جهاز تنظيم الأقنعة بدقة عالية MDXN-25D4 , China جهاز تنظيم الأقنعة بدقة عالية MDXN-25D4 Manufacturers, Suppliers, Factory

وصف المنتج

يُستخدم هذا الجهاز بشكل أساسي لتطوير وإنتاج الدوائر المتكاملة الصغيرة والمتوسطة، المكونات الإلكترونية نصف الموصلة وأجهزة الموجات الصوتية السطحية. بسبب آلية التسوية المتقدمة والقوة المنخفضة للتسوية، فإن هذا الجهاز مناسب ليس فقط للكشف عن أنواع مختلفة من المواد الخام، ولكن أيضًا للكشف عن المواد الخام التي تتكسر بسهولة مثل أسيتيد البوتاسيوم والفوسفات الصلب، وكذلك الكشف عن مواد غير دائرية وصغيرة.

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner manufacture

المواصفات

المواصفات الفنية الرئيسية

1. نوع التعرض: تعرض جانب واحد
2. منطقة التعرض: 110X110 مم;
3. انتظام التعرض: ≥ 97%;
4. شدة التعرض: قابلة للتعديل من 0-30 ميكروواط/سم2;
5. زاوية الشعاع فوق البنفسجي: ≤ 3 °
6. الطول الموجي المركزي للضوء فوق البنفسجي: 365 نانومتر;
7. عمر مصدر الضوء فوق البنفسجي: ≥ 20000 ساعة;(ضمان لمدة سنتين)
8. استخدام الستار الإلكتروني;
9. دقة التعرض: 1 ميكرون
10. نطاق رؤية الكاميرا: ± 15 مم Y: ± 15 مم
11. نطاق التحالف: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°.
12. دقة التحالف: 1 ميكرون (تحت شروط بيئة جيدة)
13. نطاق المسافة الفاصلة: قابل للتعديل من 0-50 ميكرون.
14. طريقة التعرض: التعرض بالتلامس.(التلامس الصلب/الناعم/المجهري)
15. طريقة التوازن: تعويم الهواء.
16. النظام المجهرى: نظام CCD بمجالين بصريين، عدسة موضوعة ×1.6~×10، نظام معالجة صور الكمبيوتر، شاشة LCD مقاس 19"؛ التكبير الكلي 91-570x. مسافة العدسة الموضوعة: 50-120mm.
17. حجم القناع: 127*127mm؛ 102*102mm
18. حجم المادة الأساسية: Φ102mm؛ Φ76mm
19. سمك المادة الأساسية: ≤1mm
20. وقت التعرض: قابل للتعديل من 0-999.9 ثانية.
21.الطاقة: 220 فولت 50 هرتز 1.5 كيلو وات.
22.مصدر الهواء؟ 0.4 مبا
23.درجة الفراغ: -0.07 مبا~-0.09 مبا

التغليف والشحن