مضيف البلازما الشاغل (200) |
||
حجم المعدات |
1050×1700×1050mm (العرض، الارتفاع والعمق) |
|
الوزن |
800 كجم |
|
قوة الطلب |
AC380V,50/60Hz,5أسلاك، 30A |
|
مواصفات مولد البلازما |
||
قوة الشبكة |
ترددات الراديو |
IF |
0~1000W |
0-2000W |
|
تردد الطاقة |
13.56 ميجا هرتز |
40 كيلوهرتز |
نظام الفراغ |
||
مضخة فراغ |
مضخة فردية من Feiyue VSV100 + مضختان من نوع BSJ70 |
|
خط الشفط |
جميع أنابيب الستانلس ستيل، والأنابيب المفرغة ذات القوة العالية |
|
المادة |
سبيكة الألومنيوم |
|
السماكة |
25mm |
|
الكثافة |
ختم ملحوم بدرجة عسكرية |
|
أبعاد التجويف الداخلي |
600×600×600mm (W×H×D) |
|
الحجم الفعّال لوحة الكهرباء |
472 X 451mm (W×D) |
|
مساحة متاحة |
35 مم |
|
تخطيط لوحة الكهرباء |
لوحة كهربائية أفقية |
|
صينية العمل |
مجموعة واحدة هي القياسية، والمادة اختيارية (ألمنيوم، شبك فولاذي) |
|
مساحة عمل |
8 طوابق |
|
غاز العملية |
||
نطاق التدفق |
0~300SCCM |
|
دائرة غاز العملية |
مجهزة بثلاثي الغاز O2، Ar، N2 |
|
نظام التحكم |
||
تحكم النظام |
تحكم بكمبيوتر شخصي |
|
نمط تفاعلي |
واجهة ويندوز |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved