طلب DESCUM إزالة الفوتوغرافي آلة إزالة الفوتوغرافي الجاف بالبلازما ICP , China طلب DESCUM إزالة الفوتوغرافي آلة إزالة الفوتوغرافي الجاف بالبلازما ICP Manufacturers, Suppliers, Factory

وصف المنتج

آلة إزالة الفوتوريسست البلازما الجافة ICP

تُستخدم آلة إزالة الفوتوريسست البلازما الجافة ICP بشكل أساسي لإزالة البوليمرات، ASHING، DESCUM، إزالة الفوتوريسست بعد زرع الأيونات، وإزالة الرواسب السطحية. الكف مناسب لعينات بحجم 4-8 بوصة، مع معالجة 1-2 قطعة في عملية واحدة.

الغسل
إزالة البوليمر
إزالة جافة لطبقة القناع الصلب
إزالة الفوتوريسيست بعد زرع الأيونات
إزالة المقاومة الضوئية في عملية BAW/SAW
تنظيف جاف لطبقة الفيلم الرسومي المضاد للانعكاس
إزالة الرواسب السطحية
تنظيف السطح بعد التآكل
إزالة الشوائب (DESCUM)

ASKING DESCUM photoresist removal ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine details

ASKING DESCUM photoresist removal ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine factory

المواصفات

البلازما			RF	RF
طاقة	ICP	1000 واط	1000 واط
طاقة		BIAS	600w(option)	600w(option)
نطاق التطبيق			4~8 إنش	4~8 إنش
عدد الشرائح المعالجة بشكل فردي			1	2
الأبعاد الخارجية			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
تحكم النظام			نظام التحكم الصناعي	نظام التحكم الصناعي
مستوى الأتمتة			تلقائي	تلقائي