نمط الهيكل |
أفقية، نظام أنبوب واحد أو أنابيب متعددة مع تحكم تلقائي |
ملائمة لحجم الوافر |
2-8" |
طريقة تسليم واسترجاع الوافر |
قارب كوارتز Cantilever أوتوماتيكي بنظام دفع-سحب، مدمج مع أخذ وتحرير شرائح يدوي. |
أقصى درجة حرارة |
1050℃ |
درجة حرارة التشغيل |
400 ℃~850 ℃ قابل للتعديل بشكل مستمر |
استقرار درجة حرارة نقطة واحدة |
400℃~850℃≤±0.5℃/24h |
شغف نظام حدودي |
أفضل من 1Pa |
سرعة الشفط |
زمن الشفط إلى الفراغ الحدي < 15 دقيقة |
نطاق ضغط العمل |
5Pa إلى 1 × 105Pa قابل للتعديل بشكل مستمر |
تزويد الطاقة |
3 مراحل 5 أسلاك 380V±10٪، 50Hz |
ماء تبريد |
2~4 كغف/سم²، 8ل/دقيقة; |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
