نظام النقش البلازمي بالاقتران الاستقرائي (ICP) معدات أشباه الموصلات، الصين مصنعو معدات النقش البلازمي بالاقتران الاستقرائي (ICP) أشباه الموصلات، الموردين، المصنع

وصف المنتج

نظام النقش بالبلازما بالاقتران الحثي (ICP).

نظام النقش بالبلازما بالاقتران الحثي (ICP) مصنع معدات أشباه الموصلات

نتيجة العملية

الكوارتز / السيليكون / النقش المشبك

باستخدام قناع BR لحفر مواد الكوارتز أو السيليكون، فإن نمط المصفوفة الشبكية يحتوي على أنحف خط يصل إلى 300 نانومتر وانحدار الجدار الجانبي للنمط قريب من > 89 درجة، والذي يمكن تطبيقه على العرض ثلاثي الأبعاد، والأجهزة البصرية الدقيقة، والاتصالات الإلكترونية الضوئية، إلخ

النقش المركب / أشباه الموصلات

يمكن للتحكم الدقيق في درجة حرارة سطح العينة التحكم بشكل جيد في مورفولوجيا النقش للمواد المعتمدة على GaN وGaAs وInP والمواد المعدنية. إنه مناسب لأجهزة LED الزرقاء والليزر والاتصالات البصرية وغيرها من التطبيقات.

نظام النقش بالبلازما بالاقتران الحثي (ICP) تصنيع معدات أشباه الموصلات

النقش على المواد القائمة على السيليكون

إنها مناسبة لنقش المواد القائمة على السيليكون مثل Si، وSiO2، وSiNx. يمكن تحقيق نقش خط السيليكون فوق 50 نانومتر وحفر ثقب عميق للسيليكون أقل من 100um

المواصفات الخاصه

تكوين المشروع ومخطط هيكل الجهاز

العناصر	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
حجم المنتج	≥6 بوصة	≥8 بوصة	≥6 بوصة	≥8 بوصة	مخصص≥12 بوصة
مصدر الطاقة SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
مصدر الطاقة بي آر إف	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
مضخة جزيئية	غير قابل للتآكل: 600/1300 (لتر/ثانية)/مخصص			مقاومة التآكل: 600/1300 (لتر/ثانية)/مخصص		600/1300 (لتر / ثانية) /مخصص
مضخة الفورلين	مضخة ميكانيكية / مضخة جافة			مضخة جافة مضادة للتآكل		مضخة ميكانيكية / مضخة جافة
مضخة ما قبل الضخ	مضخة ميكانيكية / مضخة جافة			مضخة ميكانيكية / مضخة جافة
ضغط العملية	الضغط غير المنضبط/0-0.1/1/10 ضغط متحكم فيه
نوع الغاز	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (ما يصل إلى 12 قنوات، لا يوجد غاز مسبب للتآكل أو سام)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ مخصص (حتى 12 قناة)
مجال الغاز	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
قفل التحميل	نعم لا			نعم
مراقبة درجة الحرارة العينة	10 درجة مئوية ~ درجة حرارة الغرفة/ -30 درجة مئوية ~ 150 درجة مئوية / مخصص			-30 درجة مئوية ~ 200 درجة مئوية/مخصص
تبريد الهيليوم الخلفي	نعم لا			نعم
بطانة تجويف العملية	نعم لا			نعم
التحكم بدرجة حرارة جدار التجويف	رقم/درجة حرارة الغرفة -60/120 درجة مئوية			درجة حرارة الغرفة ~ 60/120 درجة مئوية
نظام التحكم	تلقائي/مخصص
مادة النقش	قاعدة السيليكون: Si/SiO2/ سين اكس / كربيد السيليكا ..... المواد العضوية: PR/عضوي فيلم......			قاعدة السيليكون: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... الرابع إلى الرابع: كربيد السيليكون II-VI: CdTe...... مادة مغناطيسية/مادة سبيكة المواد المعدنية: Ni/Cr/Al/Cu/Au... المواد العضوية: PR/فيلم عضوي...... النقش العميق السيليكون