شركة قوانغتشو ميندر للتكنولوجيا العالية المحدودة

الرئيسية
من نحن
معدات ام اتش
الحلول
المستخدمين في الخارج
فيديو
اتصل بنا
product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-42
الصفحة الرئيسية> قناع أليجنر
  • مدهس-AL8 8
  • مدهس-AL8 8

MDHS-AL8 8 "آلة طباعة حجرية أوتوماتيكية بالكامل على جانب واحد

وصف المنتج

MDHS-AL8 8 "آلة طباعة حجرية أوتوماتيكية بالكامل على جانب واحد

1. وضع العمل: يقوم روبوت التحميل تلقائيًا بتحميل الرقاقات من صندوق الويفر AB (القابل لإعادة التدوير) إلى الموضع المسبق
منضدة العمل، ومن خلال ضبط رقاقة تحديد موضع الكاميرا ونظام الدوران التلقائي، يتم تحقيق تحديد موضع الرقاقة مسبقًا؛ يقوم روبوت التحميل بعد ذلك بتحميل الرقاقات الموضوعة مسبقًا على طاولة عمل المحاذاة. من خلال التعرف على الصور بالكمبيوتر وضبط نظام المحاذاة التلقائي، يمكن تحقيق المحاذاة التلقائية للرسومات على القناع والرقائق. من الممكن أيضًا إكمال تعريض ضوئي واحد دون محاذاة الرسومات. بعد التعرض التلقائي بواسطة نظام التعرض الزائد، يقوم روبوت التفريغ تلقائيًا بوضع الرقائق في صندوق الرقائق المضغوطة (القابلة لإعادة التدوير).
2. منطقة التعرض: 160 × 160 مم؛
3. إضاءة التعرض غير المتساوية: ≥ 3%؛
4. شدة التعرض: 0~≥ 40mw/cm2 قابلة للتعديل (زاوية الشعاع 2 درجة)؛
5. زاوية شعاع الأشعة فوق البنفسجية: ≥ 3 درجة؛
6. الطول الموجي المركزي للأشعة فوق البنفسجية: 365 نانومتر؛
7. عمر مصدر الضوء UV: ≥ 20000 ساعة؛
8. قدرة الفصل: 0~≥ 1000um قابلة للتعديل؛
9. دقة المحاذاة: ± ± 1.5 μM؛
10. دقة التعرض: التعرض للاتصال ± 1 ميكرومتر. بالقرب من فصل التعرض بزاوية شعاع 20 μ M 2 ° ≥ ± 2 μ M
11. طرق التعرض: الاتصال القوي، والاتصال الناعم، والتعرض القرب؛
12. وضع التعرض: يمكنك الاختيار بين التعرض لمرة واحدة أو التعرض للتعويض
13. التعرف على الصور قبل تحديد المواقع ونظام التدوير التلقائي (بما في ذلك منضدة العمل قبل تحديد المواقع): زاوية الدوران Q ≥ ± 180 درجة، دقة الدوران Q ≥ 0.01 درجة؛
14. نظام التعرف على الصور والمحاذاة التلقائية (بما في ذلك منضدة محاذاة UVW): نطاق المحاذاة XY ≥ ± 5mm، زاوية الدوران Q ≥ ± 3 °، وعدستين للمجهر يتم التحكم فيهما بواسطة منصتين كهربائيتين XYZ.
15. حجم القناع: 5 بوصة × 5 بوصة و7 بوصة × 7 بوصة؛
16. حجم الرقاقة: 4 "و 6"؛
17. محطات عمل صندوق الفيلم العلوي والسفلي: محطات عمل مزدوجة؛
18. وسادة هوائية للقدم
19. تحميل وتفريغ الذراع الآلية ذات الذراع المزدوج: Z ≥ 350mm، R135mm؛
20. عدد الرقاقات في صندوق الويفر: يتم تحديده بناءً على عدد الرقاقات الموجودة في صندوق الويفر الخاص بالعميل؛
21. رفع طاولة تحديد المواقع: Z ≥ ± 25mm؛
22. توقيت التعرض: قابل للتعديل من 0 إلى 999.9 ثانية؛
23. إيقاع الإنتاج:> 120 قطعة في الساعة؛
24. مصدر الطاقة: AC220V أحادي الطور 50 هرتز، استهلاك الطاقة ≥ 3KW؛
25. ضغط الهواء النظيف: ≥ 0.4MPa؛
26. درجة الفراغ: -0.07MPa~-0.09MPa؛
27. الحجم: 1400*1000*2100 مللي متر ؛
28. الوزن: حوالي 400 كجم
مورد آلة الطباعة الحجرية أحادية الجانب الأوتوماتيكية بالكامل MDHS-AL8 مقاس 8 بوصات
تتكون هذه الآلة من رأس تعريض للأشعة فوق البنفسجية LED، ونظام التعرف على الصور والدوران التلقائي، ومنضدة عمل موضوعة مسبقًا، وصورة مثل أنظمة التعرف والمحاذاة التلقائية، ومحاذاة مناضد العمل، وروبوتات التحميل، وروبوتات التفريغ، والرفوف، والتحكم الكهربائي. تتكون من المعدات ، ملحقات الغيار، الخ.
المواصفات الخاصه
1. رأس التعريض: رأس تعريض للأشعة فوق البنفسجية LED (365 نانومتر)؛
2. التعرف على الصور ومنضدة المحاذاة المسبقة:
1) كاميرا واحدة (1 مليون بكسل)
2) مركز تحديد المواقع لاعبا اساسيا
3) مجموعة واحدة من المنصة الدوارة (باستخدام محرك سيرفو)
4) 1 مجموعة من نظام تحديد المواقع
3. التعرف على الصور ونظام المحاذاة التلقائية:
1) كاميرتان (2 ملايين بكسل بمعدل إطارات مرتفع)
2) عدستين (عدسة عالية الوضوح 2x)
3) حاسوب صناعي واحد
4) وحدة تحكم واحدة (يتم التحكم فيها بواسطة PLC)
5) مجموعة واحدة من منصة المحاذاة (باستخدام محرك متدرج 5 مراحل)
6) مجموعة من النظام الرياضي
7) يستخدم جهاز اللوحة العلوية محركًا للرفع والخفض
7) يعتمد البرنامج أحدث إصدار من LabVIEW Professional Edition
4. تحميل وتفريغ الذراع الميكانيكية:
1) X Y. مجموعة من آلية الحركة الأوتوماتيكية Z
2) ذراع آلي مزدوج الذراع (أذرع التحميل والتفريغ)
5. آلية تثبيت صندوق الويفر:
1) AB هو الموضع الثابت لصندوق فيلم التغذية
2) القرص المضغوط هو الموضع الثابت لصندوق فيلم القطع
3) G هو الموضع الثابت لصندوق فيلم موضع NG
6. منصة الكاميرا الثابتة:
7. مجموعتان من آليات الضبط الكهربائي YZ (يتم التحكم فيها بواسطة محركات مؤازرة)
8. الرف ووحدة التحكم الكهربائية:
1) 1 كمبيوتر صناعي
2) مجموعة واحدة من PLC؛
3) مجموعة واحدة من صمامات الملف اللولبي ونظام التحكم
4) مجموعة من الأدوات الهوائية الرقمية
5) مجموعة واحدة من وحدة التحكم
8. الملحقات الاحتياطية:
1) القصبة الهوائية: 15 متراً
2) 2 صمامات لولبية
3) مضخة فراغ: 1 وحدة
9. البيانات الفنية:
1) دليل مستخدم واحد
2) شهادة مطابقة واحدة
10. إضافية
يجب أن يكون برنامج المعدات مجهزًا ببروتوكول اتصالات SECS، ويوفر المشتري مكتبة ديناميكية مع وظيفة الالتحام بنظام MES الخاص بالمشتري، وتسجيل رقم دفعة المنتج ورقم المهمة وحالة التشغيل تلقائيًا وتحميلها. في الوقت نفسه، لديها وظيفة تحديد رمز QR للوحة القناع، ومقارنتها برمز QR للوحة القناع لنظام MES، ومنع التقاط لوحة القناع الخاطئة.
التعبئة والشحن
تصنيع آلة الطباعة الحجرية أحادية الجانب الأوتوماتيكية بالكامل MDHS-AL8 مقاس 8 بوصات
مورد آلة الطباعة الحجرية أحادية الجانب الأوتوماتيكية بالكامل MDHS-AL8 مقاس 8 بوصات
نبذة عن الشركة

استفسر

product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-53استفسر product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-54البريد الإلكتروني product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-55الواتساب product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-56 وي شات
product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-57
product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-58★★★★
×

الاتصال بالشركة