جهاز الليثوغرافيا الأحادي الجانب全自动 MDHS-AL8 بقطر 8 بوصات , China جهاز الليثوغرافيا الأحادي الجانب全自动 MDHS-AL8 بقطر 8 بوصات Manufacturers, Suppliers, Factory

وصف المنتج

جهاز الليثوغرافيا الأحادي الجانب全自动 MDHS-AL8 بقطر 8 بوصات

1. نمط العمل: يقوم روبوت التحميل تلقائيًا بتحميل الشرائح من صندوق الشرائح A-B (قابل لإعادة الاستخدام) إلى منضدة التوضع المسبق

منضدة العمل، ومن خلال ضبط نظام توجيه الكاميرا ونظام الدوران التلقائي، يتم تحقيق التوجيه المسبق للوافر؛ ثم يقوم روبوت التحميل بتحميل اللوحات الموجهة مسبقًا على منضدة التحديد. من خلال التعرف على الصور الحاسوبية وضبط نظام التحديد التلقائي، يمكن تحقيق التحديد التلقائي للرسومات على القناع واللوحات. كما يمكن إكمال التعرض الواحد دون تحديد الرسومات. وبعد التعرض التلقائي بواسطة نظام التعرض الزائد، يضع الروبوت غير التحميلي اللوحات تلقائيًا في صندوق الوافر القابل لإعادة الاستخدام (C-D).
2. منطقة التعرض: 160 × 160 مم;
3. عدم انتظام إضاءة التعرض: ≤ 3%;
4. شدة التعرض: 0~≥ 40 ملليواط/سم² قابلة للتعديل (زاوية الشعاع 2 °);
5. زاوية الشعاع فوق البنفسجي: ≤ 3 °;
6. الطول الموجي المركزي للضوء فوق البنفسجي: 365 نانومتر;
7. عمر مصدر الضوء فوق البنفسجي: ≥ 20000 ساعة;
8. قدرة الفصل: 0~≥ 1000 ميكرون قابلة للتعديل;
9. دقة التحديد: ≤ ± 1.5 ميكرو متر;
10. دقة التعرض: التعرض بالاتصال ± 1 μm. فصل التعرض القريب بزاوية شعاع 20 μm ≤ ± 2 μm.
11. طرق التعرض: الاتصال الصلب، الاتصال الناعم، والتعرض عن قرب;
12. وضع التعرض: يمكنك الاختيار بين التعرض مرة واحدة أو التعرض المزدوج.
13. نظام التعرف على الصور والدوران المسبق (يشمل منضدة التوضع المسبق): زاوية الدوران Q ≥ ± 180 °، دقة الدوران Q ≤ 0.01 °;
14. نظام التعرف على الصور والمحاذاة التلقائية (يشمل منضدة محاذاة UVW): نطاق المحاذاة X Y ≥ ± 5mm، زاوية الدوران Q ≥ ± 3 °، ويتم التحكم في العدسات المجهرية بواسطة منصتين كهربائيتين XYZ.
15. حجم القناع: 5 "× 5" و 7" × 7 ";
16. حجم الوافر: 4 "و 6";
17. محطات عمل صندوق الأفلام العلوية والسفلية: محطتان;
18. وسادة هوائية للكوع;
19. ذراع روبوتية ثنائية للتحميل والتفريغ: Z ≥ 350mm، R135mm;
عشرون عدد الوافيرات في صندوق الوافير: يتم تحديده بناءً على عدد الوافيرات في صندوق الوافير للعميل.
-21 رفع طاولة التثبيت: Z ≥ ± 25mm
-22 عاماً توقيت التعرض: قابلة للتعديل من 0 إلى 999.9 ثانية.
-ثلاثون وتيرة الإنتاج:> 120 قطعة في الساعة
-24 مصدر الطاقة: AC220V 50Hz أحادي المرحلة، استهلاك الطاقة ≤ 3KW.
-25 ضغط الهواء النظيف: ≥ 0.4MPa
-26 عاماً درجة الفراغ: -0.07MPa~-0.09MPa؛
27 الحجم: 1400 * 1000 * 2100mm
-28 عاماً الوزن: حوالي 400 كجم

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

تتكون هذه الآلة من رأس التعرض للأشعة فوق البنفسجية LED ، وتعرف الصورة ونظام الدوران التلقائي ، ومكتب العمل الموضع مسبقا ، ونظم التعرف على الصورة مثل ونظم التوجيه التلقائي ، ومكاتب العمل التوجيه ، والروبوتات تحميل ، الروبوت

المواصفات

1. رأس التعرض: رأس واحد للتعرضaviolet LED (365nm);
2. منضدة التعرف على الصور والمحاذاة المسبقة:
1) كاميرا واحدة (1.3 مليون بكسل)
2) قطعة معدات لتحديد المركز
3) مجموعة واحدة من منصة الدوران (باستخدام محرك السيرفو)
4) مجموعة واحدة من نظام التموضع
3. نظام التعرف على الصور والمحاذاة التلقائية:
1) كاميرتان (5 ملايين بكسل بمعدل إطارات عالي)
2) عدستان (عدسة بدقة 4x عالية)
3) حاسوب صناعي واحد
4) وحدة تحكم واحدة (يتحكم بها PLC)
5) مجموعة واحدة من منصة التحديد (تستخدم محركًا خطويًا بخمس مراحل)
6) مجموعة نظام رياضي
7) تستخدم جهاز اللوحة العلوية محركًا لرفع وهبوط الجهاز
7) تستخدم البرمجيات أحدث إصدار من LabVIEW Professional Edition
4. ذراع آلي للتحميل والتفريغ:
1) X Y. مجموعة Z تتحرك تلقائيًا
2) ذراع روبوت ثنائي (ذراعين للتحميل والتفريغ)
5. آلية تثبيت صندوق الـ Wafer:
1) AB هو التثبيت المحدد لصندوق الفيلم المغذي
2) CD هو التثبيت الثابت لصندوق فيلم القطع
3) G هو التثبيت الثابت لوظيفة NG لصندوق الفيلم
6. منصة كاميرا ثابتة:
7. مجموعتان من آليات التعديل الكهربائية Y.Z (يتم التحكم فيها بواسطة محركات السيرفو)
8. الرف والمنصة السيطرة الكهربائية:
1) جهاز كمبيوتر صناعي واحد
2) مجموعة واحدة من PLC;
3) مجموعة واحدة من الصمامات الكهرومغناطيسية ونظام التحكم
4) مجموعة من الأدوات الهوائية الرقمية
5) مجموعة واحدة من منصة التحكم
8. الملحقات الإضافية:
1) أنبوب الحنجرة: 15 متر
2) صمامان كهرومغناطيسيان
3) مضخة شفط: وحدة واحدة
9. البيانات الفنية:
1) دليل المستخدم
2) شهادة مطابقة
10. إضافي
تحتاج برامج المعدات إلى أن تكون مزودة ببروتوكول اتصال SECS، ويقدم المشتري مكتبة ديناميكية تحتوي على وظيفة الربط مع نظام MES الخاص بالمشتري، وتقوم تلقائيًا بتسجيل رقم دفعة المنتج، رقم الوظيفة، والحالة التشغيلية وتحميلها. وفي الوقت نفسه، لديها وظيفة تحديد رمز QR لوحة القناع، مقارنتها مع رمز QR لوحة القناع في نظام MES، ومنع أخذ لوحة قناع خاطئة.

التغليف والشحن