م.د.إتش.إس.إس321مجهر المسح بالموجات فوق الصوتية من سلسلة هو جهاز تصوير اختبار غير مدمر مناسب لصناعة أشباه الموصلات. يستخدم بشكل أساسي الموجات فوق الصوتية عالية التردد للكشف عن جميع أنواع أجهزة أشباه الموصلات والمواد، ويمكنه الكشف عن العيوب مثل المسام والشقوق والشوائب والتقشير داخل العينات، وعرضها بطريقة غير رسومية. أثناء عملية المسح،
لن يسبب ضررًا للعينة ولن يؤثر على أداء العينة.