مضيف البلازما الشفط (200) |
||||
حجم المعدات |
1050×1700×1050 مم (العرض، الارتفاع والعمق) |
|||
الوزن |
800 كجم |
|||
قوة الطلب |
AC380V,50/60Hz,5أسلاك، 30A |
|||
مواصفات مولد البلازما |
||||
قوة الشبكة |
ترددات الراديو |
IF |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
تردد الطاقة |
13.56 ميجا هرتز |
40 كيلوهرتز |
||
نظام الفراغ |
||||
مضخة فراغ |
مضخة فردية من Feiyue VSV100 + مضختان من نوع BSJ70 |
|||
خط الشفط |
جميع أنابيب الستانلس ستيل، والأنابيب المفرغة ذات القوة العالية |
|||
المادة |
سبيكة الألومنيوم |
|||
السماكة |
25mm |
|||
الكثافة |
ختم ملحوم بدرجة عسكرية |
|||
أبعاد التجويف الداخلي |
600×600×600mm (W×H×D) |
|||
الحجم الفعّال لوحة الكهرباء |
472 X 451mm (W×D) |
|||
مساحة متاحة |
35 مم |
|||
تخطيط لوحة الكهرباء |
لوحة كهربائية أفقية |
|||
صينية العمل |
مجموعة واحدة هي القياسية، والمادة اختيارية (ألمنيوم، شبك فولاذي) |
|||
مساحة عمل |
8 طوابق |
|||
غاز العملية |
||||
نطاق التدفق |
0~300SCCM |
|||
دائرة غاز العملية |
مجهزة بثلاثي الغاز O2، Ar، N2 |
|||
نظام التحكم |
||||
تحكم النظام |
تحكم بكمبيوتر شخصي |
|||
نمط تفاعلي |
واجهة ويندوز |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved