RTD Wafer هو مستشعر درجة حرارة يستخدم تقنيات معالجة خاصة لدمج مستشعرات درجة الحرارة (RTDs) في مواقع محددة على سطح البلاطة، مما يمكّن من قياس درجة حرارة سطح البلاطة في الوقت الفعلي.
يمكن الحصول على قياسات درجة الحرارة الحقيقية في مواقع محددة على البلاطة والتوزيع العام لدرجة حرارة البلاطة من خلال RTD Wafer؛ كما يمكن استخدامه لمراقبة مستمرة للتغيرات المؤقتة في درجة الحرارة على البلاطات أثناء عملية المعالجة الحرارية.