وحدة مضيف البلازما الشاغرة (60) |
||||
حجم المعدات |
L 950×W 900×H 1650mm |
|||
الوزن |
350كغ |
|||
مصدر طاقة حسب الطلب |
AC380V، 50/60Hz، 5 خطوط، 16A (نوع الفتحة الكلي فوق C) |
|||
مواصفات مولد البلازما |
||||
طاقة |
ترددات الراديو |
تردد وسيط |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
تردد التوريد |
13.56 ميجا هرتز |
40 ك هرتز |
||
نظام الفراغ |
||||
مضخة فراغ |
مضخة دوارة ذات مرحلتين (مضخة زيت): 40م3/س |
|||
خط شفط الهواء |
خط كلي من الفولاذ المقاوم للصدأ، بالإضافة إلى خراطيم شفط قوية |
|||
جودة المواد |
سبائك الألمنيوم (مع إمكانية تخصيص تجويف من الفولاذ المقاوم للصدأ) |
|||
السماكة |
25mm |
|||
الكثافة |
ختم لحام عسكري الدرجة |
|||
الأبعاد الداخلية للتجويف |
375*375*430مم (العرض * الارتفاع * العمق) |
|||
حجم اللوحة الكهربائية الفعّال |
247*281مم (العرض * العمق) |
|||
المساحة المتاحة التباعد |
22mm |
|||
ترتيب الكهرباء المعدنية |
تخطيط أفقي، يمكن أن يكون هناك استخراج نشط |
|||
صواني |
مجموعة قياسية،可以选择 المادة (ألمنيوم، شبكة سلك فولاذية) |
|||
مساحة العمل |
6 طبقات |
|||
غاز العملية |
||||
نطاق التدفق |
0~300SCCM |
|||
مسار غاز العملية |
قياسية مع طريقتين، يمكن تخصيصها. أنبوب غاز العملية مصنوع من الفerrofllon |
|||
navar |
||||
SC |
PLC |
|||
نمط تفاعلي |
شاشة لمس بحجم 7 بوصات |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved