آلة إزالة البلازما الجافة ICP من المقاوم الضوئي / آلة إزالة المقاوم الضوئي البلازما (PR) لرقاقة أشباه الموصلات، الصين مصنعو وموردو ومصنع آلة إزالة البلازما الجافة ICP من المقاوم الضوئي / آلة إزالة المقاوم الضوئي البلازما (PR) لرقاقة أشباه الموصلات

وصف المنتج

ICP PLASMA آلة إزالة مقاومة الضوء

أشينغ
إزالة البوليمر
الإزالة الجافة لطبقة القناع الصلبة
إزالة المقاومة الضوئية بعد زرع الأيونات
إزالة المقاومة الضوئية في عملية BAW/SAW
التنظيف الجاف لطبقة الفيلم الجرافيكي المضادة للانعكاس
إزالة بقايا السطح
تنظيف السطح بعد النقش
فضل

آلة إزالة مقاوم الضوء بالبلازما الجافة ICP مناسبة لـ DESCUM (المعالجة المسبقة، إزالة بقايا مقاوم الضوء) إزالة البوليمر (PI، BCB، PBO) بعد زرع الأيونات، وإزالة مقاوم الضوء، وما إلى ذلك، يكون التجويف مناسبًا لعينات مقاس 8 بوصات (4 -6 بوصة متوافقة)

ICP إزالة البلازما الجافة لمقاوم الضوء / آلة إزالة مقاوم الضوء البلازما (PR) لتفاصيل رقاقة أشباه الموصلات

ICP إزالة البلازما الجافة لمقاوم الضوء / آلة إزالة مقاوم الضوء البلازما (PR) لمورد رقاقة أشباه الموصلات

ICP إزالة البلازما الجافة لمقاوم الضوء / آلة إزالة مقاوم الضوء البلازما (PR) لتصنيع رقائق أشباه الموصلات

ICP إزالة البلازما الجافة لمقاوم الضوء / آلة إزالة مقاوم الضوء البلازما (PR) لمصنع رقائق أشباه الموصلات

المواصفات الخاصه

PLASMA			RF	RF
الطاقة	برنامج المقارنات الدولية	1000w	1000w
الطاقة		BIAS	600 واط (الخيار)	600 واط (الخيار)
نطاق التطبيق			شنومك ~ شنومكس بوصة	شنومك ~ شنومكس بوصة
عدد شرائح المعالجة الواحدة			1	2
أبعاد المظهر			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
نظام مراقبة			نظام التحكم الصناعي	نظام التحكم الصناعي
مستوى الأتمتة			أوتوماتيكي	أوتوماتيكي