Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
احصل على عرض أسعار

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

الصفحة الرئيسية
معلومات عنا
MH Equipment
حلول
المستخدمون في الخارج
فيديو
اتصل بنا
الصفحة الرئيسية> جهاز طحن الوافر
  • جهاز تلميع كيميائي ميكانيكي أحادي الطاولة للوافر بشكل تلقائي (CMP)
  • جهاز تلميع كيميائي ميكانيكي أحادي الطاولة للوافر بشكل تلقائي (CMP)
  • جهاز تلميع كيميائي ميكانيكي أحادي الطاولة للوافر بشكل تلقائي (CMP)
  • جهاز تلميع كيميائي ميكانيكي أحادي الطاولة للوافر بشكل تلقائي (CMP)
  • جهاز تلميع كيميائي ميكانيكي أحادي الطاولة للوافر بشكل تلقائي (CMP)
  • جهاز تلميع كيميائي ميكانيكي أحادي الطاولة للوافر بشكل تلقائي (CMP)
  • جهاز تلميع كيميائي ميكانيكي أحادي الطاولة للوافر بشكل تلقائي (CMP)
  • جهاز تلميع كيميائي ميكانيكي أحادي الطاولة للوافر بشكل تلقائي (CMP)
  • جهاز تلميع كيميائي ميكانيكي أحادي الطاولة للوافر بشكل تلقائي (CMP)
  • جهاز تلميع كيميائي ميكانيكي أحادي الطاولة للوافر بشكل تلقائي (CMP)

جهاز تلميع كيميائي ميكانيكي أحادي الطاولة للوافر بشكل تلقائي (CMP)

احصل على عرض أسعار مجاني
وصف المنتج
ATOM Single Platen CMP

مميزات الماكينة

الجهاز مرن ويمكنه دعم رؤوس متعددة.
قدرة الجهاز العملية قريبة من مستوى النموذج الرئيسي للمنتجات ذات الحجم نفسه.
اتساق جيد بين عمليات الأجهزة.

مجالات التطبيق

4-8 بوصة تلميع STI، ILD/IMD، TSV، TGV، وتلميع السطح للمركبات مثل SiC، LT، LN، GaAs، إلخ

المعلمات الفنية

رؤوس بحجم 4 بوصات، 6 بوصات، 8 بوصات، التحكم متعدد المناطق
نوع قاعدة Φ20 بوصة 508MM
دقة التحكم في ضغط الرأس <0.05PSI
دقة التحكم في سرعة دوران الرأس والقاعدة <2RPM

وحدة LoadPort

يمكن قلب المنفذ لغمر الكاسطة في خزان Qtank، مما يتجنب تكوين بلورات Slurry على
السطح المصقول للوحة الدائرية. مزود بوظيفة Mapping الكاسطة.

وحدة استرجاع المواد الروبوتية

مزود بروبوت رباعي المحاور، يمكنه نقل الأقراص الدائرية تلقائيًا من الكاسطة إلى وحدة التلميع.

3. وحدة البوليش

هذه الوحدة مجهزة مع لوحة * 1، الرأس * 1، جهاز تحكم
1، ذراع السلوري * 1، HCLU * 1، و EPD نقطة النهاية
الكشف يمكن تحقيق تحميل و تفريغ المجموعة التلقائية، والتحكم في رأس المنطقة المتعددة،
تغيير نقطة الهبوط مع إعدادات وصفة، اكتشاف نقطة نهاية ووظائف أخرى.
رأس الملمع CMP
الرؤوس الملمع التي تم تكوينها على هذا الجهاز كلها تم تطويرها بشكل مستقل، مصممة، ومنتجة من قبل شركتنا.
من بينها، الرأس ذو الثلاثة تجاويف 4 بوصات هو منتج فريد من نوعه تم إنشاؤه من قبل شركتنا، ملء الفجوة من أي الرأس ذو الثلاثة تجاويف متعددة في الصين. شركتنا يمكن أن تغير بسرعة أو تخصيص الرأس وفقا لخصائص المنتج العميل. في تطوير منتجات TGV الألواح الرقيقة (200um) ، تم تعديل الهيكل الداخلي للرأس لتلبية متطلبات طلاء الألواح الرقيقة. خلال عملية تطوير تكنولوجيا طلاء سطح LN OX ، قامت شركتنا بتحديث رأس 6 بوصات بشكل عميق وتلبية متطلبات المنتج للعميل بنجاح.
التطبيقات
عملية تلميع تسوية IC التقليدية؛
عملية TGV/TSV؛
Smart Cut و CMP الترابط المسبق؛
تلميع قاعدة السيليكون الكربوني/تلميع الأرسينيد الگاليوم.
المواصفات
الميناء
الكمية * 1، مع خزان Q
روبوت
الكمية * 1، لنقل الشرائح
HCLU
الكمية * 1، لتحميل وتفريغ الشرائح تلقائيًا
رأس التلميع
الكمية * 13 تحكم في التجويف، دقة التحكم 0.1PSI، يمكنها دعم عمليات شرائح قطرها 400-1200 ميكرومتر.
سرعة رأس التلميع
5-150دورة في الدقيقة
قرص التلميع
الكمية * 1 حجم قرص التلميع 508 مم، سرعة وسادة التلميع 10-150دورة في الدقيقة.
ذراع التسوية
الكمية * 1 وسادة تلميع. يمكن أن يتم التلميع عبر الإنترنت (في نفس الوقت) أو خارج الخط (بعد التلميع). التسوية
يتم تجهيز ذراع التسوية بمحور تسوية، والذي يمكنه الدوران والتحرك لأعلى ولأسفل، ويمكن التحكم في السرعة والضغط الناتج. الأداة
التسوية مثبتة على محور التسوية ويمكن إزالتها بسرعة
أداة التسوية مثبتة على محور التسوية ويمكن إزالتها بسرعة
وفقًا لأنواع مختلفة من وسادات التلميع، يتم تجهيز أدوات تسوية مختلفة، بما في ذلك فرشاة التسوية، الخواتم الماسية، والأقراص الماسية.
وحدة ضغط الهواء لرأس التلميع UPA
الكمية * 13 قابلة للتعديل حسب المنطقة لتحقيق تأثير تسوية سطح أفضل
مضخة إمداد السائل اللامع
الكمية * 2. تُستخدم مضخات الحزام لنقل السوائل، مع وجود مضختين مبرمجدتين مجهزتين لتوصيل مواد مختلفة للصقل
إلى القرص اللامع. يمكن استخدام كل مضخة في أي خطوة من العملية.
ذراع الطين
الكمية * 1 يمكنها التحكم بنقطة هبوط الطين وتنظيف وسادة الصقل.
يمكن للنظام الخاضع للتحكم تشغيله بمستويات تحكم المستخدم مثل وضع المشغل، وضع الصيانة، ووضع الفني، ويتم التحكم في الأوضاع المختلفة بكلمات مرور. يمكن للبرنامج تعديل معلمات العملية لكل خطوة من العملية والتسوية و
صقل الغشاء الرقيق على سطح الشريحة حسب البرنامج. يمكنه مراقبة حالة التشغيل للمعدات ومراقبة معلمات العملية بشكل فوري، ويمكن للبرمجيات تخزين البيانات العملية تلقائيًا. مجهزة بزر إيقاف طارئ
يمكنه مراقبة حالة التشغيل للمعدات، ومراقبة معلمات العملية بشكل فوري،
والبرمجيات يمكنها تخزين مختلف البيانات العملية تلقائيًا. مجهزة بزر إيقاف طارئ
زر، يُستخدم لإيقاف تشغيل المعدات فورًا وقطع تزويد الطاقة بالتحكم.
التغليف والشحن
نبذة عن الشركة
أسئلة شائعة
1. حول السعر:
جميع أسعارنا تنافسية قابلة للتفاوض. يختلف السعر بناءً على التكوين وتعقيد التخصيص الخاص بجهازك.

2. حول العينة:
يمكننا تقديم خدمات إنتاج العينات لك، لكنك قد تقدم بعض الرسوم.

3. حول الدفع:
بعد التأكد من الخطة، تحتاج إلى دفعنا مقدم أولاً، وسيبدأ المصنع في إعداد البضائع. بعد أن يكون الجهاز جاهزًا وتدفع الرصيد، سنقوم بشحنه.
المعدات جاهزة وتدفع الرصيد، سنقوم بشحنها.

4. حول التسليم:
بعد اكتمال تصنيع المعدات، سنسجل لك فيديو الفحص، ويمكنك أيضًا القدوم إلى الموقع لفحص المعدات.

5. التركيب والضبط:
بعد وصول المعدات إلى مصنعك، يمكننا إرسال المهندسين لتركيب وضبط المعدات. سنقدم لك عرض أسعار منفصل لهذه خدمة الرسوم.

6. حول الضمان:
تتمتع معداتنا بفترة ضمان تبلغ 12 شهرًا. بعد انتهاء فترة الضمان، إذا تلف أي قطعة وأحتاج إلى استبدالها، سنقوم فقط بتحصيل تكلفة القطعة.

منتجات إضافية

استفسار

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

سياسة الخصوصية

استفسار Email واتساب Top
×

تواصل معنا