آلة النقش ICP الأوتوماتيكية بالكامل MDICP-5000F / معدات أشباه الموصلات البلازما المقترنة بالحث ، الصين مصنعو وموردو ومصنع آلة النقش ICP الأوتوماتيكية بالكامل MDICP-5000F / معدات أشباه الموصلات البلازما المقترنة بالحث

وصف المنتج

MDICP-5000F آلة النقش ICP الأوتوماتيكية بالكامل

ملخص تنفيذي

المعدات عبارة عن نظام فراغ من غرفتين. إحدى الغرفتين هي غرفة أخذ عينات الحقن والأخرى هي غرفة النقش. يتم تثبيت قفل فراغ بين غرفة أخذ عينات الحقن وغرفة الحفر، ويتم نقل عينات الحقن بواسطة مناور.
تتكون المعدات بشكل أساسي من نظام التفريغ ونظام دائرة الغاز والنظام الكهربائي ونظام التحكم ونظام التبريد وآلية تغذية وأخذ الفيلم ونظام الإنذار وما إلى ذلك.

نظام الشفط

يتكون النظام من مضخة جزيئية بسرعة ضخ 600 لتر / ثانية + مضخة جافة مفرغة مستوردة بسرعة ضخ لتر / ثانية لضخ حجرة الحفر إلى فراغ عالي. يتم تركيب صمام تنظيم الضغط الديناميكي الكهربائي بين المضخة الجزيئية وغرفة الحفر. المضخة الجافة المستوردة هي مضخة الضخ المسبق لغرفة الحفر ومضخة المرحلة الأمامية للمضخة الجزيئية. استخدم مضخة ميكانيكية أخرى بسرعة ضخ L/s لتفريغ حجرة العينة. يتم استخدام منفاخ من الفولاذ المقاوم للصدأ للتوصيل بين المضخة الميكانيكية وغرفة التفريغ والمضخة الجزيئية، ويتم تركيب صمام كتلة هوائي كهرومغناطيسي.

نظام التحكم بالضغط المستمر

تم تجهيز المعدات بنظام التحكم في الضغط المستمر، وتم تركيب صمام كهربائي قابل للتعديل في خط أنابيب استخلاص الهواء. من خلال قياس مقياس الغشاء (الأجزاء المستوردة)، يتم التحكم في الصمام القابل للتعديل لجعل غرفة التفريغ تصل إلى ضغط ثابت، وذلك لتحسين استقرار العملية.

نظام التحكم بالضغط المستمر

نظام دائرة الغاز

مجموعتان من مصدر طاقة الترددات اللاسلكية مع المطابقة التلقائية.

نظام إنذار

متطلبات السلامة للمعدات.

المواصفات الخاصه

الاسم	العريف	العلامات التجارية	لا وضع	ملاحظات
غرفة الحفر، خط أنابيب استخلاص الهواء، نافذة المراقبة، الواجهة المحجوزة، إلخ	المجموعة الأساسية	JSWN	1	المضادة للتآكل
الإطار، الخزانة الكهربائية، الأختام، الأجزاء القياسية، إلخ	المجموعة الأساسية	JSWN	1
نظام رفع غطاء غرفة النقش	المجموعة الأساسية	JSWN	1	المضادة للتآكل
النقش الكهربائي ونظام التبريد	المجموعة الأساسية	JSWN	1	المضادة للتآكل
المضخة الجزيئية (سرعة الضخ 600 لتر / ثانية)	FF620 / 150	كيكي	1	المضادة للتآكل
مدخل المضخة الجافة (سرعة الضخ 9 لتر / ثانية)	XDS-35I	إدواردز	1	المضادة للتآكل
مضخة ميكانيكية (سرعة الضخ 9 لتر / ثانية)	TRP-36	BWVAC	1
صمام بوابة التنظيم الكهربائي	DCQ-150	JSWN	1	المضادة للتآكل
صمام توقف منفاخ هوائي	KF40	JSWN	3	المضادة للتآكل
مقياس الفيلم	KF16	إنفيكون	1	المضادة للتآكل
تحكم التدفق الشامل	D07	Sevenstar	4	المضادة للتآكل
صمام الحجاب الحاجز الهوائي	جهاز فيديو 1/4 بوصة	-	4	المضادة للتآكل
أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ، وصلة الأنابيب، إلخ	جهاز فيديو 1/4 بوصة	-	4	المضادة للتآكل
مصدر طاقة الترددات اللاسلكية / المطابق التلقائي	-	الصين (اختياريCROWN1310)	1
مصدر طاقة الترددات اللاسلكية / المطابق التلقائي	-	الصين (اختياريCROWN1310)	1
مقياس الفراغ المركب	ZDF	RB	1
IPC	2U	الصين	1
شاشة LCD تعمل باللمس	17inch	الصين	1
نظام التحكم PLC	S7-200	سيمنز	1
نظام التحكم في القيادة الكهربائية	المجموعة الأساسية	JSWN	1
نظام الكشف عن مياه التبريد وخطوط الأنابيب	المجموعة الأساسية	JSWN	1
كشف الهواء المضغوط ونظام خطوط الأنابيب	المجموعة الأساسية	JSWN	1
آلة تبريد المياه المتداولة	HX	الصين	1
غرفة الحقن النقش	المجموعة الأساسية	JSWN	1
قفل فراغ	SMC	SMC	1
نظام التحكم في المناول	SMC	SMC	1

المعلمة التقنية للبريد

1. الحد من الفراغ: غرفة النقش 9.0×10-5Pa (الرطوبة الداخلية أقل من 55%)
غرفة أخذ عينات الحقن 6.0×10-1Pa
2. مواد النقش: Ⅲ、ⅤMaterial、Si 、SiO2، إلخ
3. معدل النقش: ~ 1μ/دقيقة
4. توحيد النقش: ±±5%(نطاق φ125mm)
6. حجم القطب: φ200mm

التعبئة والشحن