معدات الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما PECVD / عملية PECVD ذات درجة الحرارة العالية، الصين معدات الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما PECVD / عملية PECVD ذات درجة الحرارة العالية المصنعين والموردين والمصنع

وصف المنتج

معدات ترسيب البخار الكيميائي المحسنة بالبلازما PECVD

◆ يتم تحقيق التحكم الآلي الكامل في وقت العملية ودرجة الحرارة وتدفق الغاز وعمل الصمام وضغط غرفة التفاعل
الكمبيوتر الصناعي.
◆ يتم اعتماد نظام التحكم في الضغط المستورد ونظام الحلقة المغلقة، مع الاستقرار العالي.
◆ يتم استخدام تجهيزات وصمامات مواسير الفولاذ المقاوم للصدأ المقاومة للتآكل المستوردة لضمان ضيق الهواء في دائرة الغاز.
◆ لديها وظيفة إنذار مثالية وجهاز تعشيق السلامة.
◆ يحتوي على إنذار لدرجة الحرارة العالية جدًا وإنذار لدرجة الحرارة المنخفضة، وإنذار MFC، وإنذار ضغط غرفة التفاعل، وإنذار RF، وإنذار انخفاض ضغط الهواء المضغوط، وإنذار انخفاض ضغط N2، وإنذار انخفاض تدفق مياه التبريد.
◆ يتمتع PECVD الحالي بوظيفة إنتاج طبقة SiO2 بعد الترقية، مما يحل مشكلة PID الخاصة بوحدة البطارية. يمكن زراعة فيلم SiNxOy (عملية التخميل الخلفي)، والتي يمكن أن تحسن بشكل كبير من كفاءة تحويل البطارية.

معدات ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما PECVD / مورد عملية PECVD بدرجة حرارة عالية

معدات ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما PECVD / تفاصيل عملية PECVD ذات درجة الحرارة العالية

معدات ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما PECVD / مصنع عملية PECVD ذو درجة الحرارة العالية

النوع

◆ كمية التحميل: 384 قطعة/قارب (125*125)؛ 336 قطعة/قارب (156*156)
◆ نظافة طاولة التنقية: درجة 100 (مصنع درجة 10000)
◆ درجة الأتمتة: التحكم الآلي في درجة الحرارة والعملية.
◆ وضع إرسال وأخذ الرقائق: نوع الهبوط الناعم، مع خصائص مستقرة وموثوقة، لا زاحف، تحديد المواقع بدقة، قدرة تحمل كبيرة وعمر خدمة طويل.

المواصفات الخاصه

الحد الأقصى للتحميل لكل أنبوب	384 قطعة/قارب (125125) 336 قطعة/قارب (156156)
مؤشر العملية	± 3% في الأقراص، ± 3% بين الأقراص، ± 3% بين الدفعات
درجة حرارة العمل	200 500 ℃ ~
دقة وطول منطقة درجة الحرارة (اختبار الأنبوب المغلق الثابت)	1200 ملم ± 1 درجة مئوية
دقة تدفق الغاز	± 1٪ FS
ضيق الهواء لنظام دائرة الهواء	1×10-7Pa.m³/S
مراقبة	نظام تنظيم الضغط المغلق الأوتوماتيكي المستورد بالكامل، التحكم الدقيق في فراغ التفاعل؛ قوة عالية التردد 40 كيلو هرتز إمداد؛ الهبوط الناعم للقارب ؛ تحكم رقمي كامل، حماية مثالية وآمنة للتحكم في العمليات.
1 أنبوب، 2 أنابيب، 3 أنابيب و 4 أنابيب اختيارية؛ مناور التحميل التلقائي اختياري، وأداء المعدات ويمكن مقارنة أداء العملية بأعلى المعدات المماثلة في العالم.