جهاز التحديد / محاذاة آلة التصوير الضوئي , China جهاز التحديد / محاذاة آلة التصوير الضوئي Manufacturers, Suppliers, Factory

وصف المنتجات

جهاز تصوير ضوئي لمطابقة الأقنعة

يُستخدم جهاز مطابقة الأقنعة بشكل أساسي في تطوير وإنتاج الدوائر المتكاملة الصغيرة والمتوسطة الحجم، والمكونات شبه الموصلة، والأجهزة البصرية الإلكترونية، وأجهزة موجات السطح، والدوائر الرقيقة، والأجهزة الإلكترونية القوية
جهاز تطابق الأقنعة يُعرف أيضًا باسم: جهاز تعريض محاذاة القناع، نظام التعريض، نظام الليثوغرافيا، وما إلى ذلك، وهو المعدات الأساسية لتصنيع الرقائق. يستخدم تقنية مشابهة لطباعة الصور للطباعة على الرقائق السيليكونية باستخدام الضوء.
يتكون بشكل أساسي من: منضدة عمل عالية الدقة، مجهر عمودي ثنائي العدسة مع مجال رؤية منفصل، مجهر أفقي ثنائي العدسة مع مجال رؤية منفصل، كاميرا رقمية، نظام ذاكرة تصوير الكمبيوتر، رأس تعريض متعدد النقاط (عين طائرة)، نظام تحكم PLC، نظام هواء مضغوط، نظام شفط، مضخة شفط مباشرة، منضدة عمل مقاومة للاهتزاز وصندوق الملحقات.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

الخصائص

1. رأس تعريض عين طائرة بتجانس عالٍ / آلية تسوية عائمة بالهواء / عملية تعريض شفط فراغي موثوقة. دقة عالية.
2. طريقة التحديد باستخدام قناع ثابت وتقديم المادة الخام، مما يضمن اتساق قوة الجاذبية والإرشاد.
3. استخدام مرشدين مستقيمين بدون فجوات، بدقة عالية وسرعة كبيرة.
4. جميع النماذج مناسبة للعمل مع جميع معايير الفوتوريسيست القياسية. مثل AZ، Shipley، SU 8.
5. جميع النماذج جودة النمط الذي يتم نقله بواسطة النظام إلى القاعدة بعد تطبيق 5 أقنعة يجب أن تكون نفس جودة النمط بعد تطبيق القناع الأول.
6. يمكن ضبط وقت التعرض بين ثانية واحدة وساعة واحدة. دقة التحديد 1 ميكرون

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

المواصفات

النوع	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
نوع التعرض	جانب واحد			محاذاة جانبين وتعريض جانبين
وضع التعرض	اتصال صلب، ناعم وغير متصل بالقرب
كمية رأس التعرض	رأس تعرض واحد			رأسين للتعرض
نوع مصدر الضوء	مصباح زئبقي كروي GCQ350						رأس تعرض LEDaviolet
طريقة التبريد	تبريد الهواء
منطقة التعرض	Φ100مم	110×110mm	Φ100مم		150mm×150mm
وضع التعرض	متوافق مع الأسطح الصلبة والناعمة
عدم انتظام التعرض	Φ100mm<±3%<>	≤±3%
دقة التعرض	2μm	1 μm
شدة الشعاع (365 نانومتر)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
عدم التجانس في الشعاع	≤±4%	≤±3%
زاوية الانحراف القصوى لضوء الأشعة فوق البنفسجية	4°	3°
مدى الإضاءة	≤Φ117مم	Φ117مم	≤Φ117مم		الأمام والخلف ≥ Φ115مم
نمط تعويض خطأ المثلث	تعويض تلقائي نصف كروي			الإلغاء التلقائي		تعويض تلقائي بنقطتين
الحركة على محاور X و Y	±4mm	±5 مم	±4mm		±5 mm
الحركة لـ θ	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
دقة تحريك الطبق XYZ	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
نظام المجهر	ميكروسكوبين منفردَين / كاميرتي CCD اثنتان
حجم العرض	15 بوصة
دقة نظام التصوير	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
مسافة قياس القناع واللوحة	0.5 µm	0.3 µm
بعد قطر سطح هدف CCD	1/3، (6 مم)						40 مم ～ 110 مم
حجم طاولة الإعداد	≤ مربع 5 * 5 بوصة (مواصفات قابلة للتخصيص)
حجم المواد الأساسية	Φ 100 مم أو مربع 100 * 100 مم	مربع 60 * 49.5 مم	2"-4"		1"x1"-5"x5"
سمك المادة الأساسية	1-3ملم	≤5 مم	1-3ملم		≤5 مم
مضخة فراغ	خالي من الزيت صامت (-0.07～-0.08 مبا)
هواء منضغط نظيف	≥0.4 مبا
تزويد الطاقة	تيار تناوب 220 فولت ±10% 50 هرتز 1.5 كيلوواط
درجة غرفة نظيفة	الفئة 100
درجة حرارة الغرفة النظيفة	25℃±2℃
رطوبة نسبية لغرفة نظيفة	≤60%
عزم الاهتزاز لغرفة النظافة	≤4μm
حجم المعدات	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
وزن المعدات	200 كجم				280 كجم

تحتاج أنظمة التحديد الدقيقة في التصنيع إلى عملية ميكانيكية تقريبًا دقيقة تمامًا. أما المشكلة التقنية الأخرى لأنظمة التحديد فهي المجهر المخصص للتحديد. من أجل تحسين مجال الرؤية للمجهر، تستخدم العديد من أجهزة الحفر الضوئي عالية الجودة الإضاءة بـ LED. تحتوي أنظمة التحديد على وظيفة التركيز، وهي تتكون بشكل أساسي من عينين ومجالين للرؤية يستهدفان جسم المجهر، مع زوج من العدسات العينية وزوج من العدسات الموضوعة (عادةً ما توفر أجهزة الحفر الضوئي عدسات عينية ومعاينات ذات تكبير مختلف للمستخدمين). وظيفة نظام تحديد CCD هي تضخيم علامات التحديد الخاصة بالقناع والعينة وإظهارها على الشاشة.

مرحل العمل هي جزء رئيسي من آلة الليتوغرافيا، والتي تتكون من مرحلة حركة العينة الكلية (XY)، مرحلة الحركة النسبية للقناع والعينة (XY)، مرحلة الدوران، آلية تسوية العينة، آلية التركيز على العينة، مرحلة البلاطة، ماسك القناع ومرحلة سحب القناع. تتضمن آلية تسوية العينة مقعد كرة وكروي. أثناء عملية التسوية، يتم أولاً تطبيق الهواء المضغوط على مقعد الكرة والكروي، ثم يتحرك مقعد الكرة، الكروي وقطعة العينة لأعلى عبر عجلة التركيز، بحيث يمكن تسوية قطعة العينة ضد القناع، وبعد ذلك يقوم صمام السولينويد ذو الثلاث طرق والموقعين بتبديل مقعد الكرة والكروي إلى شفط لقفل الحالة المتساوية.

Minder-Hightech تقدم لك تقنية متقدمة للليتوغرافيا الضوئية من خلال آلة التناظر / آلة التنظيم.

هل تواجه صعوبة في الحصول على دقة كافية أثناء طباعة الدوائر على منتجاتك الإلكترونية؟ مع جهاز التحديد / محاذاة Minder-Hightech، يمكنك الاطمئنان إلى أنك ست Achieve مستوى عالٍ من الدقة في إنتاج الدوائر المطبوعة.

مع هذا المنتج الثوري، يمكنك نقل صورة بدقة عالية بسلاسة إلى منتج باستخدام التقنية الفوتوغرافية. يضمن هذا الجهاز الدقة من خلال نظام تشغيلي يقوم بمحاذاة المادة مع الصورة.

بعد طباعة وتحميل الصور، يقوم الجهاز بحساب كمية التعرض المطلوبة وكيفية محاذاة المادة مع ذكر الصور. يتم هذا الحساب باستخدام أحدث برامج الكمبيوتر التي يمكن تحديثها لتلبية التطور التكنولوجي في صناعة الإنتاج.

سيسمح لك بصنع نطاق واسع من المنتجات، بما في ذلك الدوائر المتكاملة الصغيرة، والدوائر الراديوية (RF)، والدوائر المدمجة. يمكن للوحدة أن تنتج أعماق حفر مثالية، وعرض المسار، وتناسق طبقة بطبقة من خلال إضافة مجموعة متنوعة من الإجراءات التكميلية مثل الحفر الكيميائي والتغطيس الكهربائي.

تتمثل ميزة منتجنا في قدرته على إنتاج تناسق عالٍ، مما يضمن وضع الأنماط بدقة كبيرة على المادة. يمكنك طباعة العديد من التصاميم المعقدة بسهولة دون أي تشوهات.

يتميز بسهولة الاستخدام، وحجمه الصغير، وكفاءته العالية، مما يجعله مناسبًا لعدد من المرافق الإنتاجية أو أحجام الشركات. بالإضافة إلى ذلك، يأتي جهازنا مع دليل صيانة يدوي وتدريب ميداني من فريق دعم تقني متخصص.

تستخدم آلة توجيه／محاذاة Minder-Hightech التكنولوجيا الضوئية لت助اعدك في تحقيق أفضل النتائج أثناء طباعة الدوائر الكهربائية. استمتع بمستوى جديد من التكنولوجيا التي تقدم لك دقة ودقة عالية لا يمكن للمethodات التقليدية للطباعة مatchاها. آلة التوجيه／محاذاة Minder-Hightech هي ما تحتاجه شركتك الصناعية للبقاء خطوة أمام المنافسة. تواصل معنا اليوم للاستفادة من مزايا أفضل تقنية آلة توجيه／محاذاة في السوق.