بناء |
توضيح |
فضح كونترتوب |
منطقة التعرض: كونترتوب، منطقة وضع الركيزة |
النظام البصري |
منطقة صب انبعاث الليزر |
نظام التحكم البيئي |
التحكم في درجة الحرارة الداخلية والضغط الإيجابي للجهاز |
نظام المنصة |
يتحكم في حركة جدول التعريض لاستكمال تشغيل مسار التعريض |
نظام التحكم |
نظام التحكم في المعدات بأكملها |
رقم |
البيئة |
تطلب |
1 |
بيئة مصدر الضوء |
ضوء أصفر |
2 |
درجة الحرارة |
22 ℃ ± 2 ℃ |
3 |
درجة الرطوبة |
50٪ ± 10٪ |
4 |
النظافة |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa، 200LPM، هواء جاف ونظيف |
6 |
مزود الطاقة |
220 ~ 240 فولت، 50/60 هرتز، 2.5 كيلو وات؛ يجب تأريض السلك الأرضي، |
7 |
مياه التبريد |
درجة الحرارة: 10 درجة مئوية ~ 20 درجة مئوية الضغط: 0.3MPa ~ 0.5MPa معدل التدفق: 20 لتر/دقيقة فرق الضغط: 0.3MPa 以上 تولي العيار: Rc3/8 |
8 |
مكان |
المستوى: ± 3 مم/3000 مم هزة: محمل VC-B: 750 كجم/㎡ |
10 |
الإنترنت |
منفذ شبكة واحد |
11 |
حجم الجهاز |
1300 * 1100 * 2100mm |
12 |
وزن الجهاز |
1500kg |
رقم |
مشروع |
المواصفات. |
تعليق |
1 |
دقة الشاشة |
0.6um/أو متطلبات أخرى |
AZ703، AZ1350 |
2 |
حزب الاتحاد الديمقراطي المسيحي |
±10%@1um |
|
3 |
سمك الركيزة |
0.2 مم ～ 4 مم |
|
4 |
دقة شبكة التاريخ |
60nm |
|
5 |
غطاء |
± 500nm |
130mmx130mm |
6 |
دقة الخياطة |
± 200nm |
AZ703 |
7 |
الحد الأقصى لحجم التعرض |
190X190mm |
|
8 |
الإنتاجية |
≥300mm2/دقيقة |
.50 مللي جول / سم 2 ； |
9 |
مصدر الضوء |
إل دي 375 نانومتر |
|
10 |
قوة الضوء |
6W |
|
11 |
توحيد الطاقة |
≥ 95٪ |
|
12 |
حياة خفيفة |
10000hr |
شركة قوانغتشو ميندر للتكنولوجيا العالية المحدودة
جميع الحقوق محفوظة لشركة Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
لا
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
