1. نوع التعرض: من جانب واحد.
2. منطقة التعرض: 110×110 مم.
3. عدم انتظام إضاءة التعرض: ≤±3%.
4. شدة التعرض: قابلة للتعديل بين 0-30 ميليواط/سم2.
5. زاوية حزمة الأشعة فوق البنفسجية: ≤3°.
6. الطول الموجي المركزي للأشعة فوق البنفسجية: 365 نانومتر.
7. عمر مصدر الضوء فوق البنفسجي: ≥500 ساعة.
8. استخدام الستار الإلكتروني.
9. دقة التعرض: 1 ميكرون.
10. نطاق المسح المجهرية: X: ± 15 مم Y: ± 15 مم;
11. نطاق التحديد: تعديل X,Y ± 4 مم؛ تعديل اتجاه Q ± 3°;
12. دقة النحت: 1 ميكرون. يجب أن تلتزم دقة إصدار المستخدم ورقاقة باللوائح الوطنية،
وأن يتم التحكم بصرامة في البيئة، درجة الحرارة، الرطوبة، والغبار. يتم استخدام مادة فوتوريزست مستوردة، ويمكن التحكم بصرامة في سمك الفوتوريزست المتساوي. بالإضافة إلى ذلك، العمليات الأمامية والخلفية متقدمة؛
13. كمية الفصل: قابلة للتعديل من 0 إلى 50 ميكرومتر;
14. طريقة التعرض: التعرض القريب، والذي يمكن أن يحقق الاتصال الصلب، الاتصال الناعم، والتعرض بالقوة الدقيقة؛ 15. صيغة العثور على المربع: هواء