MDICP-5000F آلة الحفر ICP الأوتوماتيكية بالكامل / معدات شبه الموصلات المرتبطة بالبلازما بالموجات الترددية , China MDICP-5000F آلة الحفر ICP الأوتوماتيكية بالكامل / معدات شبه الموصلات المرتبطة بالبلازما بالموجات الترددية Manufacturers, Suppliers, Factory

وصف المنتج

MDICP-5000F آلة التآكل ICP الأوتوماتيكية بالكامل

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

الملخص التنفيذي

المعدات هي نظام شغف ثنائي الغرف. الغرفة الأولى هي غرفة عينة الحقن والغرفة الأخرى هي غرفة التآكل. تم تركيب قفل شغفي بين غرفة عينة الحقن وغرفة التآكل، وتُنقل عينة الحقن بواسطة مناولة آلية.
يتألف الجهاز بشكل أساسي من نظام الشفط، نظام الدائرة الغازية، النظام الكهربائي، النظام التحكمي، نظام التبريد، آليات إمداد وسحب الفيلم، نظام الإنذار، وما إلى ذلك.

نظام الفراغ

يتكون النظام من مضخة جزيئية ذات سرعة ضخ قدرها 600 لتر / ثانية + مضخة شفط جافة مستوردة ذات سرعة ضخ L / s لشفط غرفة الإزالة إلى شفط عالي. يتم تركيب صمام ضغط كهربائي ديناميكي بين المضخة الجزيئية وغرفة الإزالة. المضخة الجافة المستوردة هي مضخة الشفط الأولية لغرفة الإزالة والمضخة الأمامية للمضخة الجزيئية. تُستخدم مضخة ميكانيكية أخرى ذات سرعة ضخ L / s لشفط غرفة العينة. يتم استخدام موصلات فولاذية غير القابلة للصدأ لربط المضخة الميكانيكية بغرفة الشفط والمضخة الجزيئية، ويتم تركيب صمام كهرومغناطيسي هوائي.

نظام التحكم بالضغط الثابت

مجهز بالمعدات بنظام تحكم بالضغط الثابت في المصب، وتم تركيب صمام قابل للتعديل كهربائيًا في خط أنابيب استخراج الهواء. من خلال قياس مقياس الفيلم (الأجزاء المستوردة)، يتم التحكم في الصمام القابل للتعديل لتحقيق ضغط ثابت في غرفة الفراغ، مما يساهم في تحسين استقرار العملية.

نظام التحكم بالضغط الثابت

نظام الدائرة الغازية

مجموعتان من مصادر الطاقة RF ذات التناسب التلقائي.

نظام إنذار

المتطلبات الأمنية للمعدات.

المواصفات

الاسم	SPC	علامة تجارية	رقم \/ مجموعة	ملاحظة
غرفة التآكل، خطوط استخراج الهواء، نافذة المراقبة، الواجهات المحفوظة، إلخ	معيار	JSWN	1	مضاد للتآكل
الهيكل، الخزان الكهربائي، الأختام، القطع القياسية، إلخ	معيار	JSWN	1
نظام رفع غطاء غرفة التآكل	معيار	JSWN	1	مضاد للتآكل
القطب الكهربائي والنظام التبريد بالنقش	معيار	JSWN	1	مضاد للتآكل
مضخة جزيئية (سرعة ضخ 600 لتر / ثانية)	FF620/150	KYKY	1	مضاد للتآكل
مضخة جافة للدخول (سرعة الضخ 9 لتر / ثانية)	XDS-35I	إدواردز	1	مضاد للتآكل
مضخة ميكانيكية (سرعة الضخ 9 لتر / ثانية)	TRP-36	BWVAC	1
صمام بوابة تنظيم كهربائي	DCQ-150	JSWN	1	مضاد للتآكل
صمام إيقاف بالكيس الهوائي النفاث	KF40	JSWN	3	مضاد للتآكل
مقياس الفيلم	KF16	INFICON	1	مضاد للتآكل
جهاز تحكم تدفق الكتلة	D07	Sevenstar	4	مضاد للتآكل
صمام الغشاء الهوائي	1/4" VCR	-	4	مضاد للتآكل
أنبوب فولاذي غير قابل للصدأ، مفاصل الأنبوب، وما إلى ذلك	1/4" VCR	-	4	مضاد للتآكل
مصدر طاقة RF / مطابقة تلقائية	-	الصين (اختياري CROWN1310)	1
مصدر طاقة RF / مطابقة تلقائية	-	الصين (اختياري CROWN1310)	1
مقياس شغف مركب	ZDF	RB	1
IPC	2U	الصين	1
شاشة لمسة LCD	17 بوصة	الصين	1
نظام تحكم PLC	S7-200	سيمنز	1
نظام تحكم في القيادة الكهربائية	معيار	JSWN	1
كشف ماء التبريد ونظام الأنابيب	معيار	JSWN	1
كشف الهواء المضغوط ونظام الأنابيب	معيار	JSWN	1
جهاز تدوير ماء التبريد	HX	الصين	1
غرفة حقن النقش	معيار	JSWN	1
قفل شفط	SMC	SMC	1
نظام تحكم الماني퓰اتور	SMC	SMC	1

المعاملة الفنية للمعنى

1. حد الشفط: غرفة النقش 9.0×10-5Pa (رطوبة الغرفة ≤55%)
غرفة عينة الحقن 6.0×10-1Pa
2. مادة النقش: مادة Ⅲ، Ⅴ، Si، SiO2، إلخ
3. معدل النقش: ~ 1μ/دقيقة
4. انتظام النقش: ≤±5٪ (مدى φ125mm)
6. حجم الكهرباء: φ200mm

التغليف والشحن