مضيف البلازما فراغ(200) |
||
حجم المعدات |
1050×1700×1050 مم (العرض والارتفاع والعمق) |
|
وزن |
800Kg |
|
قوة الطلب |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
مواصفات مولد البلازما |
||
قوة التيار الكهربائي |
موجة تردد الراديو |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
تردد الطاقة |
13.56MHz |
40 كيلوهرتز |
نظام الشفط |
||
مضخة فراغ |
مضخة Feiyue أحادية القطب VSV100 + مضخة كلا الجذور BSJ70 |
|
خط فراغ |
جميع الأنابيب من الفولاذ المقاوم للصدأ، ومنفاخ تفريغ عالي القوة |
|
مادة |
سبائك الألومنيوم |
|
سماكة |
25mm |
|
ضيق |
ختم ملحوم من الدرجة العسكرية |
|
أبعاد التجويف الداخلي |
600 × 600 × 600 مم (العرض × الارتفاع × العمق) |
|
الحجم الفعال للوحة القطب |
472 × 451 ملم (العرض × العمق) |
|
مساحة متوفرة |
35mm |
|
تخطيط لوحة القطب |
لوحة القطب الأفقي |
|
صينية العمل |
مجموعة واحدة قياسية، والمواد اختيارية (الألومنيوم، شبكة فولاذية) |
|
مساحة العمل |
طوابق 8 |
|
غاز المعالجة |
||
مجموعة تدفق |
0 ~ 300 SCCM |
|
معالجة دائرة الغاز |
مجهزة بغاز O2، Ar، N2 ثلاثي الاتجاه |
|
نظام التحكم |
||
نظام مراقبة |
السيطرة PC |
|
الوضع التفاعلي |
واجهة Windows |
جميع الحقوق محفوظة لشركة Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.