الهيكل |
أوضح |
سطح التعرض |
منطقة التعرض: سطح العمل، منطقة وضع المادة الخام |
النظام البصري |
منطقة تشكيل إصدار الليزر |
نظام تحكم البيئة |
التحكم في درجة الحرارة والضغط الإيجابي الداخلي للجهاز |
نظام المنصة |
يتحكم في حركة طاولة التعرض لإكمال عملية مسار التعرض |
نظام التحكم |
نظام تحكم لمعدات كاملة |
لا. |
البيئة |
يتطلب |
1 |
بيئة مصدر الضوء |
ضوء أصفر |
2 |
درجة الحرارة |
22℃±2℃ |
3 |
الرطوبة |
50%±10% |
4 |
النظافة |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa، 200LPM، هواء جاف ونظيف |
6 |
تزويد الطاقة |
220~240V، 50/60Hz، 2.5KW؛ يجب توصيل سلك الأرض بالأرض. |
7 |
ماء تبريد |
الدرجة: 10℃~ 20℃ الضغط: 0.3MPa ~ 0.5MPa معدل التدفق: 20L/دقيقة فرق الضغط: أكثر من 0.3MPa قطر الاتصال: Rc3/8 |
8 |
المكان |
المستوى: ±3mm/3000mm اهتزاز: VC-B محامل: 750kg/م² |
10 |
الإنترنت |
منفذ شبكة واحد |
11 |
حجم الآلة |
1300*1100*2100mm |
12 |
وزن الجهاز |
1500كجم |
لا. |
مشروع |
المواصفات |
ملاحظة |
1 |
الدقة |
0.6um/أو متطلبات أخرى |
AZ703، AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
سمك المادة الأساسية |
0.2mm～4mm |
|
4 |
دقة شبكة التاريخ |
60nm |
|
5 |
تراكب |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
دقة الربط |
±200nm |
AZ703 |
7 |
الحجم الأقصى للتعرض |
190X190mm |
|
8 |
الطاقة الإنتاجية |
≥300mm2/دقيقة |
≤50mj/cm2؛ |
9 |
مصدر الضوء |
LD 375nm |
|
10 |
قوة الضوء |
6W |
|
11 |
تجانس الطاقة |
≥95% |
|
12 |
عمر الضوء |
10000 ساعة |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
