وحدة مضيفة بلازما فراغية (150) | ||||
حجم المعدات | الطول 1100 × العرض 940 × الارتفاع 1755 مم | |||
وزن | 600Kg | |||
الطلب على إمدادات الطاقة | AC380V، 50 / 60 هرتز، 5 خطوط، 25 أمبير (إجمالي النوع المفتوح فوق C) | |||
مواصفات مولد البلازما | ||||
قوة | موجة تردد الراديو | تردد وسيطة | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
تردد العرض | 13.56MHz | 40 كيلو هرتز | ||
نظام الشفط | ||||
مضخة فراغ | مضخة قفزة أحادية القطب VSV 65 + مضخة Bowse Lots BSJ 70 | |||
خط أنابيب فراغ | جميع خطوط الفولاذ المقاوم للصدأ، بالإضافة إلى منفاخ التفريغ عالي القوة | |||
جودة المواد | alufer | |||
سماكة | 25mm | |||
ضيق | ختم لحام من الدرجة العسكرية | |||
الأبعاد الداخلية للتجويف | 500*500*600 مللي متر (العرض * الارتفاع * العمق) | |||
لوحة كهربائية الحجم الفعال | 372 (عرض) × 451 (عمق) ملم | |||
تباعد المساحة المتاحة | 24mm | |||
ترتيب بالكهرباء | لوحة القطب الأفقي | |||
صواني | مجموعة قياسية، مادة اختيارية (الألومنيوم، شبكة أسلاك الفولاذ) | |||
مساحة العمل | طبقة 8 | |||
غاز المعالجة | ||||
مجموعة تدفق | 0 ~ 300 SCCM | |||
عملية الغاز طريق الغاز | قياسي بطريقتين، يمكن تخصيصه. خط أنابيب الغاز الصناعي مصنوع من الفيروفلون | |||
نظام التحكم | ||||
SC | السيطرة PC | |||
الوضع التفاعلي | واجهة Windows |
جميع الحقوق محفوظة لشركة Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.