وحدة مضيف البلازما الشاغرة (150) |
||||
حجم المعدات |
L 1100×W 940×H 1755mm |
|||
الوزن |
600كجم |
|||
مصدر طاقة حسب الطلب |
AC380V، 50/60Hz، 5 خطوط، 25A (نوع فتحة إجمالي فوق C) |
|||
مواصفات مولد البلازما |
||||
طاقة |
ترددات الراديو |
تردد وسيط |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
تردد التوريد |
13.56 ميجا هرتز |
40 ك هرتز |
||
نظام الفراغ |
||||
مضخة فراغ |
مضخة ليب أحادية القطب VSV 65 + مضخة بوز لوتس BSJ 70 |
|||
خط شفط الهواء |
خط كلي من الفولاذ المقاوم للصدأ، بالإضافة إلى خراطيم شفط قوية |
|||
جودة المواد |
ألوفير |
|||
السماكة |
25mm |
|||
الكثافة |
ختم لحام عسكري الدرجة |
|||
الأبعاد الداخلية للتجويف |
500*500*600 مم (العرض * الارتفاع * العمق) |
|||
حجم اللوحة الكهربائية الفعّال |
372 (W) X 451 (D) مم |
|||
المساحة المتاحة التباعد |
24mm |
|||
ترتيب الكهرباء المعدنية |
لوحة كهربائية أفقية |
|||
صواني |
مجموعة قياسية،可以选择 المادة (ألمنيوم، شبكة سلك فولاذية) |
|||
مساحة العمل |
8 طبقات |
|||
غاز العملية |
||||
نطاق التدفق |
0~300SCCM |
|||
مسار غاز العملية |
قياسية مع طريقتين، يمكن تخصيصها. أنبوب غاز العملية مصنوع من الفerrofllon |
|||
نظام التحكم |
||||
SC |
تحكم بكمبيوتر شخصي |
|||
نمط تفاعلي |
واجهة ويندوز |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved