PECVD معدات الترسيب الكيميائي بالبخار المُعزز بالبلازما / عملية PECVD عالية الحرارة , China PECVD معدات الترسيب الكيميائي بالبخار المُعزز بالبلازما / عملية PECVD عالية الحرارة Manufacturers, Suppliers, Factory

وصف المنتج

PECVD معدات ترسيب البخار الكيميائي المُعزز بالبلازما

◆ يتم تحقيق التحكم التلقائي الكامل في وقت العملية، درجة الحرارة، تدفق الغاز، حركة الصمام وضغط غرفة التفاعل بواسطة
الكمبيوتر الصناعي.
◆ تم تبني نظام تحكم بالضغط المستورد ونظام الحلقة المغلقة، مما يوفر استقرارًا عاليًا.
◆ تم استخدام مكونات أنابيب فولاذية مقاومة للتآكل وأجهزة صمام مستوردة لضمان محكمة الغلق للدائرة الغازية.
◆ يحتوي على وظيفة إنذار مثالية وجهاز قفل أمان.
◆ يحتوي على إنذار درجة حرارة مرتفعة جدًا وإنذار انخفاض درجة الحرارة، وإنذار MFC، وإنذار ضغط غرفة التفاعل، وإنذار RF، وإنذار انخفاض ضغط الهواء المضغوط، وإنذار انخفاض ضغط N2، وإنذار انخفاض تدفق ماء التبريد.
◆ الجهاز الحالي PECVD لديه بعد الترقية وظيفة نمو فيلم SiO2، مما يحل مشكلة PID في وحدة البطارية. يمكن نمو فيلم SiNxOy (عملية التنشيط الخلفي)، مما يحسن بشكل كبير كفاءة تحويل البطارية.

PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process supplier

PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process details

PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory

نوع

◆ كمية التحميل: 384 قطعة/سفينة (125 * 125)؛ 336 قطعة/سفينة (156 * 156)
◆ نظافة طاولة التنقية: الفئة 100 (مصنع الفئة 10000)
◆ درجة الأتمتة: التحكم الآلي في درجة الحرارة والعملية.
◆ وضعية إرسال واستقبال الرقائق: من نوع الهبوط الناعم، ذات خصائص مستقرة وموثوقة، بدون زحف، توجيه دقيق، قدرة تحمل كبيرة وعمر افتراضي طويل.

المواصفات

الحمل الأقصى لكل أنبوب	384 قطعة/سفينة (125125) 336 قطعة/سفينة (156156)
مؤشر العملية	± 3% في الجدول، ± 3% بين الجداول، ± 3% بين الدفعات
درجة حرارة التشغيل	200~500℃
دقة ومنطقة درجة الحرارة (اختبار الأنبوب المغلق الساكن)	1200مم±1℃
دقة تدفق الغاز	±1%FS
الصمام الجوي لنظام الدائرة الهوائية	1×10-7Pa.m³/S
تحكم	نظام تنظيم إغلاق ضغط مستورد بالكامل، التحكم الدقيق في شفط التفاعل؛ تردد طاقة عالي 40KHz التزويد بالطاقة؛ هبوط ناعم للسفينة الحرفية؛ التحكم الرقمي الكامل، حماية عملية آمنة ومثالية.
خيار أنابيب واحدة أو اثنتين أو ثلاث أو أربع؛ يمكن اختيار مناورة التحميل التلقائي، وآداء الجهاز وأداء العملية يمكن مقارنته مع أفضل الأجهزة المشابهة في العالم.