Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

الصفحة الرئيسية
معلومات عنا
MH Equipment
حلول
المستخدمون في الخارج
فيديو
اتصل بنا
الصفحة الرئيسية> MH Equipment> جهاز الطحن والتصقيل
  • تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي
  • تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي
  • تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي
  • تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي
  • تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي
  • تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي
  • تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي
  • تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي
  • تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي
  • تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي
  • تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي
  • تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي

تنظيف ما بعد CMP الأوتوماتيكي

وصف المنتج

معدات التنظيف بعد الكيميائي الميكانيكي لشريحة السيليكون

تنظيف بعد CMP

مميزات الماكينة

قدرة معالجة قوية
فرش ذو حجرتين، بتوافق عملي واسع النطاق
تحتل المعدات مساحة صغيرة، بأبعاد 2200 * 800 * 2200 (مم)

مجالات التطبيق

فرش بعد CMP بقطر 6-8 بوصات
التنظيف بعد الطحن SIC أو غيرها من المواد

المعلمات الفنية

التنظيف بعدCMP بحجم 4 بوصات و6 بوصات
تصميم غرفة مزدوجة، تشغيل مستقل لكل غرفة رطبة أثناء الدخول وجافة أثناء الخروج أو جافة أثناء الدخول وجافة أثناء الخروج
تجفيف سريع بدوران عالي SRD

وحدة LoadPort، وحدة التحميل

LoadPort هي وحدة التحميل لهذه الجهاز
إمداد الأقراص الرطبة
تحتوي على وظيفة رش ترطيب

وحدة الفرشاة، وحدة تنظيف الوافر

وحدة غرفة مزدوجة، قادرة على دعم حلين تنظيف مختلفين
يمكن تعديل وضعية الفرشاة وفقًا للوصفة - ناقل حزامي

وحدة SRD، وحدة تجفيف الوافر

نوع قبضة الوافر لتجفيف الدوران، بسرعة قصوى تصل إلى 4000 دورة في الدقيقة
يمكنه تنفيذ تنظيف AS على سطح الوافر ورش الماء DIW

وحدة التفريغ، وحدة القطع

تحتوي وحدة التفريغ على FFU مستقلة لضمان نقاء إخراج الوافر

ناقل

منطقة الرطوبة هي الناقل الحزامي
منطقة الجفاف لملاحة الروبوت

وصف وحدة الفرشاة

كما هو موضح في الشكل الموجود على اليسار، تتكون وحدة الفرشاة لهذه الجهاز من وحدتين للفرشاة، وهما BU1 وBU2.
يمكن ضبط ضغط الفرشاة لكل وحدة بشكل منفصل (كما هو محدد في الوصفة)، ويمكن غسل كل وحدة من فرشاة الشفرة باستخدام محلول تنظيف كيميائي مختلف بشكل منفصل.
تستخدم آلة الفرشاة فرشاة PVA، وهي النوع الأكثر استخدامًا في السوق.
النقل بين التجاويف يتم بواسطة ناقل حزامي. يوجد داخل التجويف غسيل DIW RINSE.

وحدة SRD

تم تجهيز وحدة SRD بـ CHUCK للشدة وذراع AS، والتي يمكنها تنظيف سطح الويفر بشكل فيزيائي إضافي وتجفيفه بالدوران.
المواصفات
حجم المعدات:
2200 * 800 * 2200 (مم)
طرق التحميل والتفريغ
تجفيف عند الدخول/رطب عند الدخول/جاف عند الخروج
عدد وحدات التنظيف بالفرشاة
2
عدد وحدات SRD
1
طريقة النقل
نقل بالحزام في المنطقة الرطبة، نقل بالروبوت في المنطقة الجافة
حجم الجهاز مع غرفة فرشاة بحجم 1 هو 1850 * 800 * 2200
التغليف والشحن
نبذة عن الشركة
أسئلة شائعة
1. حول السعر:
جميع أسعارنا تنافسية قابلة للتفاوض. يختلف السعر بناءً على التكوين وتعقيد التخصيص الخاص بجهازك.

2. حول العينة:
يمكننا تقديم خدمات إنتاج العينات لك، لكنك قد تقدم بعض الرسوم.

3. حول الدفع:
بعد التأكد من الخطة، تحتاج إلى دفعنا مقدم أولاً، وسيبدأ المصنع في إعداد البضائع. بعد أن يكون الجهاز جاهزًا وتدفع الرصيد، سنقوم بشحنه.
المعدات جاهزة وتدفع الرصيد، سنقوم بشحنها.

4. حول التسليم:
بعد اكتمال تصنيع المعدات، سنسجل لك فيديو الفحص، ويمكنك أيضًا القدوم إلى الموقع لفحص المعدات.

5. التركيب والضبط:
بعد وصول المعدات إلى مصنعك، يمكننا إرسال المهندسين لتركيب وضبط المعدات. سنقدم لك عرض أسعار منفصل لهذه خدمة الرسوم.

6. حول الضمان:

تتمتع معداتنا بفترة ضمان تبلغ 12 شهرًا. بعد انتهاء فترة الضمان، إذا تلف أي قطعة وأحتاج إلى استبدالها، سنقوم فقط بتحصيل تكلفة القطعة.

استفسار

استفسار Email واتساب Top
×

تواصل معنا