1. وضع العمل: يقوم روبوت التحميل تلقائيًا بتحميل الرقاقات من صندوق الويفر AB (القابل لإعادة التدوير) إلى الموضع المسبق
منضدة العمل، ومن خلال ضبط رقاقة تحديد موضع الكاميرا ونظام الدوران التلقائي، يتم تحقيق تحديد موضع الرقاقة مسبقًا؛ يقوم روبوت التحميل بعد ذلك بتحميل الرقاقات الموضوعة مسبقًا على طاولة عمل المحاذاة. من خلال التعرف على الصور بالكمبيوتر وضبط نظام المحاذاة التلقائي، يمكن تحقيق المحاذاة التلقائية للرسومات على القناع والرقائق. من الممكن أيضًا إكمال تعريض ضوئي واحد دون محاذاة الرسومات. بعد التعرض التلقائي بواسطة نظام التعرض الزائد، يقوم روبوت التفريغ تلقائيًا بوضع الرقائق في صندوق الرقائق المضغوطة (القابلة لإعادة التدوير).
2. منطقة التعرض: 160 × 160 مم؛
3. إضاءة التعرض غير المتساوية: ≥ 3%؛
4. شدة التعرض: 0~≥ 40mw/cm2 قابلة للتعديل (زاوية الشعاع 2 درجة)؛
5. زاوية شعاع الأشعة فوق البنفسجية: ≥ 3 درجة؛
6. الطول الموجي المركزي للأشعة فوق البنفسجية: 365 نانومتر؛
7. عمر مصدر الضوء UV: ≥ 20000 ساعة؛
8. قدرة الفصل: 0~≥ 1000um قابلة للتعديل؛
9. دقة المحاذاة: ± ± 1.5 μM؛
10. دقة التعرض: التعرض للاتصال ± 1 ميكرومتر. بالقرب من فصل التعرض بزاوية شعاع 20 μ M 2 ° ≥ ± 2 μ M
11. طرق التعرض: الاتصال القوي، والاتصال الناعم، والتعرض القرب؛
12. وضع التعرض: يمكنك الاختيار بين التعرض لمرة واحدة أو التعرض للتعويض
13. التعرف على الصور قبل تحديد المواقع ونظام التدوير التلقائي (بما في ذلك منضدة العمل قبل تحديد المواقع): زاوية الدوران Q ≥ ± 180 درجة، دقة الدوران Q ≥ 0.01 درجة؛
14. نظام التعرف على الصور والمحاذاة التلقائية (بما في ذلك منضدة محاذاة UVW): نطاق المحاذاة XY ≥ ± 5mm، زاوية الدوران Q ≥ ± 3 °، وعدستين للمجهر يتم التحكم فيهما بواسطة منصتين كهربائيتين XYZ.
15. حجم القناع: 5 بوصة × 5 بوصة و7 بوصة × 7 بوصة؛
16. حجم الرقاقة: 4 "و 6"؛
17. محطات عمل صندوق الفيلم العلوي والسفلي: محطات عمل مزدوجة؛
18. وسادة هوائية للقدم
19. تحميل وتفريغ الذراع الآلية ذات الذراع المزدوج: Z ≥ 350mm، R135mm؛
20. عدد الرقاقات في صندوق الويفر: يتم تحديده بناءً على عدد الرقاقات الموجودة في صندوق الويفر الخاص بالعميل؛
21. رفع طاولة تحديد المواقع: Z ≥ ± 25mm؛
22. توقيت التعرض: قابل للتعديل من 0 إلى 999.9 ثانية؛
23. إيقاع الإنتاج:> 120 قطعة في الساعة؛
24. مصدر الطاقة: AC220V أحادي الطور 50 هرتز، استهلاك الطاقة ≥ 3KW؛
25. ضغط الهواء النظيف: ≥ 0.4MPa؛
26. درجة الفراغ: -0.07MPa~-0.09MPa؛
27. الحجم: 1400*1000*2100 مللي متر ؛
28. الوزن: حوالي 400 كجم