نظام الرشح المزدوج للغرفة الكمثرية MDPS-560 / معدات صناعة أشباه الموصلات، الصين نظام الرشح المزدوج للغرفة الكمثرية MDPS-560 / معدات صناعة أشباه الموصلات الشركات المصنعة والموردين والمصنع

وصف المنتج

MDPS-560 نظام الرش المزدوج ذو الغرفة المزدوجة

يستخدم لتحضير الأغشية النانوية الوظيفية أحادية/متعددة الطبقات، بما في ذلك الأغشية الصلبة والمعدنية وشبه الموصلة والعازلة للجامعات والمؤسسات العلمية.

غرفة فراغ الاخرق ، هدف الاخرق المغنطروني ، القرص الدوار لتسخين الركيزة لتبريد الماء ، غرفة حقن العينة ، غرفة العينة ، التلدين ، هدف الغسيل العكسي ، آلية إرسال عينة المغناطيس ، دائرة الغاز ، نظام الضخ ، نظام قياس الفراغ ، نظام التحكم الكهربائي وقاعدة التثبيت.

MDPS-560 نظام الرش ذو الغرفة المزدوجة Pyriform / تصنيع معدات صناعة أشباه الموصلات

المواصفات الخاصه

النوع			إم دي بي إس-560 إي
غرفة الاخرق الرئيسية			غرفة مفرغة كمثري الشكل، الحجم: Φ560×350mm
غرفة حقن العينة			النوع الأسطواني والأفقي، الحجم: Φ250mm×420mm
نظام الضخ			مضخة جزيئية مركبة مستقلة ومجموعة مضخة ميكانيكية لغرفة الرش الرئيسية وغرفة حقن العينة.
فراغ مطلق	غرفة الاخرق الرئيسية	.6.67×10-6Pa (بعد الخبز وتفريغ الغاز)
فراغ مطلق		غرفة حقن العينة	.6.67×10-4Pa (بعد الخبز وتفريغ الغاز)
استعادة وقت الفراغ	غرفة الاخرق الرئيسية	6.6×10-4Pa بعد 40 دقيقة (الضخ بعد تعرضه للهواء لفترة قصيرة ومملوء بالنيتروجين الجاف)
استعادة وقت الفراغ		غرفة حقن العينة	6.6×10-3Pa بعد 40 دقيقة (الضخ بعد تعرضه للهواء لفترة قصيرة ومملوء بالنيتروجين الجاف)
وحدة الهدف المغنطرونية			5 أهداف مغناطيسية دائمة؛ sizeΦ60mm (أحد الأهداف يمكن أن يتناثر المواد المغناطيسية المغناطيسية). جميع الأهداف يمكن أن تتطاير الترددات اللاسلكية وDC الاخرق بشكل متوافق؛ والمسافة بين الهدف والعينة قابلة للتعديل من 40 مم إلى 80 مم.
طاولة ثورة تسخين الركيزة لتبريد المياه	هيكل الركيزة	تم تركيب ست محطات، وفرن تسخين في محطة واحدة، والمحطات الأخرى عبارة عن محطة أساسية لتبريد الماء.
		المقاس	Φ30mm، ست صور.
		طريقة الحركة	0-360 درجة، بالمثل.
		تدفئة أرضية	الأعلى. درجة الحرارة 600 درجة مئوية ± 1 درجة مئوية
		الركيزة التحيز السلبي	-200V
نظام دائرة الغاز			جهاز التحكم في التدفق الشامل ثنائي الاتجاه (MFC)
غرفة حقن العينة	غرفة العينة	ستة بسطاء مرة واحدة
		أنيلر	الأعلى. درجة حرارة التسخين 800 درجة مئوية ± 1 درجة مئوية
		إعادة تعيين وحدة الهدف	إعادة التنظيف
نظام إرسال عينة المغناطيس			يستخدم لنقل العينات بين غرفة الرش وغرفة حقن العينة.
نظام التحكم بالكمبيوتر			تدوير العينة، فتح وإغلاق الحاجز، والتحكم في موضع الهدف
الطابق مشغول	المجموعة الرئيسية	2600 × 900 مم 2
الطابق مشغول		كابينة كهربائية	700 × 700 مم 2 (مجموعتين)