وحدة مضيف البلازما الشاغرة (150) |
||
حجم المعدات |
L 1100×W 940×H 1755mm |
|
الوزن |
600كجم |
|
مصدر طاقة حسب الطلب |
AC380V، 50/60Hz، 5 خطوط، 25A (نوع فتحة إجمالي فوق C) |
|
مواصفات مولد البلازما |
||
طاقة |
ترددات الراديو |
تردد وسيط |
0~1000W |
0-2000W |
|
تردد التوريد |
13.56 ميجا هرتز |
40 ك هرتز |
نظام الفراغ |
||
مضخة فراغ |
مضخة ليب أحادية القطب VSV 65 + مضخة بوز لوتس BSJ 70 |
|
خط شفط الهواء |
خط كلي من الفولاذ المقاوم للصدأ، بالإضافة إلى خراطيم شفط قوية |
|
جودة المواد |
ألوفير |
|
السماكة |
25mm |
|
الكثافة |
ختم لحام عسكري الدرجة |
|
الأبعاد الداخلية للتجويف |
500*500*600 مم (العرض * الارتفاع * العمق) |
|
حجم اللوحة الكهربائية الفعّال |
372 (W) X 451 (D) مم |
|
المساحة المتاحة التباعد |
24mm |
|
ترتيب الكهرباء المعدنية |
لوحة كهربائية أفقية |
|
صواني |
مجموعة قياسية،可以选择 المادة (ألمنيوم، شبكة سلك فولاذية) |
|
مساحة العمل |
8 طبقات |
|
غاز العملية |
||
نطاق التدفق |
0~300SCCM |
|
مسار غاز العملية |
قياسية مع طريقتين، يمكن تخصيصها. أنبوب غاز العملية مصنوع من الفerrofllon |
|
نظام التحكم |
||
SC |
تحكم بكمبيوتر شخصي |
|
نمط تفاعلي |
واجهة ويندوز |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved