الصين التلقائي CMP Post Clean مصنعين، الموردين، المصنع

وصف المنتج

معدات التنظيف بعد التلميع الميكانيكي الكيميائي للرقاقة

CMP بوست تشيان

ميزات الجهاز

قدرة عملية قوية
تنظيف بالفرشاة ذات غرفتين، مع مجموعة واسعة من التطبيقات العملية
تشغل المعدات مساحة صغيرة، بأبعاد 2200 * 800 * 2200 (مم)

مجالات التطبيق

6-8 بوصة CMP بعد التنظيف بالفرشاة
التنظيف بعد طحن SIC أو الركائز الأخرى

المواصفات الفنية

التنظيف بعد CMP مقاس 4 بوصات و6 بوصات
تصميم غرفة مزدوجة، تشغيل غرفة مستقل، دخول وخروج رطب أو دخول وخروج رطب
مجفف الدوران عالي السرعة SRD

وحدة LoadPort، وحدة التحميل

LoadPort هي وحدة التحميل لهذا الجهاز

تغذية الكاسيت الرطب
يحتوي على وظيفة ترطيب الرش

وحدة الفرشاة، وحدة تنظيف الرقاقة

وحدة ذات غرفتين، قادرة على دعم حلول تنظيف مختلفة
يمكن تعديل موضع الفرشاة وفقًا لوصفة ناقل الحزام

وحدة SRD، وحدة تجفيف الرقاقة

تجفيف الدوران باستخدام مشبك الرقاقة، بسرعة قصوى تصل إلى 4000 دورة في الدقيقة
يمكن إجراء تنظيف AS على سطح الرقاقة ورش DIW

وحدة التفريغ، وحدة القطع

تحتوي وحدة التفريغ على وحدة FFU مستقلة لضمان نظافة مخرجات الرقاقة

الناقل

المنطقة الرطبة عبارة عن حزام ناقل

منطقة جافة لنقل الروبوت

وصف وحدة الفرشاة

كما هو موضح في الشكل الأيسر، تتكون وحدة الفرشاة لهذا الجهاز من وحدتي فرشاة، وهما BU1 وBU2.

يمكن تعديل ضغط الفرشاة لكل وحدة على حدة (كما هو محدد في الوصفة)، ويمكن غسل كل وحدة شفرة فرشاة بمحاليل تنظيف كيميائية مختلفة على حدة.

تعتمد فرشاة الجهاز على فرشاة PVA، وهو نوع شائع الاستخدام في السوق.
يتم نقل المواد بين التجاويف بواسطة حزام ناقل. يوجد شطف DIW داخل التجويف

وحدة SRD

تم تجهيز وحدة SRD بمشبك تثبيت وذراع AS، والذي يمكنه تنظيف سطح الرقاقة وتجفيفه بشكل أكبر.

المواصفات الخاصه

حجم المعدات:	2200 * 800 * 2200 (مم)
طرق التحميل والتفريغ	جفف للداخل/ رطب للداخل/ جفف للخارج
عدد وحدات التنظيف بالفرشاة	2
عدد وحدات SRD	1
طريقة النقل	نقل حزام المنطقة الرطبة، نقل الروبوتات في المنطقة الجافة
حجم المعدات مع غرفة الفرشاة 1 هو 1850 * 800 * 2200

التعبئة والشحن

نبذة عن الشركة

الأسئلة الشائعة

1. حول السعر:
جميع أسعارنا تنافسية وقابلة للتفاوض. يختلف السعر حسب تكوين جهازك وتعقيد تخصيصه.

2. حول العينة:
يمكننا أن نقدم لك خدمات إنتاج العينات، ولكن قد يتعين عليك دفع بعض الرسوم.

3. حول الدفع:
بعد تأكيد الخطة، يتعين عليك دفع وديعة لنا أولاً، وسيبدأ المصنع في تحضير البضائع. بعد
المعدات جاهزة وتدفع المبلغ المتبقي وسوف نقوم بشحنها.

4. حول التسليم:
بعد اكتمال تصنيع المعدات، سنرسل لك فيديو القبول، ويمكنك أيضًا القدوم إلى الموقع لتفقد المعدات.

5. التثبيت وتصحيح الأخطاء:
بعد وصول المعدات إلى مصنعك، يمكننا إرسال مهندسين لتثبيت المعدات وتصحيح أخطائها. وسنقدم لك عرض أسعار منفصلًا لرسوم هذه الخدمة.

6. حول الضمان:

تتمتع معداتنا بفترة ضمان مدتها 12 شهرًا. بعد انتهاء فترة الضمان، إذا تعرضت أي أجزاء للتلف وتحتاج إلى الاستبدال، فسوف نتقاضى سعر التكلفة فقط.