G33



نوع التعرض
جانب واحد

محاذاة الجانب المزدوج والتعرض الجانبي المزدوج



وضع التعرض
الاتصال الثابت والناعم والقرب من عدم الاتصال




تعرض كمية الرأس
1 رأس التعرض

2 رأس التعرض



نوع من مصدر الضوء
مصباح الزئبق الكروي GCQ350



رأس التعرض للأشعة فوق البنفسجية LED

طريقة التبريد
تبريد الهواء




منطقة التعرض
Φ100mm
110 × 110mm
Φ100mm

150mm × 150mm



وضع التعرض
متوافق مع الاتصال الثابت والناعم




تفاوت التعرض
Φ100mm<±3%<>
≤ ± 3٪




دقة التعرض
2μm
شنومك μm




شدة الشعاع (365 نانومتر)
≥6 ميجاوات/سم²
≥40 ميجاوات/سم2
≥5 ميجاوات/سم2

0 ~ 30 ميجاوات/سم2



عدم تجانس الشعاع
≤ ± 4٪
≤ ± 3٪




الأشعة فوق البنفسجية أقصى زاوية الانحراف
4 °
3 °




نطاق الإضاءة
ΦΦ117mm
Φ117mm
ΦΦ117mm

الأمامي والخلفي ≥ Φ115mm



وضع تعويض خطأ الوتد
التعويض التلقائي نصف الكروي

القضاء التلقائي

3 نقاط التعويض التلقائي


انتقال المحورين X و Y
± 4mm
± 5mm
± 4mm

± شنومك مم



سفر θ
± 3 °
≤5 °
≤ ± 5º

≤0.5 °



XYZ قرار النزوح الركيزة
0.5μm
0.3μm
0.3μm

0.01μm



نظام المجهر
اثنين من المجاهر برميل واحد / اثنين من الكاميرات CCD




عرض حجم
15 بوصة




دقة نظام التصوير
2μm
1.5μm
1.5μm

1.5μm



القناع ومسافة قياس الركيزة
شنومك μm
شنومك μm




البعد القطري للسطح المستهدف CCD
1/3، (6 مم)



40 مم ~ 110 مم

تحديد حجم الجدول
≥ مربع 5*5 بوصة (مواصفات قابلة للتخصيص)




حجم الركائز
Φ 100 مم أو 100*100 مم مربع
60 * 49.5 مم مربع
2 "-4"

1"×1"-5"×5"



سمك الركيزة
1-3mm
≤5 مم
1-3mm

≤5 مم



مضخة فراغ
كتم الصوت بدون زيت (-0.07~-0.08MPα)




هواء مضغوط نظيف
≥0.4MPα




شواحن
التيار المتناوب 220 فولت ± 10% 50 هرتز 1.5 كيلو واط




درجة الغرفة النظيفة
C




درجة حرارة الغرفة النظيفة
25 ℃ ± 2 ℃




الرطوبة النسبية للغرفة النظيفة
≤60٪




سعة الاهتزاز للغرفة النظيفة
≤4 ميكرومتر




حجم المعدات
1300 × 720 × 1600 مم


1500 × 800 × 1600 مم


وزن المعدات
200kg


280kg


يحتاج تصنيع نظام المحاذاة عالي الدقة إلى عملية ميكانيكية دقيقة تقريبًا. مشكلة فنية أخرى لنظام المحاذاة هي مجهر المحاذاة. من أجل تعزيز مجال رؤية المجهر، تستخدم العديد من آلات الطباعة الحجرية المتطورة إضاءة LED. هناك مجموعتان من نظام المحاذاة مع وظيفة التركيز. وتتكون بشكل أساسي من عينين ومجالي رؤية يستهدفان الجسم الرئيسي للمجهر، وزوج واحد من العدسة العينية وزوج واحد من العدسات الشيئية (عادةً ما توفر آلة الطباعة الحجرية عدسة عينية وعدسة شيئية بتكبير مختلف للمستخدمين). تتمثل وظيفة نظام محاذاة CCD في تكبير علامات محاذاة القناع والعينة وتصويرها على الشاشة.
مصنع المحاذاة / آلة المحاذاة للطباعة الحجرية الضوئية
مصنع المحاذاة / آلة المحاذاة للطباعة الحجرية الضوئية
تعد مرحلة قطعة العمل جزءًا أساسيًا من آلة الطباعة الحجرية، والتي تتكون من مرحلة الحركة الشاملة لعينة القناع (XY)، ومرحلة الحركة النسبية لعينة القناع (XY)، ومرحلة الدوران، وآلية تسوية العينة، وآلية تركيز العينة ومرحلة الرقاقة ومشبك القناع ومرحلة القناع القابل للسحب. تشتمل آلية تسوية العينة على مقعد كروي ونصف كروي. في عملية التسوية، أولاً، يتم تطبيق ضغط الهواء على مقعد الكرة ونصف الكرة، ثم يتحرك مقعد الكرة ونصف الكرة وقطعة العينة لأعلى من خلال عجلة يد التركيز، بحيث يمكن تسوية قطعة العينة على القناع، وبعد ذلك يعمل صمام الملف اللولبي ذو الوضعين ثلاثي الاتجاه على تحويل المقعد الكروي ونصف الكرة إلى الفراغ من أجل القفل للحفاظ على حالة التسوية.
تفاصيل الطباعة الحجرية الضوئية لآلة المحاذاة/المحاذاة
محاذاة / مورد الطباعة الحجرية الضوئية لآلة المحاذاة
مصنع المحاذاة / آلة المحاذاة للطباعة الحجرية الضوئية
تفاصيل الطباعة الحجرية الضوئية لآلة المحاذاة/المحاذاة
مصنع المحاذاة / آلة المحاذاة للطباعة الحجرية الضوئية



تقدم لك شركة Minder-Hightech تقنية متقدمة للطباعة الحجرية الضوئية من خلال ماكينة المحاذاة/المحاذاة.

 

هل تعاني من عدم الدقة الكافية أثناء طباعة الدوائر على منتجاتك الإلكترونية؟ مع آلة المحاذاة/المحاذاة الخاصة بـ Minder-Hightech، يمكنك أن تطمئن إلى أنك ستحقق دقة عالية المستوى في إنتاج دوائرك المطبوعة.

 

باستخدام هذا العنصر الثوري، يمكنك نقل صورة عالية الدقة بسهولة إلى منتج باستخدام الطباعة الحجرية الضوئية. تضمن هذه الآلة الدقة من خلال نظام تشغيلي لمحاذاة المادة مع الصورة.

 

بعد طباعة الصور وتحميلها، تقوم الآلة بحساب مقدار التعريض المطلوب وكيفية محاذاة المادة مع ذكر الصور. ويتم هذا الحساب باستخدام أحدث برامج الكمبيوتر التي يمكن تحديثها لمواكبة التطور التكنولوجي في صناعة الإنتاج.

 

سيسمح لك بصنع مجموعة واسعة، بما في ذلك الدوائر الدقيقة ودوائر الترددات الراديوية (RF) والدوائر المدمجة. يمكن للوحدة إنتاج أفضل عمق للحفر، وعرض المسار، ومحاذاة طبقة إلى طبقة من خلال إضافة إجراءات تكميلية متنوعة، مثل النقش الكيميائي والطلاء الكهربائي.

 

تكمن ميزة منتجنا في قدرته على إنتاج محاذاة عالية، مما يضمن وضع الأنماط بدقة كبيرة على المادة. يمكنك بسهولة طباعة العديد من التصميمات المعقدة دون أي تشوهات.

 

إنه سهل الاستخدام، وصغير الحجم، وفعال، مما يجعله مناسبًا لمختلف مرافق التصنيع أو حجم الشركة. بالإضافة إلى ذلك، يأتي جهازنا مزودًا بصيانة يدوية وتدريب في الموقع مع فريق الدعم الفني لدينا.

 

تستخدم آلة المحاذاة/المحاذاة من Minder-Hightech تقنية الطباعة الحجرية الضوئية لمساعدتك على تحقيق أفضل النتائج أثناء طباعة دوائرك. استمتع بتجربة مستوى جديد من التكنولوجيا توفر لك دقة ودقة عالية لا يمكن مضاهاتها بطرق الطباعة التقليدية. إن ماكينة المحاذاة/المحاذاة من Minder-Hightech هي ما تحتاج إليه شركة التصنيع الخاصة بك لتظل في صدارة المنافسة. تواصل معنا اليوم لتستمتع بمزايا أفضل تكنولوجيا لآلات المحاذاة/المحاذاة في السوق.


استفسر

استفسر البريد الإلكتروني الواتساب وي شات
★★★★
×

الاتصال بالشركة