تنفيذ المشاريع
|
تفاصيل
|
تصريحات
|
||
1 |
معدات نظرة عامة |
اسم الجهاز: آلة تطوير الغراء الموحد الأوتوماتيكية بالكامل
|
||
طراز المعدات: MD-2C2D6
|
||||
مواصفات الرقاقة المعالجة: متوافقة مع الرقاقات القياسية مقاس 4/6 بوصة
|
||||
تدفق عملية الغراء الموحد: تقطيع سلة الزهور ← التمركز ← غراء موحد (تقطر ← غراء موحد ← إزالة الحواف، الظهر
الغسيل) → طبق ساخن → طبق بارد → وضع السلة تدفق عملية التطوير: تقطيع سلة الزهور ← التوسيط ← التطوير (حل التطوير ← الماء منزوع الأيونات، الغسيل الخلفي ← تجفيف النيتروجين) ← صفيحة ساخنة ← صفيحة باردة ← وضع السلة |
||||
الحجم الكلي (تقريبًا): 2100 مم (عرض) * 1800 مم (عمق) * 2100 مم (ارتفاع)
|
||||
حجم خزانة المواد الكيميائية (تقريبًا): 1700 (عرض) * 800 (عمق) * 1600 مم (ارتفاع)
|
||||
الوزن الإجمالي (تقريبًا): 1000 كجم
|
||||
ارتفاع طاولة العمل: 1020 ± 50 مم
|
||||
2 |
وحدة كاسيت
|
الكمية: 2
|
||
الحجم المتوافق: 4/6 بوصة
|
||||
كشف الكاسيت: الكشف عن التبديل الجزئي
|
||||
كشف الانزلاق: نعم، مستشعر عاكس
|
||||
3 |
رجل الالي |
الكمية: 1
|
||
النوع: روبوت امتزاز فراغ مزدوج الذراع
|
||||
درجة الحرية: 4 محاور (R1، R2، Z، T)
|
||||
مادة الإصبع: سيراميك
|
||||
طريقة تثبيت الركيزة: طريقة الامتزاز الفراغي
|
||||
وظيفة رسم الخرائط: نعم
|
||||
دقة تحديد المواقع: ± 0.1 مم
|
||||
4 |
وحدة مركزية
|
الكمية: شنومك مجموعة
|
محاذاة بصرية اختيارية
|
|
طريقة المحاذاة: المحاذاة الميكانيكية
|
||||
دقة التمركز: ± 0.2 مم
|
||||
5 |
وحدة الغراء الموحدة |
الكمية: مجموعتان (فيما يلي تكوينات لكل وحدة)
|
||
سرعة دوران المغزل: -5000 دورة في الدقيقة ~ 5000 دورة في الدقيقة
|
تحمل العاطل
|
|||
دقة دوران المغزل: ± 1 دورة في الدقيقة (50 دورة في الدقيقة ~ 5000 دورة في الدقيقة)
|
||||
الحد الأدنى لتعديل سرعة دوران المغزل: 1 دورة في الدقيقة
|
||||
الحد الأقصى لتسارع دوران المغزل: 20000 دورة في الدقيقة/الثانية
|
تحمل العاطل
|
|||
ذراع التقطير: مجموعة واحدة
|
||||
مسار أنبوب مقاوم الضوء: طريقان
|
||||
قطر الفوهة المقاومة للضوء: 2.5 ملم
|
||||
العزل المقاوم للضوء: 23 ± 0.5 ℃
|
اختياري
|
|||
فوهة الترطيب: نعم
|
||||
ر.ك.: نعم
|
||||
المخزن المؤقت: نعم، 200 مل
|
||||
طريقة إسقاط الغراء: يعد الإسقاط المركزي وإسقاط المسح اختياريين
|
||||
ذراع إزالة الحافة: مجموعة واحدة
|
||||
قطر فوهة إزالة الحافة: 0.2 مم
|
||||
مراقبة تدفق سائل إزالة الحافة: مقياس الجريان العائم
|
||||
نطاق تدفق سائل إزالة الحواف: 5-50 مل/دقيقة
|
||||
خط أنابيب الغسيل العكسي: طريقتان (2/4 بوصة لكل منهما قناة واحدة)
|
||||
مراقبة تدفق الغسيل العكسي: مقياس الجريان العائم
|
||||
نطاق تدفق سائل الغسيل العكسي: 20-200 مل/دقيقة
|
||||
طريقة تثبيت الرقاقة: ظرف امتزاز فراغي لمنطقة صغيرة
|
||||
إنذار ضغط الفراغ: مستشعر ضغط الفراغ الرقمي
|
||||
مادة تشاك: PPS
|
||||
مادة الكأس: PP
|
||||
مراقبة عادم الكوب: مستشعر الضغط الرقمي
|
||||
6 |
وحدة التطوير |
مصراع: نعم
|
||
الكمية: مجموعتان (فيما يلي تكوينات لكل وحدة)
|
||||
سرعة دوران المغزل: -5000 دورة في الدقيقة ~ 5000 دورة في الدقيقة
|
تحمل العاطل
|
|||
دقة دوران المغزل: ± 1 دورة في الدقيقة (50 دورة في الدقيقة ~ 5000 دورة في الدقيقة)
|
||||
الحد الأدنى لتعديل سرعة دوران المغزل: 1 دورة في الدقيقة
|
||||
الحد الأقصى لتسارع دوران المغزل: 20000 دورة في الدقيقة/الثانية
|
تحمل العاطل
|
|||
تطوير الذراع: مجموعة واحدة
|
||||
تطوير خط الأنابيب: ثنائي الاتجاه (فوهة على شكل مروحة/عمودية)
|
||||
ترشيح المطور: 0.2um
|
||||
التحكم في درجة الحرارة للمطور: 23 ± 0.5 درجة مئوية
|
اختياري
|
|||
تطوير نطاق تدفق المحلول: 100~1000ml/min
|
||||
وضع الحركة للذراع النامية: النقطة الثابتة أو المسح
|
||||
ذراع الصهر: مجموعة واحدة
|
||||
خط أنابيب الماء منزوع الأيونات: دائرة واحدة
|
||||
قطر فوهة الماء منزوع الأيونات: 4 مم (القطر الداخلي)
|
||||
نطاق تدفق الماء منزوع الأيونات: 100~1000 مل/دقيقة
|
||||
خط أنابيب تجفيف النيتروجين: دائرة واحدة
|
||||
قطر فوهة النيتروجين: 4 مم (القطر الداخلي)
|
||||
نطاق تدفق النيتروجين: 5-50 لتر/دقيقة
|
||||
المطور، الماء منزوع الأيونات، مراقبة تدفق النيتروجين: مقياس الجريان العائم
|
||||
خط أنابيب الغسيل العكسي: طريقتان (2/4 بوصة لكل منهما قناة واحدة)
|
||||
مراقبة تدفق الغسيل العكسي: مقياس الجريان العائم
|
||||
نطاق تدفق سائل الغسيل العكسي: 20-200 مل/دقيقة
|
||||
طريقة تثبيت الرقاقة: ظرف امتزاز فراغي لمنطقة صغيرة
|
||||
إنذار ضغط الفراغ: مستشعر ضغط الفراغ الرقمي
|
||||
مادة تشاك: PPS
|
||||
مادة تشاك: PPS
|
||||
مادة الكأس: PP
|
||||
مراقبة عادم الكوب: مستشعر الضغط الرقمي
|
||||
7 |
وحدة التكويد |
الكمية: 2
|
اختياري
|
|
نطاق درجة الحرارة: درجة حرارة الغرفة ~ 180 درجة مئوية
|
||||
توحيد درجة الحرارة: درجة حرارة الغرفة ~ 120 درجة مئوية ± 0.75 درجة مئوية
120.1 درجة مئوية ~ 180 درجة مئوية ± 1.5 درجة مئوية (قم بإزالة 10 مم من الحافة، باستثناء فتحة دبوس القاذف) |
||||
الحد الأدنى لمبلغ التعديل: 0.1 درجة مئوية
|
||||
طريقة التحكم في درجة الحرارة: تعديل PID
|
||||
نطاق ارتفاع الدبوس: 0-20 مم
|
||||
مادة الدبوس: الجسم SUS304، غطاء الدبوس PI
|
||||
فجوة الخبز: 0.2 ملم
|
||||
إنذار درجة الحرارة الزائدة: إنذار الانحراف الإيجابي والسلبي
|
||||
طريقة العرض: محتدما، 10 ± 2 مل / دقيقة
|
||||
فراغ تشغيل الغرفة: -5-20KPa
|
||||
8 |
وحدة طبق ساخن |
الكمية: 10
|
||
نطاق درجة الحرارة: درجة حرارة الغرفة ~ 250 درجة مئوية
|
||||
توحيد درجة الحرارة: درجة حرارة الغرفة ~ 120 درجة مئوية ± 0.75 درجة مئوية
120.1 درجة مئوية ~ 180 درجة مئوية ± 1.5 درجة مئوية 180.1 درجة مئوية ~ 250 درجة مئوية ±2.0 درجة مئوية (قم بإزالة 10 مم من الحافة، باستثناء فتحة دبوس القاذف) |
||||
الحد الأدنى لمبلغ التعديل: 0.1 درجة مئوية
|
||||
طريقة التحكم في درجة الحرارة: تعديل PID
|
||||
نطاق ارتفاع الدبوس: 0-20 مم
|
||||
مادة الدبوس: الجسم SUS304، غطاء الدبوس PI
|
||||
فجوة الخبز: 0.2 ملم
|
||||
إنذار درجة الحرارة الزائدة: إنذار الانحراف الإيجابي والسلبي
|
||||
9 |
وحدة لوحة باردة
|
الكمية: 2
|
||
نطاق درجة الحرارة: 15-25 درجة مئوية
|
||||
طريقة التبريد: تبريد مضخة تعميم درجة حرارة ثابتة
|
||||
10 |
الإمدادات الكيميائية |
تخزين مقاوم الضوء: مضخة غراء هوائية * 4 مجموعات (خزان اختياري أو مضخة غراء كهربائية)
|
||
حجم توزيع الغراء: الحد الأقصى 12 مل لكل جلسة، الدقة ± 0.2 مل
|
||||
إزالة الحواف/غسل الظهر/إمدادات RRC: خزان ضغط سعة 18 لترًا * 2 (تجديد تلقائي)
|
||||
إزالة الحواف/الغسيل الخلفي/مراقبة مستوى السائل RRC: مستشعر كهروضوئي
|
||||
مراقبة مستوى السائل المقاوم للضوء: مستشعر كهروضوئي
|
||||
تفريغ سائل النفايات اللاصق الموحد: خزان سائل النفايات سعة 10 لتر
|
||||
إمداد المطور: خزان ضغط سعة 18 لتر * 4 (مخزن في خزانة المواد الكيميائية خارج الجهاز)
|
||||
إمدادات المياه منزوعة الأيونات: العرض المباشر من المصنع
|
||||
تطوير مراقبة مستوى السائل: جهاز الاستشعار الكهروضوئي
|
||||
تصريف نفايات المطورين: تصريف نفايات المصانع
|
||||
توريد أداة التكسير: خزان ضغط 10 لتر * 1، خزان ضغط 2 لتر * 1
|
||||
مراقبة مستوى المصحح: مستشعر كهروضوئي
|
||||
11 |
نظام التحكم |
طريقة التحكم: PLC
|
||
واجهة تشغيل الآلة البشرية: شاشة لمس 17 بوصة
|
||||
مصدر الطاقة غير المنقطع (UPS): نعم
|
||||
قم بتعيين أذونات التشفير لمشغلي الأجهزة والفنيين والمسؤولين
|
||||
نوع برج الإشارة: أحمر، أصفر، أخضر 3 ألوان
|
||||
12 |
مؤشرات موثوقية النظام
|
وقت التشغيل: ≥95%
|
||
MTBF: ≥ 500 ساعة
|
||||
MTTR: ≥ 4 ساعات
|
||||
MTBA: ≥24 ساعة
|
||||
معدل التجزئة: ≥ 1/10000
|
||||
13 |
وظائف أخرى
|
الضوء الأصفر: 4 مجموعات (الموضع: فوق وحدة خلط وتطوير الغراء)
|
||
رباعي هيدروكانابينول: نعم، 22.5 درجة مئوية ± 0.5 درجة مئوية، 45% ± 2%
|
اختياري
|
|||
FFU: الفئة 100، 5 مجموعات (وحدة المعالجة ومنطقة الروبوت)
|
جميع الحقوق محفوظة لشركة Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.