MDPS-560 نظام رش ثنائي الحجرتين الشبيه باللوزة / معدات صناعة شبه الموصلات , China MDPS-560 نظام رش ثنائي الحجرتين الشبيه باللوزة / معدات صناعة شبه الموصلات Manufacturers, Suppliers, Factory

وصف المنتج

نظام ترسيب بالتشتيت MDPS-560 ثنائي الغرف الشبيه باللوز

يستخدم لإعداد أغشية نانوية وظيفية أحادية/متعددة الطبقات تشمل الأغشية الصلبة، المعدنية، شبه الموصلة والديلفكتريكية للمجامع الجامعية والمؤسسات العلمية.

غرفة شبه فراغية للرش، هدف رش الماجنترون، منضدة تسخين قابلة للتبريد بالماء، غرفة حقن العينة، غرفة العينة، جهاز التلدين، هدف الغسيل الخلفي، آلية إرسال عينة المغناطيس، دارة الغاز، نظام الضخ، نظام قياس الفراغ، نظام التحكم الكهربائي وقاعدة التركيب.

MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Semiconductor industry equipment manufacture

المواصفات

نوع			MDPS-560 II
غرفة الرش الرئيسية			غرفة شبه فراغية على شكل كروي، الحجم: Φ560×350mm
غرفة حقن العينة			من النوع الأسطواني الأفقي، الحجم: Φ250mm×420mm
نظام الضخ			مجموعة مضخة جزيئية مستقلة ومجموعة مضخة ميكانيكية لغرفة الرش الرئيسية وغرفة حقن العينة.
الفراغ النهائي	غرفة الرش الرئيسية	≤6.67×10-6Pa (بعد التحميص والتخلص من الغاز)
الفراغ النهائي		غرفة حقن العينة	≤6.67×10-4Pa (بعد التحميص والتخلص من الغاز)
وقت استعادة الفراغ	غرفة الرش الرئيسية	6.6×10-4Pa بعد 40 دقيقة (ضخ بعد التعرض القصير للهواء وملء النيتروجين الجاف)
وقت استعادة الفراغ		غرفة حقن العينة	6.6×10-3Pa بعد 40 دقيقة (ضخ بعد التعرض القصير للهواء وملء النيتروجين الجاف)
وحدة هدف الماجنترون			5 أهداف ثابتة من المغناطيس؛ الحجم Φ60mm (واحد من الأهداف يمكنه الرش الكهربائي للمواد الفيرومغناطيسية). يمكن لجميع الأهداف الرش الترددي RF. والمتوافق مع الرش الكهربائي المباشر DC؛ ويمكن تعديل المسافة بين الهدف والعينة من 40mm إلى 80mm.
طاولة تسخين قاعدة مبردة بالماء وتدور	هيكل القاعدة	ست محطات، مثبت مدفئة في محطة واحدة، والأخريات محطات قاعدة مبردة بالماء.
		الحجم	Φ30mm، ست صور.
		نمط الحركة	0-360°، ذهاب وإياب.
		تدفئة	الدرجة الحرارية القصوى 600℃±1℃
		التحيز السالب للقاعدة	-200V
نظام الدائرة الغازية			جهاز تحكم في تدفق الكتلة ثنائي الاتجاه (MFC)
غرفة حقن العينة	غرفة العينات	ست عمليات مرة واحدة
		جهاز التحلل الحراري	أقصى درجة حرارة تسخين 800℃±1℃
		وحدة هدف إعادة الرش	تنظيف إعادة الرش
نظام إرسال العينات المغناطيسية			يُستخدم لنقل العينات بين غرفة الرش وغرفة حقن العينة.
نظام التحكم بالكمبيوتر			دوران العينة، فتح وإغلاق الحاجز، والتحكم في موقع الهدف
المكان المحتل على الأرض	المجموعة الرئيسية	2600×900mm2
المكان المحتل على الأرض		خزانة كهربائية	700×700mm2 (مجموعتان)