الجيل الجديد من آلة تنظيف البلازما بالميكروويف معدات حل التغليف لأشباه الموصلات، الصين الجيل الجديد من آلة تنظيف البلازما بالميكروويف معدات حل التغليف لأشباه الموصلات الشركات المصنعة والموردين والمصنع

وصف المنتج

منظف بلازما الميكروويف

SPV-100MWR هو نظام تنظيف بلازما الميكروويف ذو الجهد المنخفض لأشباه الموصلات. من خلال تطبيق الميكروويف بتردد 2.45 جيجا هرتز على النافذة الموجودة على جدار تجويف الفراغ، يتم إنشاء عدد كبير من البلازما المستمرة، ويتم تنظيف الشريحة عن طريق دخول التجويف.

الجيل الجديد من آلة تنظيف البلازما بميكروويف الميكروويف تصنيع معدات حلول التعبئة والتغليف لأشباه الموصلات

الجيل الجديد من آلة تنظيف البلازما بميكروويف الميكروويف مورد معدات حلول التعبئة والتغليف لأشباه الموصلات

التطبيقات

الجيل الجديد من آلة تنظيف البلازما بالميكروويف من مصنع معدات حلول التعبئة والتغليف لأشباه الموصلات

المواصفات الخاصه

مضيف البلازما فراغ
حجم المعدات	1230X1800X1100mm (العرض × الارتفاع × العمق)
الوزن	450kg
الطلب على الطاقة	تيار متردد 380 فولت، 50/60 هرتز، 5 أسلاك، 30 أمبير
مواصفات مولد البلازما
مصدر طاقة الميكروويف	الطاقة	0 ~ 1250W
		تردد	2.45GHz
نظام الشفط
الخامة	سبائك الألومنيوم (غرفة الفولاذ المقاوم للصدأ القابلة للتخصيص)
سماكة	25mm
الأبعاد الداخلية للتجويف	480mmX470mmX480mm
مساحات العمل	6 أقسام للمجلة
ECR	توفر مجلة Slotted تأثير معالجة محسّن لـ ECR
قدرة البلازما
قدرة المعالجة	الملعب 35um عثرة 40μm الحد الأقصى لحجم القالب 15X15mm